pecvd镀膜工艺流程

赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司 文件编号 文件名称 管式PECVD工艺流程 生效日期 页码 第1 页 共6 页 一、目的

制定管式PECVD工序工艺流程规范，作为工艺人员工作依据，保证镀膜质量。 二、适用范围

管式PECVD工序所有工艺人员。 三、工艺人员职责

3.1 负责管式PECVD工序生产工艺运行的正常性、稳定性。

3.2负责部门内工艺运行原始资料的累积，保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺 异常。

3.3 负责应对管式PECVD设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。 四、名词定义

4.1 PECVD：即等离子增强化学气相沉积，在外加能量的作用下，NH3、SiH4发生电离，反应后在硅片表面生成SiN薄膜。

4.2 管式PECVD：区别于板式PECVD，镀膜过程中，硅片插在石墨舟中，由SiC桨送入石英炉管内进行镀膜，因此称为管式PECVD。此种镀膜方式中，石墨舟及硅片是作为电极的一部分参与镀膜，在外加高频电源的作用下，石墨舟片之间形成电场，将通入的SiH4和NH3电离，在硅片表面反应生成SiN膜。 五、工作内容

5.1 PECVD工序产品检验点

5.1.1 镀膜后过程

工艺流程

动力工段，隶属风机发电部，以满足高炉供风需求为主，现有供风系统5套，分别为公司的5个高炉供风（分别为新1#高炉、新2#高炉3#高炉、6#高炉和7#高炉）。工段运行岗位主要包括：锅炉、汽机、BPRT、新56、除盐水站（实验室）、水场。

其中化验室负责两台锅炉用水的生产，对炉水、凝结水的化验及水的化学处理。有水处理操作工和水质化验员岗位。

水场：水场是水循环系统中枢，为各部门供水提供需求。（主要为二轧、三轧、带钢提供+Nacl的软水）为需要冷却水的地方提供循环水（像新56、汽轮机等）。有操作工岗位。

图例：

水处理工艺流程方块图

工艺流程线路图

深井来水---进入原水箱---原水泵---机械过滤器---阳离子交换器---除碳器---进入中间水箱---中间水泵---阴离子交换器---混合离子交换器---进入除盐水箱---除盐水泵（加氨装置）---除氧器 再生处理线路图

酸（碱）运输罐车---卸酸（碱）泵---进入酸（碱）储罐---酸（碱）计量箱---酸（碱）喷射器---和水混合---阳（阴）离子交换器再生管道---阳（阴）离子交换器---经过树脂层---排出交换器

锅炉：动力工段的锅炉

页码信息： 总 第 4 页 1 页

文书编号

HCBZZZ040 01 年 年 月 月 日 日

承认

确认

作成

PECVD镀膜操作作业指导书作业手顺·遵守事项● 作业手顺

版

本

作成日期 修改日期

设备名/设备编号： 1、PE机 2、 3、 4、

应遵守的要点及注意事项 1.穿戴好劳保用品。 2.保证小车运转平稳。 3.确认石墨舟叶片完好，螺丝紧固，在小车放置平稳。 4.确认流程单数量与实际数量一致且硅片表面无异常，无崩边缺角。 5.硅片放置平稳，确保非扩散面贴向槽壁。 5.双手扶着石墨舟缓慢调整倾斜，避免手臂接触石墨舟。

工序目的： 制作晶体硅电池的减反射 膜及钝化 使用部品材料： 单晶硅片。扩散硅片

1.确认小车完好

2.确认石墨舟完好

3.核对物卡数量

4.放置硅片

7.装卸片时吸笔要保证干净. 8.硅片顺着槽壁滑进槽内，由工艺点定位，注意速度和角度。 9.检查插片是否漏片，是否贴合槽壁。 10.插片顺序应从左到右，从上到下。 11.插片时硅片扩散面朝外，非扩散面贴着槽壁。

5.小车放置区域 使用夹具、 工具：

6.石墨舟向前倾斜

7.准备吸片

8.插片

12.石墨舟倾斜度根据操作员高度，台架高度来调整，合适的角度利于操作。 13.石墨舟必须复位扶正水平时方可旋转。

2.2.2.1原料储存与准备

原料煤/石油焦经带式输送机(27215X106A/B)，电动卸料小车，进入6个磨机前料仓。磨机前料仓的原料煤/石油焦经煤称重给料机(27701W101A~F)定量连续进入6台磨机(27702H101~27702H601)。石灰石粉从汽车槽车气流输送进入27701D101A/B、27701D102A/B石灰石粉料仓贮存，石灰石粉通过可调速圆盘喂料机(27701X101A~F)、螺旋输送机(27701X102A/B、27701X103A/B、27701X104A/B、27701X105A~F)，连续定量的分别进入6台磨机(27702H101~27702H601)。

为防止物料起拱，磨机前煤斗设置仓壁振动器(27701Y103A~M)，石灰石粉料仓(27701D101A/B、27701D102A/B)下设置压缩空气喷吹口。 2.2.2.2料浆制备

自原料贮存与准备来的原料（石油焦或石油焦+煤）（<6mm）由原料称重给料机控制输送量送入磨机；助熔剂也从原煤贮存与准备工序由输送带定量送入磨机。

本工程设置6台棒磨机27702H101~601。为了达到规定的料浆粒度分布，再设置2台球磨机27702H701~801。正常时开4台棒磨机磨机和一台球磨机。

来自低温甲醇洗的废水、丁醇装置的废水、及变换低温冷凝液进入制浆水槽27

高考化学工艺流程题

一、探究解题思路

呈现形式：流程图、表格、图像 设问方式：措施、成分、物质、原因

能力考查：获取信息的能力、分解问题的能力、表达能力 知识落点：基本理论、元素化合物、实验

无机工业流程图题能够以真实的工业生产过程为背景，体现能力立意的命题指导思想，能够综合考查各方面的基础知识及将已有知识灵活应用在生产实际中解决问题的能力。 【例题】某工厂生产硼砂过程中产生的固体废料，主要含有MgCO3、MgSiO3、CaMg(CO3)2、Al2O3和Fe2O3等，回收其中镁的工艺流程如下：

Ⅰ预处理 Ⅱ分离提纯

Ⅱ分离提纯

Ⅲ 还原

原 料：矿石（固体） 预处理：酸溶解（表述：“浸出”）

除 杂：控制溶液酸碱性使金属离子形成沉淀

核心化学反应是：控制条件，调节PH，使Mg2+全部沉淀 1. 解题思路

明确整个流程及每一部分的目的 → 仔细分析每步发生的反应及得到的产物 → 结合基础理论与实际问题思考 → 注意答题的模式与要点

在解这类题目时：

首先，要粗读试题，尽量弄懂流程图，但不必将每一种物质都推出。 其次，再精读试题，根据问题去精心研究某一步或某一种物质。 第三，要看清所问题，不能答非所问，并

中药饮片生产工艺流程图

NO NO NO 原中药料材 中药材 净选整理 包装质量检 查 NO 粘贴质量 合格证 成品包装 YES 干燥品质量检查 NO 干燥处理 YES NO 查成品质量检炮炙（制）半炮炙（制） 洗 药 YES 成品出厂（入成品库） YES 质量 检查 NO YES NO 粉碎品质量检查 粉碎 处理 YES 半成品干燥 质量检查 - 1 -

净选后药材质量检查 中药材软化 YES （蒸汽处理过程） NO NO NO YES 软化药材质量检查 YES 中药材 切 制 NO 量检查 切制品质YES 半成品干燥处理

中药材净选过程工艺流程图

中药材原料（原料库领取） 挑选整理（挑选室中进行）除去非入部位和杂质 洗药（洗池或洗药车间进行），进行清洗，除去泥沙 净选后药材质量检查 （水处理过程） 软化环节 直接干燥 质量控制要点：

1、 挑选整理：除去杂质、非入药部位和变质失效者。

2、 挑选整理方法：拣选、风选、筛选、剪、切、刮削、剔除、刷、搽、碾串等方法， 3、 各类药材采取的方法：

根及根茎类：拣选、剪、切、刮、剔除、刷等方法；种子果实类：风选、筛选、碾串等方法；全草类：拣选

消失模铸造工艺流程

一、工艺流程示意图 EPS EPMMA STMMA 预热 → 加料、搅拌 → 抽真空 → 喷水雾 → 停止抽真空 → 出料 → 干燥 → 料仓 可预发筛干珠熟发发发泡上 性粒 分 燥 化泡粘烘泡成涂膜接 干料型 组浇 预热模具 → 加料 → 合模 → 发泡成型 → 冷却 → 脱模 闭模 →合冒 口 新砂、旧砂、覆塑料膜密封砂箱、置浇口杯 冒打机（清铸热浇 铸 造埋铸冷注落件口磨）抛处、型箱却及 成砂理件浇丸砂件 品 落砂斗 → 水平振动筛 → 型砂冷却 → 提升机 → 磁选、除尘 → 储砂斗

二、工艺流程

模样生产工艺流程图 零铸模模 模件件样具具图 图图图 成型 EPS预发泡 熟化 珠粒 冷却 模样组合 干燥 出模 检验

1

（一） 预发泡：

预发泡目的：为了获得低密度、表面光洁、质量优良的泡沫模样。 流程： 预热 → 加料、搅拌 → 抽真空 → 喷水雾 → 停止抽真空 → 出料 → 干燥 → 料仓、熟化

EPS预发温度100

宁夏电投钢铁有限公司技术操作规程

一、 工艺流程简述

炼钢生产的方坯，通过热送辊道进入轧钢厂原料跨，根据工艺要求，可以热装的钢坯，直接进入加热炉进行加热；不可以热装的钢坯，通过翻坯冷床下线冷却，冷却后的钢坯，再通过冷坯上料台架入炉加热。

根据不同钢种的加热制度，钢坯在步进梁式加热炉内加热至950℃~1150℃，再依据轧制节奏的要求，由出炉辊道逐根送出炉外。出炉后的钢坯经过高压水除鳞装置除却表面的氧化铁皮，然后进入粗轧机组。出炉钢坯经检查如有缺陷，由剔除装置从辊道剔除。

全线轧机28架，为全连续布置，分为粗轧机组、中轧机组、棒材精轧机组和精轧机组，其中粗轧机组、中轧机组、棒材精轧机组各有6架轧机，线材精轧机组有10架轧机，全线无扭轧制。粗、中、棒材精轧机组采用平立交替布置，棒材和线材生产共用；线材精轧机组采用辊环悬臂式，45°顶交布置。

轧件经过粗、中、精轧机组的轧制后，由穿水冷却线进入导管，在夹送辊的夹送下进入线材轧制跨。进入线材轧制跨的轧件，在4#飞飞剪处切头、切尾，然后通过侧活套进入线材精轧机组轧制。轧件在线材精轧机组内一旦发生事故，4#飞飞剪立即启动，将

宝鼎铝业熔铸车间工艺操作规程

一、 内容与适用范围

1.本工艺操作规程适用于熔铸车间铸造6063合金直径89-178mm的铸棒要求。

二、 生产工艺流程

1.铝合金的熔炼是铸棒生产过程中的主要工序，是所需要优质铝棒的关键，是铸棒生产质量控制的关键环节，工艺流程如下：

原材料及辅助材料的选择→配料计算→装炉→燃烧熔化→搅拌打渣→加硅镁→精炼打渣→炉前分析→调整成份、温度→二次精炼及除气→打渣→静置→分析→合格后铸棒。

三、 工序工艺及操作规程

所使用的铝锭、镁锭中间合金及辅助材料等应按公司标准的要求，所使用的各种回炉料成份应清楚，干燥洁净。

1.各种合金配料必须符合本公司铝棒成份的标准要求，镁、硅待铝水达到740℃时，把渣扒干净后可直接加入铝水中，没炉次的各种炉料必须准确过磅记录。 2.装炉前确保设备正常运行，待炉料熔化后，温度达到740℃时，把火、风机关上，打干净炉内铝渣，投入外购炉料，并搅拌，尽量把烧损率降低。铝液不够温时再开大火熔炼，并注意炉内烧灰，并随时准备打渣，尽量减少铁元素，待炉料加入约80%时应搅拌均匀，提取炉前分析，再按成份进行搭配。待炉内温度达到730℃-750℃时把炉内所有杂质和铝渣清理干净，加入硅、镁，待硅镁熔化后，加入打

公司生产工艺流程

漳州施朗格（建材）有限公司

公司生产工艺流程

公司生产工艺流程

生产工艺

荒料毛料由矿山直接分离下来，形状不规则的石料经加工而成的，具有一定规格，用以加工饰面板材的石料。荒料内部的花色从外面无法完全判断，存在一定的风险性，所以就要挑选荒料，施朗格有行业内最专业的人员常年负责从事荒料采购，保证大理石的品种花色

1、荒料毛料由矿山直接分离下来，形状不规则的石料经加工而成的，具有一定规格，用以加工饰面板材的石料。荒料内部的花色从外面无法完全判断，存在一定的风险性，所以就要挑选荒料，施朗格有行业内最专业的人员常年负责从事荒料采购，保证大理石的品种花色以及质量都属上乘。

2、大理石荒料用专业进口设备进行大板切割成1.75～3cm厚度。一般为1.70cm、

2.3cm、3cm。作为复合板可分切成3片、4片、6片，也可分切成10mm厚的通体薄板。 一般都将荒料切割成1.7cm厚，超过这个厚度都需提前定作生产，大理石复合板的大板（面材）和瓷砖（基材）都相应比成品的规格尺寸稍大一些，因为复合、分切、磨光后，还需一次磨边或切边。一般长、宽都稍大6～8mm，乱规格尺寸或复合其它基材，面材和基材的规格尺寸就要比成品规格大10～15mm，还要根据具体的基材再作选择。