微机电系统(MEMS)

微机电系统 MMES

机械工程与自动化学院专业选修课程

Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)

微机电系

微机电系统 MMES

教材

刘晓明,朱钟淦.《微机电系统设计与制造》 国防工业出版社,2006

参考书籍

微系统技术，[德]W.Menz著，王春海等译， 化学工业出版社，2003 半导体制造技术，[美]Michael Quirk & Julian Serda著，韩郑生等译，电子工业出版社，2003

微机电系统 MMES

课程安排

课 时—— 36 学时 上课时间——第3周-第15周 周一9:55AM，07-212 考试方式——考核 考核方式——课堂报告 论文报告

韩冬桂 18971609020 handonggui@

微机电系统 MMES

一、引

信息系统微型化

– 系统体积大大减小 – 性能、可靠性大幅度上升 – 功耗和价格大幅度降低

言

信息系统的目标：微型化和集成化

– 微电子解决电子系统的微型化 – 非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键

微机电系统 MMES

控制部分 电子学

微电子学

机械 部分 传感 执行 MEMS

微机电系统 MMES

二、MEMS概念

从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、

机电系统微机接口技术大作业

1. 设计一个采用查询方式进行定时采样的A/D转换电路，可以实现一定采样频率和一定采样点数的连续采样过程，A/D芯片位数为12位。模拟输入信号为电压信号。设计内容包括地址译码电路，8253，8255芯片和A/D芯片的硬件电路设计，查询方式下的定时采样程序1024个点的程序。控制器：PC 2. 设计一个转速测量接口电路，包括测量方案选择，传感器选择，整形电路设计，微机接口电路的设计（地址译码电路，8253芯片）。并设计简单的显示（电路）程序。控制器：PC或单片机

3. 设计一个XY步进电机直线导轨的驱动电路，包括步进电机选择，功率驱动、环形脉冲分配器芯片的选择，微机接口电路的设计（地址译码电路，8253或8255芯片）。并设计简单的直线插补程序。 控制器：PC或单片机

4. 设计一个XY步进电机直线导轨的驱动电路，包括步进电机选择，功率驱动、环形脉冲分配器芯片的选择，微机接口电路的设计（地址译码电路，8253，8255芯片）。并设计简单的点位控制程序。 控制器：PC或单片机

5. 设计一个计算机与S7-200 PLC的串行通讯程序，通讯接口为485形式，通讯协议为MODBUS RTU，设计两侧接口电路，仅编写主站读取

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高性能MEMS传感器进一步缩减尺寸，开辟移动设备新时代

作者：Roger Allan

上网时间：2010年08月27日

所属类别: 便携设备 I 放大/调整/转换 I 技术方案

关键字: MEMS 传感器 陀螺仪 加速度计 惯性测量单元

微机电系统(MEMS)运动正在走向更高的集成度、更小的芯片尺寸、更低的成本以及更高的性能和可靠性。这些趋势在最新的加速度计、陀螺仪和惯性测量单元(IMU)上得到了体现，使得MEMS器件得以满足多种下一代电子产品，特别是消费电子产品的需求。

半导体制造商以及领先的研究机构在利用最新的硬件和软件，为现有以及新的市场开发能体现MEMS技术主要优势(即成本低、体积小)的运动感知器件。这些技术进步使开发具有特色的运动传感器IC成为可能。各公司借助这些传感器开发出尖端产品、从而在竞争激烈的市场中实现产品的差异化。

MEMS加速度计和陀螺仪是正在迅速增长的市场。市场研究公司Yole Developpement预测，2013年MEMS加速度计和陀螺仪的复合市场将达约30亿美元(图1)。而在2008年该市场是18.5亿美元，当时全球大

第17卷第1期 中国惯性技术学报 Vol.17 No.1 2009年2月 Journal of Chinese Inertial Technology Feb. 2009 文章编号：1005-6734(2009)01-0081-04

基于虚拟仪器的微机电系统动态特性测试仪设计

王 嫘，董景新，赵长德，李童杰，孔星炜

（清华大学 精密仪器与机械学系，北京 100084）

摘要：设计了一种基于虚拟仪器的微机电系统动态特性测试仪，主要用于微机电系统的频谱测试和静态特性测试。该仪器采用PCI总线24位高性能数据采集卡，使用虚拟仪器技术进行设计和开发，采用扫频方法给待测系统输入一系列由低频到高频的正弦激励信号，进而分析出该系统响应和激励之间的关系。其频率范围为0.01 Hz～10 kHz，并能在关键频率附近增加测试的频率点以提高精度。试验表明，该仪器的最大幅值误差小于0. 2dB，最大相位误差小于0.7&#

一、 机电系统调试 1、

机电系统调试准备：项目需按业主提出工程节点要求，需

积极配合设备供应商做好设备单机调试工作。在确保安装工作量全面完成的同时，对每一设备做到通水通电，并按供货商要求做好各系统负荷调试各项辅助设备工作，确保各项系统负荷调试工作顺利进行。

A、 给排水系统调试方案：给水系统及管道安装完毕，完整性检验合格，方可进行系统进水试压与试浇。验收合格后给水（热水系统）管道在投入试用前，还应按照要求进行管道消毒加药处理，然后用清水反复冲洗水箱与挂管道，直到出水质符合国家《生活饮用水标准》方可投入使用。

B、 各项系统安装完毕，试压清洗与系统开通试后，为了确保给水系统的设计要求与功能完善体现应做好各项系统负荷用行的系统调试工作。对管道系统的阀门、附体、自控元件、泵类设备进行检查并配合做好给水系统的联动试调工作，使给水系统处于正常运行状态，符合设备与符合调试验收要求。 C、 给水系统在确保自身完善性调试时，还要配合相关工种做好水源，给水泵用户点的供水系统联动试调工作，同时积极做好机械过滤的清洗过工作，确保水质及水系统功能正常投入使用。

D、 泵类的负荷联动试调顺序为：验明该泵控制箱、柜检查电源线路是否正常，紧固螺栓是否松动，查出电动机额定电

一、 机电系统调试 1、

机电系统调试准备：项目需按业主提出工程节点要求，需

积极配合设备供应商做好设备单机调试工作。在确保安装工作量全面完成的同时，对每一设备做到通水通电，并按供货商要求做好各系统负荷调试各项辅助设备工作，确保各项系统负荷调试工作顺利进行。

A、 给排水系统调试方案：给水系统及管道安装完毕，完整性检验合格，方可进行系统进水试压与试浇。验收合格后给水（热水系统）管道在投入试用前，还应按照要求进行管道消毒加药处理，然后用清水反复冲洗水箱与挂管道，直到出水质符合国家《生活饮用水标准》方可投入使用。

B、 各项系统安装完毕，试压清洗与系统开通试后，为了确保给水系统的设计要求与功能完善体现应做好各项系统负荷用行的系统调试工作。对管道系统的阀门、附体、自控元件、泵类设备进行检查并配合做好给水系统的联动试调工作，使给水系统处于正常运行状态，符合设备与符合调试验收要求。 C、 给水系统在确保自身完善性调试时，还要配合相关工种做好水源，给水泵用户点的供水系统联动试调工作，同时积极做好机械过滤的清洗过工作，确保水质及水系统功能正常投入使用。

D、 泵类的负荷联动试调顺序为：验明该泵控制箱、柜检查电源线路是否正常，紧固螺栓是否松动，查出电动机额定电

一、 机电系统调试 1、

机电系统调试准备：项目需按业主提出工程节点要求，需

积极配合设备供应商做好设备单机调试工作。在确保安装工作量全面完成的同时，对每一设备做到通水通电，并按供货商要求做好各系统负荷调试各项辅助设备工作，确保各项系统负荷调试工作顺利进行。

A、 给排水系统调试方案：给水系统及管道安装完毕，完整性检验合格，方可进行系统进水试压与试浇。验收合格后给水（热水系统）管道在投入试用前，还应按照要求进行管道消毒加药处理，然后用清水反复冲洗水箱与挂管道，直到出水质符合国家《生活饮用水标准》方可投入使用。

B、 各项系统安装完毕，试压清洗与系统开通试后，为了确保给水系统的设计要求与功能完善体现应做好各项系统负荷用行的系统调试工作。对管道系统的阀门、附体、自控元件、泵类设备进行检查并配合做好给水系统的联动试调工作，使给水系统处于正常运行状态，符合设备与符合调试验收要求。 C、 给水系统在确保自身完善性调试时，还要配合相关工种做好水源，给水泵用户点的供水系统联动试调工作，同时积极做好机械过滤的清洗过工作，确保水质及水系统功能正常投入使用。

D、 泵类的负荷联动试调顺序为：验明该泵控制箱、柜检查电源线路是否正常，紧固螺栓是否松动，查出电动机额定电

个人收集整理 仅供参考学习

MEMS生物芯片技术

——PCR芯片技术

勾海波 22011325

近年来, 科学家们在微机电系统(MEMS) 、纳米技术和分子生物学领域取得了无可争议的进步和突破, 将这些技术结合起来形成功能更强大的分析系统成为目前人们科学探索的目标。生物MEMS(BIOMEMS) 将MEMS 技术应用在生物、医学领域,研究适合于生物领域的微器件和微制造系统, 是最具吸引力的。特别是在寻找新基因、DNA 测序、疾病诊断、药物筛选等方面, 是最有应用前途的研究方向。

BIOMEMS 的研究内容主要包括在生物体外进行生物医学诊断的微系统和在生物体内进行生物医学治疗的微系统。微机械制造技术使BIOMEMS 具有微米量级的特征尺寸, 得以实现器件和系统的微型化, 使生物医学的诊断和治疗可以快速、自动化、高通量、较小损伤地完成。BIOMEMS 技术批量生产能力更极大地降低了生物医学诊断和治疗的成本, 因此BIOMEMS 技术已成为21 世纪科学研究和商品化的主要研究目标。

生物微机电系统( BIOMEMS) 是在生物医学工程中使用的MEMS, 其中最典型的就是生物芯片。由尺度效应可以知道,MEMS

微机系统与维护（2011.1）

一、单项选择题

1. CPU能够直接访问的存储器是（ C ）。

A.硬盘 B.光盘 C. 内存 D.软盘 2. 微机运行中突然重新启动，可能出现问题是（ D ）。

A. CPU B. 主板 c.软件 D.以上都可能 3. 一个硬盘最多能够分成的主分区个数为( A)。

A. 4 B.3 C. 2 D. 1 4. 在运行窗口中输人什么命令可以打开注册表编辑器（ B ）。 A. Config B. Regedit C.edit D.register 5. 微机硬件系统由（ D ）、、存储器、输入设备和输出设备等部件组成。 A. 硬盘 B. 软盘 C. 键盘 D. CPU

6. 为解决CPU和内存之间的速度匹配问题，通常采用的办法是在CPU和内存之间增设 一个（ A ）。

A.高速缓存 B. 光

PPT讲演稿

尊敬的各位领导、各位专家老师：

大家下午好！我们是“双千人才培训班”变电运行第五小组，我是来自成都电业局的郑莹莹，这位是同样来自成都电业局的陈琳琳、来自南充电业局贾挺进、广安电业局柯云华、遂宁公司郭美林、攀枝花电业局的郑钊、绵阳电业局龚坤、资阳公司李泽宇、成都电业局谢天翔、乐山电业局赵磊。下面我将本小组讨论的课题进行一个介绍，我们课题的题目是“集控化防误闭锁系统运用分析”。

国家电网公司提出“三集五大”的发展战略，实施两个转变：转变公司发展方式，转变电网发展方式。按照集团化运作、集约化发展、精益化管理、标准化建设（简称“四化”）要求，实施人力资源、财务、物资集约化管理，构建大规划、大建设、大运行、大检修、大营销（简称“三集五大”）体系，实现公司发展方式转变。

随着“大运行”、“调控一体化”、“无人值班”等生产组织模式的试点和推行，以及智能变电站、程序操作等新技术的应用， 变电运行的工作方式和要求也将发生重大变化。这就对微机型防误系统提出了更高的要求，防误系统不仅要具备单个变电站的五防功能，同时要满足集控模式下变电运行工作的需要。由此可见，优化、改造、甚至更换目前运用的防误闭锁系统，使之能够适应更新的运行环境、达到更高的技术标准，已经成为