CVD技术的特点

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CVD技术

标签:文库时间:2024-11-08
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化学气相淀积(Chemical Vapor Deposition) 是通过气态物质的化学反应在衬底上淀积一层薄膜材料的过程 CVD技术特点:

具有淀积温度低、薄膜成分和厚度易于控制、均匀性和重复性好、台阶覆盖优良、适用范围广、设备简单等一系列优点

CVD方法几乎可以淀积集成电路工艺中所需要的各种薄膜,例如掺杂或不掺杂的SiO2、多晶硅、非晶硅、氮化硅、金属(钨、钼)等

常用的CVD技術有:

(1) 常压化学气相淀积(APCVD); (2) 低压化學气相淀积(LPCVD); (3) 等离子增强化學气相淀积(PECVD)

较为常见的CVD薄膜包括有: 二氧化硅(通常直接称为氧化层) 氮化硅 多晶硅 难熔金属与这类金属之其硅化物

常压化学汽相淀积(NPCVD) (Normal Pressure CVD)

常压化学气相淀积(APCVD/NPCVD)是指在大气压下进行的一种化学气相淀积的方法,这是化学气相淀积最初所采用的方法。这种工艺所需的系统简单,反应速度快,并且其淀积速率可超过1000埃/min,特别适于介质淀积,但是它的缺点是均匀性较差,所以,APCVD一般用在厚的介质淀积。

NPCVD为最简单的CVD法,使用于各种领域中。其一般装置是由(1)

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化学气相淀积(Chemical Vapor Deposition) 是通过气态物质的化学反应在衬底上淀积一层薄膜材料的过程 CVD技术特点:

具有淀积温度低、薄膜成分和厚度易于控制、均匀性和重复性好、台阶覆盖优良、适用范围广、设备简单等一系列优点

CVD方法几乎可以淀积集成电路工艺中所需要的各种薄膜,例如掺杂或不掺杂的SiO2、多晶硅、非晶硅、氮化硅、金属(钨、钼)等

常用的CVD技術有:

(1) 常压化学气相淀积(APCVD); (2) 低压化學气相淀积(LPCVD); (3) 等离子增强化學气相淀积(PECVD)

较为常见的CVD薄膜包括有: 二氧化硅(通常直接称为氧化层) 氮化硅 多晶硅 难熔金属与这类金属之其硅化物

常压化学汽相淀积(NPCVD) (Normal Pressure CVD)

常压化学气相淀积(APCVD/NPCVD)是指在大气压下进行的一种化学气相淀积的方法,这是化学气相淀积最初所采用的方法。这种工艺所需的系统简单,反应速度快,并且其淀积速率可超过1000埃/min,特别适于介质淀积,但是它的缺点是均匀性较差,所以,APCVD一般用在厚的介质淀积。

NPCVD为最简单的CVD法,使用于各种领域中。其一般装置是由(1)

电力载波技术的特点及优势

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电力载波技术的特点及优势

BPSK调制解调方式及窄带通信技术与扩频技术在电力载波应用中的比较。

电力线网络环境以及为增加通信可靠性所作的特别技术处理。

LONWORKS?协议为自动组网及自适应功能提供了基础 双内核高速8位CPU@80MHz 调制解调方式:BPSK 通信速率:5.5Kbits/s 可编程多频点载波通信 信号质量监测

自动组网,自适应路由控制

片内14KB SRAM用于应用程序和网络数据缓冲 4个16位定时器和6个外部中断源 芯片可外扩128KB程序存储器和256KB SRAM 24个软件可配置GPIO

2个UART, 1个I2C,1个SPI口 实时时钟和看门狗

通信系统采用的不同调制方式

调幅式:载波信号的幅度随传播信号而变.

调频式:载波信号的频率随传播信号而变

调相式:载波信号的相位随传播信号而变.

实现PLC控制网络的单片系统芯片(SOC)

利用低压电力线作为通信媒介,实现数据传输及网络控制等功能 符合EIA-709.1,EIA-709.2 和 EN50065-1等国际标准

其性能优越的物理层设计及完善的网络通信协议,完善的自动路由协议层,保证了可靠的网络通信性能 高集成化的 SoC设计及通用而高效的开

项目采用的工艺路线技术特点

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第二章 项目技术方案与创新性 一、项目的技术原理

水平旋转锥面反射型风叶微风、太阳能风光互补发电系统,是由锥面反射型风叶微风发动机,太阳能电池组件,风光互补逆变器和蓄电池相结合的集成发电系统,它可以实现风光互补发电向负载连续提供电力。太阳能电池组件和风力发电机产生的电能通过风光互补逆变器可直接提供给直流负载,或者通过直流交流逆变器,将直流电转换成交流负载使用,同时富余的能量通过控制器储存到蓄电池中。

二、项目国内外研究开发现状

随着一次性能源资源的逐步枯竭,可再生能源的利用迅速发展起来。风能、太阳能是目前较为理想的无污染绿色再生能源。随着科技的进步,利用风能、太阳能的互补特性,可提高系统供电的稳定性和可靠性,并较大幅度的降低成本。从国内来看,这些产品已在内蒙、新疆、青海、藏北、甘肃的农牧区及山东、广东沿海岛屿开始应用,但大都以垂直旋转螺旋桨式风叶风机为主,这种风机要求启动风速高,发电风速更高,安全可靠性能相对差,而拥有能支持它发电风速的风资源的区域很有限。微风分光互补发电系统在国际国内也有应用,但仍以垂直旋转螺旋桨风叶风机为主,启动风速仍要求2.5m/s以上,这些产品批量生产的厂家很少,大多在研发、试销阶段和小批量生产阶段。国

Bruker Xtreme技术特点

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【技术特点】-- ultrafleXtreme MALDI-TOF/TOF质谱仪

快速:MS和MS/MS的激光频率真正达到1,000 Hz

smartbeam II激光器提供寿命长、性能稳定的高频率脉冲激光。可输出1,000 Hz的调制激光,并大大节省了样品量。光束直径可以小至10 um,基本可在空间分辨单细胞,用于组织分子成像分析;另外,ultrafleXtreme的整个数据采集处理系统也可以达到1 kHz的采样频率,与激光器的频率完全匹配,使系统性能得到充分发挥。

可配合使用ImagePrep基质喷雾仪保证最佳样品制备效果,以及Mirax Scan切片扫描仪获得组织切片的高分辨率显微照片。flexImaging软件可直接将分子图像和显微图像重叠比较,方便显示各种分子在组织上的分布。

ImagePrep基质喷雾仪可产生直径20 um的细小雾滴,并将其均匀地喷涂在组织表面或TLC板上,达到最佳的图像分辨率。

PAN全景式宽域离子聚焦技术,结合FlashDetector高性能检测器,可到40,000 分辨率,和1 ppm质量准确度,大大提高蛋白质鉴定的成功率和序列覆盖率

MALDI Perpetural永不间断的自动清洗离子源:离子源配有专利的

先进制造技术的内涵及特点

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先进制造技术的内涵及特点

1.先进制造技术的内涵

目 前对先进制造技术尚没有一个明确的、一致公认的定义,经过近年来对发展先进制造技术方面开展的工作,通过对其特征的分析研究,可以认为:先进制造技术是制 造业不断吸收信息技术和现代管理技术的成果,并将其综合应用于产品设计、加工、检测、管理、销售、使用、服务乃至回收的制造全过程,以实现优质、高效、低 耗、清洁、灵活生产,提高对动态多变的市场的适应能力和竞争能力的制造技术的总称。

2.先进制造技术的特点

(1)先进制造技术的实用性 先 进制造技术最重要的特点在于,它首先是一项面向工业应用,具有很强实用性的新技术。从先进制造技术的发展过程,从其应用于制造全过程的范围,特别是达到的 目标与效果,无不反映这是一项应用于制造业,对制造业、对国民经济的发展可以起重大作用的实用技术。先进制造技术的发展往往是针对某一具体的制造业(如汽 车制造、电子工业)的需求而发展起来的先进、适用的制造技术,有明确的需求导向的特征;先进制造技术不是以追求技术的高新为目的,而是注重产生最好的实践 效果,以提高效益为中心,以提高企业的竞争力和促进国家经济增长和综合实力为目标。 (2)先进制造技术应用的广泛性

企业技术创新战略的特点

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技术创新

企业技术创新战略的特点

企业的技术创新是以抓住市场潜在的盈利机会,获取高于平均水平利润为目标的创造性活动。从熊彼特在20世纪30年代率先提出了技术创新的概念和理论以后,企业技术创新对经济发展的推动作用越来越引人注目。在过去的几十年中,各个方面的学者分别从各个不同的学科对技术创新活动进行了研究,试图通过理论和方法的研究和指导,提高企业技术创新的有效性和效率。进入90年代,对技术创新的研究已经上升到了战略的高度,技术创新战略的研究成为新的热点。这主要是因为:

1.企业技术创新地位的提高。在市场竞争越来越激烈的情况下,越来越多的企业意识到技术创新是企业获得竞争优势和高于平均水平收益率的主要途径。一个企业的竞争优势或者高于平均水平的收益率无论是来自低成本高差异的定位,还是来自于先动的优势,技术创新都是保持定位或者获得先动优势的主要手段之一。从这个意义上说,提前确定技术创新的方向、途径、投入,提高技术创新的有效性和效率就自然从战术问题上升为战略问题,并且成为企业战略的重要内容。

2.技术创新能力已经成为核心专长的主要来源。越来越多的企业把竞争战略的选择建立在拥有和发挥核心专长的基础之上,因为只有核心专长才能产生可保持的竞争优势。虽然其他因素也可以构成

户外灯箱广告的特点和制作技术

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图案是平面广告的重要“视觉传达 要素”,而色彩在视觉传达上要优于其 他要素。在电子制版和印刷机械飞速发 展的今天,广告制作业如雨后春笋般地 出现,而作为半永久平面广告的户外灯 箱广告,由于采用了辅助光和透射稿, 使得无论是在白天,还是在夜晚,都能 起到以下作用:

  吸引路人的关注目光;增强物品的 真实感;渲染产品气息,诱导消费者的 购买欲;强化广告的特殊印象。

  在户外灯箱广告画面的设计和制作 方面,为追来真实感和艺术性,多采用 彩色印刷或照相喷绘;也有在特殊纸 张、塑料薄板(膜)、灯箱布上以丝网印 刷的方式来制作灯箱画面,并依据其复 制成本、耐候性等要求来选择制作方法 和材料。本文就灯箱广告的特点、主要 构成材料及图案制作工艺方法等,一谈 谈其制作技术的应用。

  一、户外灯箱广告的特点和种类

  灯箱广告又名“灯箱海报”或“夜 明宣传画”。国外称之为“半永久”街头 艺术。户外灯箱广告区别于其他类型广告。其特点如下:

  1.画面大:

  众多的平面广告媒体都供室内或 小范围传达,幅面较小;而户外灯箱广 告通过门头、布告(宣传)栏、立杆灯箱 画的形式展示广告内容。比其他平面广 告插图大、字体也大,十分引人注目。

  2.远视强:

  户外灯箱广告的功能

精炼功能和技术特点

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RH炉、VD炉精炼功能和技术特点

1.1RH工艺简述

RH装置的主要用途是脱氢、轻处理、脱碳和生产硅钢。除此之外,将碳含量降到最低值已成为RH装置的主要生产目标。 1.1.1脱氢

钢中含有氢是使钢脆性增加和形成白点的主要原因,因此对锻造钢坯、轨梁钢、管线钢和厚板等特殊要求的钢种尤其需要进行脱氢处理。在脱氢时,真空室内的压力、提升气体和一氧化碳气量是很重要的参数。为获得最低的含氢量,真空室压力必须到达150Pa以内,处理时间应控制在15至20分钟之间。在RH处理时即使是全镇静钢也可使其脱氢并获得低的氢含量,这是因为提升气体强化了脱气反应。 1.1.2轻处理

在RH装置中进行合金化可提高合金收得率,并可连续添加合金,加料速度与真空室循环速度有关。在真空条件下充分搅拌,获得较大的钢水熔池面积,因而,避免了空气氧化及夹渣,这对于需添加增碳剂这类低密度、含水较高的原料尤其重要。真空下脱氧的优点是节约合金和脱氧剂。钢水在非镇静或半镇静条件下出钢,然后在20kPa的真空下利用一氧化碳的反应脱氧,并生成气体产物。因而,钢中大量的自由氧以气体形式得以排除,与此同时,钢水也进行了脱碳。10-12分钟后,加铝进行最后脱氧,随后的几分钟在低真空下使钢水均匀化和从钢水

精炼功能和技术特点

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RH炉、VD炉精炼功能和技术特点

1.1RH工艺简述

RH装置的主要用途是脱氢、轻处理、脱碳和生产硅钢。除此之外,将碳含量降到最低值已成为RH装置的主要生产目标。 1.1.1脱氢

钢中含有氢是使钢脆性增加和形成白点的主要原因,因此对锻造钢坯、轨梁钢、管线钢和厚板等特殊要求的钢种尤其需要进行脱氢处理。在脱氢时,真空室内的压力、提升气体和一氧化碳气量是很重要的参数。为获得最低的含氢量,真空室压力必须到达150Pa以内,处理时间应控制在15至20分钟之间。在RH处理时即使是全镇静钢也可使其脱氢并获得低的氢含量,这是因为提升气体强化了脱气反应。 1.1.2轻处理

在RH装置中进行合金化可提高合金收得率,并可连续添加合金,加料速度与真空室循环速度有关。在真空条件下充分搅拌,获得较大的钢水熔池面积,因而,避免了空气氧化及夹渣,这对于需添加增碳剂这类低密度、含水较高的原料尤其重要。真空下脱氧的优点是节约合金和脱氧剂。钢水在非镇静或半镇静条件下出钢,然后在20kPa的真空下利用一氧化碳的反应脱氧,并生成气体产物。因而,钢中大量的自由氧以气体形式得以排除,与此同时,钢水也进行了脱碳。10-12分钟后,加铝进行最后脱氧,随后的几分钟在低真空下使钢水均匀化和从钢水