MEMS传感器国内发展现状
“MEMS传感器国内发展现状”相关的资料有哪些?“MEMS传感器国内发展现状”相关的范文有哪些?怎么写?下面是小编为您精心整理的“MEMS传感器国内发展现状”相关范文大全或资料大全,欢迎大家分享。
国内外MEMS惯性传感器的现状及发展趋势
国内外MEMS惯性传感器的现状及发展趋势(09’)
编辑:何华 日期:2010-1-28 浏览人数: 476
MEMS技术最早由Richard Pfeynman(1965年获得诺贝尔物理奖),在1959年提出设想。1962年硅微型压力传感器问世。
1979年Roylance和Angell开始压阻式微加速计的研制。1991年Cole开始电容式微加速度计的研制。
惯性传感器包括加速度计(或加速度传感计)和角速度传感器(陀螺)以及它们的单、双、三轴组合IMU(惯性测量单元),AHRS(包括磁传感器的姿态参考系统)。
MEMS加速度计是利用传感质量的惯性力测量的传感器,一般由标准质量块(传感元件)和检测电路组成。根据传感原理不同,主要有压阻式、电容式、压电式、隧道电流式、谐振式、热电耦合式和电磁式等。
1998年,美国CSDL设计研制了最早的MEMS陀螺。同年,Drapor实验室研制了另一种形式的MEMS陀螺。
MEMS陀螺是利用震动质量块被基座(壳体)带动旋转时的哥氏效应来传感角速度的原理制成。
主要形式有框架驱动式(内、外框架两种)梳状驱动式、电磁驱动式等。 IMU由于是MEMS技术组合的微型惯性测量单元,所以很多地方称为MIMU。主要由三个M
MEMS传感器的现状及发展前景
毕 业 设 计 指 导 课 论 文
MEMS传感器的现状及发展前景
摘要:MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器,具有很多新的特性,相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代,其具有良好的发展前景,必将受到各个国家越来越多的重视。文章首先介绍了MEMS传感器的分类和典型应用,然后着重对几个传感器进行了介绍,最后对MEMS传感器的发展趋势与发展前景进行了分析。 关键词:MEMS传感器; 加度计; 陀螺仪; 纳米技术; 微机构; 微传感器
1
Status and Development Prospect of MEMS Sensors
Abstract: MEMS sensor is a new type of sensor with the development of nanotechnology. It has many new features, which has a great advantage over traditional sensors. In the pursuit of miniaturization of the cont
MEMS传感器的现状及发展前景
毕 业 设 计 指 导 课 论 文
MEMS传感器的现状及发展前景
摘要:MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器,具有很多新的特性,相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代,其具有良好的发展前景,必将受到各个国家越来越多的重视。文章首先介绍了MEMS传感器的分类和典型应用,然后着重对几个传感器进行了介绍,最后对MEMS传感器的发展趋势与发展前景进行了分析。 关键词:MEMS传感器; 加度计; 陀螺仪; 纳米技术; 微机构; 微传感器
1
Status and Development Prospect of MEMS Sensors
Abstract: MEMS sensor is a new type of sensor with the development of nanotechnology. It has many new features, which has a great advantage over traditional sensors. In the pursuit of miniaturization of the cont
车用MEMS传感器原理与发展
高 新 技 术
2008 NO.03
科技资讯
车用MEMS传感器原理与发展
邵毅明 张帆
(重庆交通大学交通运输学院 重庆 400074)
摘 要:汽车的ecu就相当于人的大脑,汽车里面的通讯就是人的神经,而传感器就相当于人的五官,它需要对压力,加速度,角速度,排出气体浓度等外界各种动态进行及时的检测。而最新MEMS(微机电系统)传感器无疑是传感器发展的新的趋势。本文简述了倾角传感器的原理和发展状况并对几种汽车用MEMS传感器做了介绍和比较,并给出了相应产品的性能参数。关键词:MEMS 传感器 原理
中图分类号:U463 文献标识码:A 文章编号:1672-3791(2008)01(c)-0005-02
1 引言
自20世纪80年代以来,汽车上应用的传感器越来越多。各种各样的传感器已经深刻地融入到汽车的各个功能系统,包括发动机管理系统(EMS)、底盘与传动系统、安全系统、车身电子系统、空调环境系统等。
2006年中国汽车传感器的应用市场结构中,按传感器在各种汽车电子产品中的销售额计算,发动机电子控制系统和电子仪表依次占据市场排名的前两位,二者所占市场份额总和接近60%,随着汽车半导体技术的发展,多功能、高
车用MEMS传感器原理与发展
高 新 技 术
2008 NO.03
科技资讯
车用MEMS传感器原理与发展
邵毅明 张帆
(重庆交通大学交通运输学院 重庆 400074)
摘 要:汽车的ecu就相当于人的大脑,汽车里面的通讯就是人的神经,而传感器就相当于人的五官,它需要对压力,加速度,角速度,排出气体浓度等外界各种动态进行及时的检测。而最新MEMS(微机电系统)传感器无疑是传感器发展的新的趋势。本文简述了倾角传感器的原理和发展状况并对几种汽车用MEMS传感器做了介绍和比较,并给出了相应产品的性能参数。关键词:MEMS 传感器 原理
中图分类号:U463 文献标识码:A 文章编号:1672-3791(2008)01(c)-0005-02
1 引言
自20世纪80年代以来,汽车上应用的传感器越来越多。各种各样的传感器已经深刻地融入到汽车的各个功能系统,包括发动机管理系统(EMS)、底盘与传动系统、安全系统、车身电子系统、空调环境系统等。
2006年中国汽车传感器的应用市场结构中,按传感器在各种汽车电子产品中的销售额计算,发动机电子控制系统和电子仪表依次占据市场排名的前两位,二者所占市场份额总和接近60%,随着汽车半导体技术的发展,多功能、高
国内外传感器现状及发展趋势
引言 正文
1.传感器的开发 1.1气体传感器 1.2温度传感器
2. 传感器的现状及发展趋势 2.1传感器发展的三个阶段 2.2我国传感器的现状 2.3传感器的发展方向与途径 2.4欧美传感器发展趋势 2.5传感器的宏观技术特点分析 3.传感器的精度问题
3.1消除传感器零点误差和零点漂移的方法3.2提供直流供电电源的稳定性方法 3.3统一和标准化保证传感器精度 3.4传感器的标校 3.5敏感元件的质量控制 3.6精度的结构防护技术 3.7传感器补偿技术 4.传感器的品牌 4.1称重传感器 4.2压力传感器 4.3流量传感器 4.4位移传感器 4.5温湿度传感器 4.6液位传感器
4.7传感器的一些竞争品牌 4.8中国的传感器基地
1
2 2
2 2 5 7 7 8 8 9 14 14 15 15 15 16 16 16 17 18 18 18 18 19 19 19 20 20
引言
随着科学技术的发展,检测技术巳应用于人类科研、生产、生活等活动中。检测技术既是服务于其它学科的工具,又是综合运用其它多门学科最新成果的尖端技术。因此检测技术的发展是科学技术和生产发展的重要基础,也是一个国家生产力发展和现代化程度的重要标志。而研究检
光纤传感器的发展与现状
光纤传感器的发展与现状制作人: 制作人: 吴限 谢笑声 管胜班级:光电 班级:光电09303班 班 老师: 老师:张森
Content1. 光纤传感器国内发展现状 我国从上世纪70年代末就开始研制光纤传感 表1 光纤传感器测定物体参数的原理 被测物理量 光调制 光学现象 分 类 电流 偏振光 法拉第效应 光学传感器方式、光纤功能型传感器方式 磁场 相位 干涉现象(磁致伸缩) 光纤功能型传感器方式 电压 偏振光 Pockels( 次电光效应) 光学传感器方式 电场 相位 干涉效应(电的) 光纤功能型传感器方式 屏蔽板遮断光路 光学传感器方式 光强 半导体的透明度变化 光学传感器方式 温度 荧光辐射 拾波探头方式 光谱 热体辐射 拾波探头方式 偏振光 复合折射率变化 光学传感器方式 角速度 相位 周期效应 光纤功能型传感器方式 速度 多普勒效应 拾波探头方式 流速 频率 微带损耗 光纤功能型传感器方式 光强 屏蔽板遮断光路 光学传感器方式 振动 光阑反射强度变化 光学传感器方式 加速度 偏振光 光弹性效应 光学传感器方式 压力 相位 干涉现象(光弹性效应) 光纤功能型传感器方式 频率 多普勒效应 拾波探头方式
多成果。其中, 多成果。其中,有相当一部
光纤传感器的发展与现状
光纤传感器的发展与现状制作人: 制作人: 吴限 谢笑声 管胜班级:光电 班级:光电09303班 班 老师: 老师:张森
Content1. 光纤传感器国内发展现状 我国从上世纪70年代末就开始研制光纤传感 表1 光纤传感器测定物体参数的原理 被测物理量 光调制 光学现象 分 类 电流 偏振光 法拉第效应 光学传感器方式、光纤功能型传感器方式 磁场 相位 干涉现象(磁致伸缩) 光纤功能型传感器方式 电压 偏振光 Pockels( 次电光效应) 光学传感器方式 电场 相位 干涉效应(电的) 光纤功能型传感器方式 屏蔽板遮断光路 光学传感器方式 光强 半导体的透明度变化 光学传感器方式 温度 荧光辐射 拾波探头方式 光谱 热体辐射 拾波探头方式 偏振光 复合折射率变化 光学传感器方式 角速度 相位 周期效应 光纤功能型传感器方式 速度 多普勒效应 拾波探头方式 流速 频率 微带损耗 光纤功能型传感器方式 光强 屏蔽板遮断光路 光学传感器方式 振动 光阑反射强度变化 光学传感器方式 加速度 偏振光 光弹性效应 光学传感器方式 压力 相位 干涉现象(光弹性效应) 光纤功能型传感器方式 频率 多普勒效应 拾波探头方式
多成果。其中, 多成果。其中,有相当一部
中国MEMS传感器生产规模分析调研
目录
一、国内外mems 传感器生产厂商介绍 ............................. 2
1 国内生产厂商 ....................................................................................................................... 2
2国外生产厂商 ........................................................................................................................ 8
二、MEMS产业竞争格局 ................................................... 11
1. 产品结构 ............................................................................................................................ 11 2、中国半导体
位移传感器的技术发展现状与发展趋势 - 刘焱 - 图文
《自动化技术与应用》2013第32卷第6期 收稿日期:2013-05-09 位移传感器的技术发展现状与发展趋势 刘 焱,王 烨
(中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江 哈尔滨 150001) 摘 要:位移传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础,是实现测试与自动控制重要环节。综述了位移传感器的技术发展现状,
着重介绍和比较了主要类别传感器的工作原理、应用场合及优缺点,列举了一些位移传感器的应用实例,并对其未来的发展趋势做了展望。
关键词:位移传感器;现状;发展趋势;分类;应用
中图分类号:TP212 文献标识码:A 文章编号:1003-7241(2012)04-0076-06
Present Status and Thrend of Technical Development of Displacement Sensor LIU Yan, WANG Ye
( The 49th Research Institute of China Electronic Technology Group Corporation, Harbin 150001 China
Abstract: Displacement sensor is a