化学机械抛光设备

化学机械抛光工艺（CMP）

摘要：本文首先定义并介绍CMP工艺的基本工作原理，然后，通过介绍CMP系统，从工艺设备角度定性分析了解CMP的工作过程，通过介绍分析CMP工艺参数，对CMP作定量了解。在文献精度中，介绍了一个SiO2的CMP平均磨除速率模型，其中考虑了磨粒尺寸，浓度，分布，研磨液流速，抛光势地形，材料性能。经过实验，得到的实验结果与模型比较吻合。MRR模型可用于CMP模拟，CMP过程参数最佳化以及下一代CMP设备的研发。最后，通过对VLSI制造技术的课程回顾，归纳了课程收获，总结了课程感悟。

关键词： CMP、研磨液、平均磨除速率、设备

Abstract：This article first defined and introduces the basic working principle of the CMP process, and then, by introducing the CMP system, from the perspective of process equipment qualitative analysis to understand the working process of the CMP, a

化学机械抛光液（CMP）氧化铝抛光液具体添加剂

摘要：本文首先定义并介绍CMP工艺的基本工作原理，然后，通过介绍CMP系统，从工艺设备角度定性分析了解CMP的工作过程，通过介绍分析CMP工艺参数，对CMP作定量了解。在文献精度中，介绍了一个SiO2的CMP平均磨除速率模型，其中考虑了磨粒尺寸，浓度，分布，研磨液流速，抛光势地形，材料性能。经过实验，得到的实验结果与模型比较吻合。MRR模型可用于CMP模拟，CMP过程参数最佳化以及下一代CMP设备的研发。最后，通过对VLSI制造技术的课程回顾，归纳了课程收获，总结了课程感悟。

关键词： CMP、研磨液、平均磨除速率、设备

Abstract：This article first defined and introduces the basic working principle of the CMP process, and then, by introducing the CMP system, from the perspective of process equipment qualitative analysis to understand the working process of

化学机械抛光 保持环压力 有限元分析

2007年8月第25卷第4期西北工业大学学报

JournalofNorthwesternPolytechnicalUniversityAug.2007Vol.25No.4

晶圆化学机械抛光中保持环压力的有限元分析

黄杏利1,傅增祥2,杨红艳2,马彬睿2

(1.西北工业大学材料科学与工程学院;2.西北工业大学生命科学院,陕西西安　710072)

α

摘　要:在集成电路(IC)行业中,化学机械抛光(CMP)是获得全局平坦化的技术增加,在CMP加工过程中,晶圆边缘容易出现“过磨(2)”用率。的“过磨”现象。由此说明,,晶圆和CMP工艺成本高,依靠实验探索CMP,所以保持环压力不宜通过实验方法确定,。,得出了保持。针对不同CMP,从而提高晶圆抛光质量及利用率,降低晶圆制造成本。关　键　词:化学机械抛光(CMP),晶圆,保持环,有限元方法(FEM)

中图分类号:TN302;TN305.99　　文献标识码:A　　　文章编号:100022758(2007)0420508204　　化学机械抛光(chemicalmechanicalpolish,CMP)技术是制备晶圆的关键步骤,它能满足晶圆所必须的严格的工艺控制、高质量的表面外形及平面度

化学机械抛光 保持环压力 有限元分析

2007年8月第25卷第4期西北工业大学学报

JournalofNorthwesternPolytechnicalUniversityAug.2007Vol.25No.4

晶圆化学机械抛光中保持环压力的有限元分析

黄杏利1,傅增祥2,杨红艳2,马彬睿2

(1.西北工业大学材料科学与工程学院;2.西北工业大学生命科学院,陕西西安　710072)

α

摘　要:在集成电路(IC)行业中,化学机械抛光(CMP)是获得全局平坦化的技术增加,在CMP加工过程中,晶圆边缘容易出现“过磨(2)”用率。的“过磨”现象。由此说明,,晶圆和CMP工艺成本高,依靠实验探索CMP,所以保持环压力不宜通过实验方法确定,。,得出了保持。针对不同CMP,从而提高晶圆抛光质量及利用率,降低晶圆制造成本。关　键　词:化学机械抛光(CMP),晶圆,保持环,有限元方法(FEM)

中图分类号:TN302;TN305.99　　文献标识码:A　　　文章编号:100022758(2007)0420508204　　化学机械抛光(chemicalmechanicalpolish,CMP)技术是制备晶圆的关键步骤,它能满足晶圆所必须的严格的工艺控制、高质量的表面外形及平面度

电解抛光设备操作规则

1.目的

为了保证抛光设备的安全有效运行以及抛光带的质量，明确抛光工程师的责任，特制定本制度。

2.试用范围

适用于存放在纳米技术及应用国家工程研究中心的电解抛光设备。

3.职责

电抛线工程师按操作规则负责操作与维护，维修与保养的工作。

4.内容

4.1 电解抛光设备的开机操作规则

4.1.1 测量并记录电抛液比重，将比重计放入盛有电抛液的500mL的量筒中选择合

适量程的比重计（1.8-1.7、1.7-1.6、1.6-1.5），待稳定后读数。

4.1.2 打开总电源开关，再依次开启[1#超声加热开关]—[2#超声加热开关]—[电解

加热开关]—[制冷机开关]—[烘干开关]。

4.1.3 检查六个电极轮是否转动灵活，如转动不灵活，需要及时更换，并检查调整

冲洗电极的水管位置，使其水流能冲洗到电极上。（注：公里级抛光带生产中， 需每次都更换6个电极柱）

4.1.4 打开除了电抛液槽上面的所有盖子。

4.1.5 检查各个储液槽内的清洗水是否更换，水位要在进水口下方，不能太低或太

高，水体要干净。

4.1.6 接原料带盘与收料盘，收料盘在安装前需要用无尘布将其内部檫拭干净。原

料带盘需顺时针方向运转，收料盘需顺

河 南 工 业 职 业 技 术 学 院 毕 业 论 文

河 南 工 业 职 业 技 术 学 院

毕业设计（论文）

题 目 高 速 抛 光 工 艺

班 级 光 电 1101 班

专 业 光 电 制 造 技 术

姓 名 罗 永 强

指导教师 王 毅

日 期 2013年 9 月 30 日

目录

1

河 南 工 业 职 业 技 术 学 院 毕 业 论 文

摘要 .................................................................................................................................................. 4

第一章 抛光过程的各种加工工艺...............................

一般工厂的常见设备及安全装置

一、机械设备概述

设备指可供企业在生产中长期使用,并在反复使用中基本保持原有实物形态和功能的劳动资料和物质资料的总称。也可以说机械设备是由若干相互联系得零件按一定规律装配起来，能够完成一定功能的装置 。机械设备种类繁多，机械设备运行时，其一些部件甚至其本身可进行不同形式的机械运动。机械设备由驱动装置、变速装置、传动装置、工作装置、制动装置、防护装置、润滑系统、冷却系统等部分组成。

驱动装置一般由电动机或内燃机组成；# e/ O2 ^* [. @* R) W% I 变速装置一般由减速机和调速器等组成；

传动装置一般由由齿轮、链轮、皮带轮、涡轮、蜗杆、连杆、连轴器等组成； 制动装置一般由制动器和制动开关等组成；

防护装置一般由固定安全防护装置、连锁安全装置、控制安全装置、自动安全装置、隔离安全装置、可调安全装置、自动调节安全装置、跳闸安全装置、双手控制安全装置等； 工作装置是直接作用工件上的装置，一般是由刀具、钻床、夹具、冲具、压具、磨具等组成；

润滑系统一般由泵、管路、注油器、润滑剂、电器等组成；+ Q5 Q; Y2 {( W/ B( \\: J, X- W0 d 冷

第六章 泵安装

说明

一、本章包括离心式泵、旋涡泵、电动往复泵、柱塞泵、蒸汽往复泵、计量泵、螺杆泵、齿轮油泵、真空泵、潜水泵、其他泵安装以及泵拆装检查、减震装置安装等共13节175个子目。 二、泵安装适用范围： 1．离心式泵：

（1）离心式清水泵、单级单吸悬臂式离心泵、单级双吸中开式离心泵、立式离心泵、多级离心泵、锅炉给水泵、冷凝水泵、热水循环泵；

（2）离心油泵、卧式离心油泵、高速切线泵、中开式管线输油泵、立式筒式离心油泵、离心油浆泵、汽油泵、BY型流程离心泵；

（3）离心式耐腐蚀泵、耐腐蚀液下泵、塑料耐腐蚀泵、耐腐蚀杂质泵、其他耐腐蚀泵； （4）离心式杂质泵、污水泵、长轴立式离心泵、砂泵、泥浆泵、灰渣泵、煤水泵、衬胶泵、胶粒泵、糖汁泵、吊泵；

（5）离心式深水泵、潜水电泵。

2．旋涡泵：单级旋涡泵、离心旋涡泵、WZ多级自吸旋涡泵、其他旋涡泵。 3．往复泵：

（1）电动往复泵：一般电动往复泵、高压柱塞泵（3～4柱塞）、石油化工及其他电动往复泵、柱塞高速泵（6～24柱塞）；

（2）蒸汽往复泵：一般蒸汽往复泵、蒸汽往复油泵； 4．屏蔽泵：轴流泵、螺旋泵。 二、泵安装包括下列内容：

1．设备本体与本体联体的附件、连接短管、润滑冷却装置等的清洗、

机械加工设备试题

一、填空题 （10分）

1、X6132型号中，32表示（工作台面宽320mm ）。

2、切削加工时，刀具和工件之间必须做一定的相对运动，形成工件表面。这种运动被 称为（成形 ）运动。该运动按切削过程所起作用分为（主运动 ）和（进给 ） 运动。

3、常见的机械变速装置有（滑移齿轮变速组）、（挂轮变速组）、（离合器变速组）。

4、滚切直齿圆柱齿轮时，要具备（展成）运动、（主）运动 和（轴向进给）运动。

5、按照控制方式的不同，可将机床分为（通用机床）和（数控机床）两大类型。

6、常见的机械变速装置有（滑移齿轮变速组）、（挂轮变速组）、（离合器变速组）。

7、数控机床的控制方式可分为（开环）控制、（闭环）控制、（半闭环）控制。

8、Y3150E滚切斜齿圆柱齿轮比直齿圆柱齿轮增加了（附加运动）传动链，该传 动链首端件是（滚刀刀架），末端件是（工作台）。 9、CG6125B中的字符含义C：车床 G：高精度 。

10、成形运动按照组成可分为简单成形运动 和复合成形运动两种。

11、车床CA6140型号中，40表示（最大车削直径为400mm ）。 12、切削加工时，刀具和工件之间必须做一定的相对运动，形成工

第六章 泵安装

说明

一、本章包括离心式泵、旋涡泵、电动往复泵、柱塞泵、蒸汽往复泵、计量泵、螺杆泵、齿轮油泵、真空泵、潜水泵、其他泵安装以及泵拆装检查、减震装置安装等共13节175个子目。 二、泵安装适用范围： 1．离心式泵：

（1）离心式清水泵、单级单吸悬臂式离心泵、单级双吸中开式离心泵、立式离心泵、多级离心泵、锅炉给水泵、冷凝水泵、热水循环泵；

（2）离心油泵、卧式离心油泵、高速切线泵、中开式管线输油泵、立式筒式离心油泵、离心油浆泵、汽油泵、BY型流程离心泵；

（3）离心式耐腐蚀泵、耐腐蚀液下泵、塑料耐腐蚀泵、耐腐蚀杂质泵、其他耐腐蚀泵； （4）离心式杂质泵、污水泵、长轴立式离心泵、砂泵、泥浆泵、灰渣泵、煤水泵、衬胶泵、胶粒泵、糖汁泵、吊泵；

（5）离心式深水泵、潜水电泵。

2．旋涡泵：单级旋涡泵、离心旋涡泵、WZ多级自吸旋涡泵、其他旋涡泵。 3．往复泵：

（1）电动往复泵：一般电动往复泵、高压柱塞泵（3～4柱塞）、石油化工及其他电动往复泵、柱塞高速泵（6～24柱塞）；

（2）蒸汽往复泵：一般蒸汽往复泵、蒸汽往复油泵； 4．屏蔽泵：轴流泵、螺旋泵。 二、泵安装包括下列内容：

1．设备本体与本体联体的附件、连接短管、润滑冷却装置等的清洗、