硅片清洗制绒的目的

制绒

目录 简介

? 分类单晶制绒 ? 多晶酸制绒

制绒目的和作用

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编辑本段简介

制绒，光伏行业术语，处理硅片的一种工艺方法，硅太阳能电池片生产的首道工序。

编辑本段分类

按硅原料分类状况可分为单晶制绒与多晶制绒； 按腐蚀液的酸碱性可分为酸制绒与碱制绒。

单晶制绒

原理 单晶硅片在一定浓度范围的碱溶液中被腐蚀时是各向异性的，不同晶向上的腐蚀速率不一样。 利用这一原理，将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀，即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观，这一过程称为单晶碱制绒。

多晶酸制绒

原理 常规条件下，硅与单纯的HF、HNO3（硅表面会被钝化，二氧化硅与HNO3不反应）认为是不反应的。但在两种混合酸的体系中，硅则可以与溶液进行持续的反应，主要反应原理及步骤如下： 1.硅的氧化 硝酸/亚硝酸（HNO2）将硅氧化成二氧化硅（主要是亚硝酸将硅氧化） Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O (慢反应) Si+2HNO3=SiO2+2NO+2H2O (慢反应) 二氧化氮、一氧化氮与水反应，生成亚硝酸，亚硝酸很快地将硅氧化成二氧化硅 2NO2+H2O=HNO2+HNO3 (快反应

制绒

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制绒目的和作用

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制绒，光伏行业术语，处理硅片的一种工艺方法，硅太阳能电池片生产的首道工序。

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按硅原料分类状况可分为单晶制绒与多晶制绒； 按腐蚀液的酸碱性可分为酸制绒与碱制绒。

单晶制绒

原理 单晶硅片在一定浓度范围的碱溶液中被腐蚀时是各向异性的，不同晶向上的腐蚀速率不一样。 利用这一原理，将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀，即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观，这一过程称为单晶碱制绒。

多晶酸制绒

原理 常规条件下，硅与单纯的HF、HNO3（硅表面会被钝化，二氧化硅与HNO3不反应）认为是不反应的。但在两种混合酸的体系中，硅则可以与溶液进行持续的反应，主要反应原理及步骤如下： 1.硅的氧化 硝酸/亚硝酸（HNO2）将硅氧化成二氧化硅（主要是亚硝酸将硅氧化） Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O (慢反应) Si+2HNO3=SiO2+2NO+2H2O (慢反应) 二氧化氮、一氧化氮与水反应，生成亚硝酸，亚硝酸很快地将硅氧化成二氧化硅 2NO2+H2O=HNO2+HNO3 (快反应

半导体硅片的化学清洗技术

一. 硅片的化学清洗工艺原理

硅片经过不同工序加工后，其表面已受到严重沾污，一般讲硅片表面沾污大致可分在三类：

A. 有机杂质沾污：可通过有机试剂的溶解作用，结合超声波清洗技术来

去除。

B. 颗粒沾污：运用物理的方法可采机械擦洗或超声波清洗技术来去除粒径≥

0.4 μm颗粒，利用兆声波可去除≥ 0.2 μm颗粒。

C. 金属离子沾污：必须采用化学的方法才能清洗其沾污，硅片表面金属杂质沾污有两大类：

a. 一类是沾污离子或原子通过吸附分散附着在硅片表面。

b. 另一类是带正电的金属离子得到电子后面附着（尤如“电镀”）到硅片表面。

硅抛光片的化学清洗目的就在于要去除这种沾污，一般可按下述办法进行清洗去除沾污。

a. 使用强氧化剂使“电镀”附着到硅表面的金属离子、氧化成金属，溶解在清洗液中或吸附在硅片表面。

b. 用无害的小直径强正离子（如H+）来替代吸附在硅片表面的金

属离子，使之溶解于清洗液中。

c. 用大量去离水进行超声波清洗，以排除溶液中的金属离子。

自1970年美国RCA实验室提出的浸泡式RCA化学清洗工艺得到了广泛应用，1978年RCA实验室又推出兆声清洗工艺，近几年来以RCA清洗理论为基础的各种清洗技术不断被开发出来，例如：

⑴ 美国FS

光伏太阳能清洗工艺

光伏太阳能硅片清洗工艺的探索

杜虎明，牛进毅，王莉，马斌

(中国电子科技集团公司第二研究所，山西太原030024)

摘

要：对两种不同清洗方法的工作原理、清洗效果和适用范围等特点进行了分析。不同的工艺

应采用不同的清洗方法才能获得最佳效果。介绍了硅片清洗机的清洗工艺和腐蚀工艺。指出了硅片清洗工艺的发展趋势。

关键词：硅片清洗；清洗工艺；表面清洗中图分类号：TN305.97

%%%%%%%文献标识码：B%%%%%%文章编号：1004-4507(2010)060037-03

StudyofMethodsforCleaningSiliconWafers

DUHuming,NIUJinyi,WANGLi,MABin

(CETCNo.2ResearchInstitute,Taiyuan030024,China)

Abstract:Thepaperintroducedtwomethodsforcleaningsiliconwafers,andtheirworkingprinciples、cleaningeffectandapplicationscope.Itispointedoutthatdifferentappropriatemethodsshouldbe

硅片生产流程及主要设备

作为一种取之不尽的清洁能源，太阳能的开发利用正引起 人类从未有过的极大关注。商业化太阳能电池采用的是无毒性的晶硅，单晶和多晶硅电池的特点是光电转换效率高、寿命长且稳定性好。硅片是晶体硅光伏电池加工成本中最昂贵的部分, 随着 半导体制造技术的不断成熟完善，硅片制造成本不断降低。硅片 切割是太阳能光伏电池制造工艺中的关键部分,太阳能电池所 用硅片的切割成本一直居高不下，要占到太阳能电池总制造成本 的30％以上。 所以降低这部分的制造成本对于提高太阳能对传统 能源的竞争力至关重要。 目前硅片的切割方法都是围绕如何减小切缝损失、降低切割厚度、增大切片尺寸及提高切割效率方面进行的。

1.工艺流程 ：硅锭（硅棒）--切块（切方）--倒角抛光--粘胶--切片--脱胶清洗--分选检验、包装

2．工艺简介

切块／切方:将硅锭或者硅棒切成适合切片的尺寸,一般硅锭切成25 块（主 流）。

倒角抛光：将晶柱的圆面棱角研磨成符合要求的尺寸，对表面进行抛光处理，从而获得高度平坦的晶片。

粘胶：用粘附剂把晶柱固定在由铝板和玻璃板组成的夹具上，自然硬化或用 恒温炉使其硬化。

切片：把晶柱切割成硅片，切割的深度要达到夹具上的玻璃板，

以便在之后 的程序中把硅片和玻璃板

大唐煤制天然气项目的借鉴

大唐是我国煤制天然气工业的领军者，已经开工建设的克旗和阜新煤制天然气项目全部建成后，将形成80亿立方米/年的SNG产能，占2010年中国天然气产量945亿立方米的8.5%。

——大唐克旗煤制天然气项目

大唐克旗40亿立方米/年煤制天然气项目于2009年8月获得国家发改委核准，总投资257.1亿元。项目主要建设内容包括碎煤加压气化炉48台，低温甲醇洗装置6套，甲烷合成装置6套。

截至2011年12月，项目一期13.4亿立方米/年装置已基本建成，进入全面试车阶段，预计将于2012年6月投产。项目产品SNG将通过自建管道供应北京的民用燃气，输气管线全长318公里，预计将于近期建成。

——大唐阜新煤制天然气项目

大唐阜新40亿立方米/年煤制天然气项目于2010年3月获得国家发改委核准，总投资245.7亿元。项目一期同样采用碎煤加压气化炉，二期和三期仍在进行气化炉选型。

截至2011年12月，项目一期13.4亿立方米/年装置已经开工建设，预计将于2012年底投产。配套输气管道工程也已开工建设，将产品SNG供应沈阳、铁岭、抚顺、本溪等城市，线路全长343公里。

为了提高煤制天然气项目的竞争力，大唐进行了积极而有效的尝试。

首先，

培训目的：

1、 确定硅片生产过程整个目标； 2、 为工艺过程确定一典型流程； 3、 描述每个工艺步骤的目的；

4、 在硅片生产过程中，硅片性能的三个主要关系的确定。

简介

硅片的准备过程从硅单晶棒开始，到清洁的抛光片结束，以能够在绝好的环境中使用。期间，从一单晶硅棒到加工成数片能满足特殊要求的硅片要经过很多流程和清洗步骤。除了有许多工艺步骤之外，整个过程几乎都要在无尘的环境中进行。硅片的加工从一相对较脏的环境开始，最终在10级净空房内完成。

工艺过程综述

硅片加工过程包括许多步骤。所有的步骤概括为三个主要种类：能修正物理性能如尺寸、形状、平整度、或一些体材料的性能；能减少不期望的表面损伤的数量；或能消除表面沾污和颗粒。硅片加工的主要的步骤如表1.1的典型流程所示。工艺步骤的顺序是很重要的，因为这些步骤的决定能使硅片受到尽可能少的损伤并且可以减少硅片的沾污。在以下的章节中，每一步骤都会得到详细介绍。

表1.1 硅片加工过程步骤

1. 2. 3. 4.

切片

激光标识 倒角 磨片

5. 腐蚀 6. 背损伤

7. 边缘镜面抛光 8. 预热清洗

9. 抵抗稳定——退火 10. 背封 11. 粘片 12. 抛光

13. 检查前清洗 14. 外观

协调EDTA乙二胺四乙酸清洗工艺在锅炉清洗中的应用

最佳答案

分子式是C10H16N2O8，结构式是(HOOCCH2)2NCH2CH2N(CH2COOH)2

新建锅炉在制造、储运和安装过程中，不可避免的会形成氧化皮、腐蚀产物和焊渣，并且会带入砂子、尘土、水泥和保温材料碎渣等含硅杂质。管道在加工成型时，有时使用含硅、铜的冷热润滑剂（如石英砂、硫酸铜等），或者在弯管处灌砂，也都可能是管内残留含硅、铜的杂质。此外，设备在出厂时还可能涂覆有油脂的防腐剂。这些杂质如果在锅炉会产生严重危害，如锅炉启动时，汽水品质特别是含硅量不容易合格，影响机组的启动时间；防碍炉管管壁的传热，造成炉管过热和损坏；在炉内形成碎片或沉渣，堵塞炉管，破坏汽水的正常流动工况；加速受热面沉积物的累积，使介质浓缩腐蚀加剧，导致炉管变薄、穿孔和爆破。所以锅炉在投运前都必须进行化学清洗。锅炉投入运行以后，即使有完善的补给水处理工艺和合理的锅内水工况，仍然不可避免地会有杂质进入给水系统，热力系统也会遭受腐蚀。如不进行化学清洗除掉这些污染物，将会在受热面形成水垢，影响炉管的传热和水汽流动特性，加速介质浓缩腐蚀和炉管的损坏，恶化蒸汽品质，危害机组的正常运行。因此，锅炉运行一定时间以后，必须进行化学清

贡绒埃萨老师开示--大乘入楞伽经 73 录音文字内容 圆?怀?(423248586) 19:30:07 老师好 平凡?人?(16815445) 19:30:10 老师好 安?逸?(945236665) 19:30:11

呆?华?(932093495) 19:30:31 老师好 白玛丹?登?(415472584) 19:30:31 师父好 zqx74110?5?(938360307) 19:30:43 老师好 贡绒埃?萨?(97857901) 19:31:07

于名和相之分别，乃二自性之性相， 清净智慧真如性，则是圆成之性相。 格桑卓?玛?(838691272) 19:31:16 老师好

通知：管理员 [圆怀] 禁止所有人使用文字聊天。 贡绒埃?萨?(97857901) 19:32:50

乃由父母和合故，阿赖耶与意相伴， 犹如酥油罐中鼠，伴随红白一起生。 贡绒埃?萨?(97857901) 19:48:13

淡、浓、疮疱丑陋样，业令种种相展现； 业风、大种作用下，犹如水果般出现。 贡绒埃?萨?(97857901) 19:58:55

五以及五更有五，以及九种之疮窍， 齿、甲、身毛做遮蔽，能够活动并出生 贡绒埃?萨?(97857901) 20:06:

“生活的目的”

【文题】阅读下面的材料，根据要求写一篇不少于800 字的议论文。(70 分) 爱因斯坦说过：“我从来不把安逸和快乐看作是生活目的本身。” 这句话给了你什么启示?你生活的目的是什么?

要求：(1)必须符合文体要求;(2)角度自选;(3)立意自定;(4)题目白拟;(5)不得抄袭。 【思路点拨】

言论类材料作文是近年高考材料作文中的“新宠”。以2013年高考作文试题为例，就有福建(选用作家冯骥才的一句话为作文材料)、山东(选用革命家孙中山先生的一段话为作文材料)、广东(分别选用历史学家汤因比与物理学家居里夫人的一段话为作文材料)等省采用名人言论作为材料，让考生根据对名人言论的理解以及引发的感悟、联想，来立意构思作文。言论类材料作文因其不易套题宿构，而更有信度地检测考生的真实的写作能力水平。

这是一道言论类材料作文。材料给出的是爱因斯坦关于生活目的的深刻洞察与精辟见解(其原文是“我从来不把安逸和快乐看作是生活目的本身——这种伦理基础，我叫它猪栏的理想”)的一句话。在他看来，安逸和快乐不是生活目的的本身，那么生活目的本身究竟是什么呢?为什么安逸和快乐不能算是生活目的的本身呢?怎样的生活目的才是有意义的?或者是