IC工艺原理及流程

第一章 外延思考题

1. 外延是在单晶衬底上生长一层单晶膜的技术。 2. 名词解释:

同质结外延：外延层和衬底为同种材料。也称子外延。 异质结外延：外延层和衬底是不同的材料。P2

正外延：在低阻衬底上外延高阻层（器件做在外延层上）； 反外延：在高阻衬底上外延低阻层（器件做在衬底上）； SOS：在绝缘的蓝宝石衬底上生长硅的特称； SOI结构：衬底为其他绝缘体时的名称

软误差：从封装材料中辐射出的a粒子进入衬底产生大量电子空穴对（约10^6量级），在低掺杂的MOS衬底中，电子空穴对可以扩散50um，易受到电场的作用进入有源区，引起器件误动作，这就是软误差。P14 3. 埋层外延中的图形漂移与滑移原因及解决办法。P13

双极电路衬底在外延前需做隐埋扩散。引起图形漂移与畸变的原因一般认为是在外延过程中，外延生长速率的差异所造成的，它与晶向、外延温度、生长速率、气相腐蚀、外延厚度、反应气体的种类等多种因素有关。 4. 分析外延中的自掺杂效应,讨论解决办法。

自掺杂效应也称无意掺杂，包括杂质外扩散、气相自残杂和系统污染三种。它的存在改变了界面附近外延层中的杂质浓度，产生了一个从衬底到外延层的杂质分布过渡区，从而限制了由掺杂控制所能生长的最小薄层厚度以及最

7 工艺原理与工艺流程 7.1工艺原理

7.1.1将电解槽上卸下的残极通过阳极拖车运至阳极组装分厂，待残极冷却后用阳极托盘经装卸站挂到积放式悬挂链输送机（简称悬链）上，由悬链吊运残极依次通过装卸站、电解质清理机、残极抛丸机、残极压脱机、磷铁环压脱机、导杆矫直机、钢爪矫直机、钢爪抛丸机、导杆清刷机、蘸石墨装置、钢爪烘干机等设备完成残极处理和导杆组清理等过程后将合格的导杆组输送到浇铸区准备浇铸。

7.1.2将合格的阳极碳块从碳块库里的堆垛天车把碳块放在板式输送机上，通过板式输送机和滚式输送机，经圆盘机转换碳块排列格式送到浇铸区，经编排将碳块一一推到碳块和导杆组咬合工位，经咬合、校正合格后送到浇铸区准备浇铸。

7.1.3通过中频无芯感应炉将配比合格的磷生铁熔化成铁水，利用桥式起重机将装载合格磷生铁水的铁水包放置到移动浇铸车上，将导杆组和碳块经咬合、校正合格后用移动浇铸车进行浇铸，质量合格的阳极组通过悬链输送机运送到装卸站，卸下至阳极托盘后阳极拖车运至成品库。浇铸质量不合格的阳极组通过道岔返回到残极压脱机进行压脱，导杆组循环使用、在线复检碳块不合格的未浇注的碳块从浇注后续工位排出，由叉车运至残极破碎厂房，再通过天车吊运至500t挤压破碎机内进行碳块破

引言

本系列一共四章,第一章节主要讨论芯片开发和生产过程中的IC测试基本原理,内容覆盖了基本的测试原理,影响测试决策的基本因素以及IC测试中的常用术语;第二章节将讨论怎么把这些原理应用到存储器和逻辑芯片的测试上;接下来的第三章将介绍混合信号芯片的测试,第四章会介绍射频/无线芯片的测试。

第一章.数字集成电路测试的基本原理

器件测试的主要目的是保证器件在恶劣的环境条件下能完全实现设计规格书所规定的功能及性能指标。用来完成这一功能的自动测试设备是由计算机控制的,因此,测试工程师必须对计算机科学编程和操作系统有详细的认识,测试工程师必须清晰了解测试设备与器件之间的接口,懂得怎样模拟器件将来的电操作环境,这样器件被测试的条件类似于将来的应用环境。

首先有一点必须明显的是,测试成本是一个很重要的因素,关键目的之一就是帮助降低器件的生产成本,甚至在优化的条件下,测试成本有时能占到器件总体成本的40%左右,良品率和测试时间必须达到一个平衡,以取得最好的成本效率。

1.1 不同测试目标的考虑

依照器件开发和制造阶段的不同,采用的工艺技术的不同,测试项目种类的不同以及待测器件的不同,测试技术可以分为很多种类。

器件开发阶段的测试包括:特征分析:保证设计的正确性,决定器件的性

MTBE 装置生产原理及工艺流程

1

MTBE 装置简介

一、MTBE 基本情况介绍

MTBE 是甲基叔丁基醚的商品名，是异丁烯和甲醇在强酸性催化剂作用下反应的产物，它的主要用途是替代四乙基铅作为提高汽油辛烷值的添加剂，纯MTBE 的辛烷值为109。此外MTBE 热裂解可以生产高纯度异丁烯，高纯度异丁烯是生产丁基橡胶的原料，它也是其它需要引入叔丁基反应的单体。

MTBE装置生产原理及工艺流程

☆MTBE装置的作用

MTBE装置生产两种产品，一种是MTBE，另一种是粗丁烯。MTBE合成反应的直接结果是获得MTBE，间接结果是将正丁烯和异丁烯分离开来，由于正丁烯和异丁烯的相对挥发度接近1，因此用常规的精馏方法难于分离，因此采用合成MTBE的化学方法进行分离，是目前普遍采用的分离方法。

☆MTBE合成技术

第一套MTBE装置于1973年在意大利建成，我国自行开发的第一套装置于1983年在齐鲁橡胶厂建成，大庆MTBE装置采用的是齐鲁研究院开发的固定床二段深度转化工艺，装置主要由三台反应器和六台塔组成，由反应、MTBE分离、甲醇回收和粗丁烯提浓等几部分组成。

☆MTBE装置简介

甲基叔丁基醚（MTBE）装置以抽余C4和甲醇为原料，原设计第二生产方案年处理抽余C4 32500

MTBE 装置生产原理及工艺流程

1

MTBE 装置简介

一、MTBE 基本情况介绍

MTBE 是甲基叔丁基醚的商品名，是异丁烯和甲醇在强酸性催化剂作用下反应的产物，它的主要用途是替代四乙基铅作为提高汽油辛烷值的添加剂，纯MTBE 的辛烷值为109。此外MTBE 热裂解可以生产高纯度异丁烯，高纯度异丁烯是生产丁基橡胶的原料，它也是其它需要引入叔丁基反应的单体。

MTBE装置生产原理及工艺流程

☆MTBE装置的作用

MTBE装置生产两种产品，一种是MTBE，另一种是粗丁烯。MTBE合成反应的直接结果是获得MTBE，间接结果是将正丁烯和异丁烯分离开来，由于正丁烯和异丁烯的相对挥发度接近1，因此用常规的精馏方法难于分离，因此采用合成MTBE的化学方法进行分离，是目前普遍采用的分离方法。

☆MTBE合成技术

第一套MTBE装置于1973年在意大利建成，我国自行开发的第一套装置于1983年在齐鲁橡胶厂建成，大庆MTBE装置采用的是齐鲁研究院开发的固定床二段深度转化工艺，装置主要由三台反应器和六台塔组成，由反应、MTBE分离、甲醇回收和粗丁烯提浓等几部分组成。

☆MTBE装置简介

甲基叔丁基醚（MTBE）装置以抽余C4和甲醇为原料，原设计第二生产方案年处理抽余C4 32500

经编染整工艺流程及工艺简介

（一）金光绒、丝光绒

坯布准备→染色→脱水、开幅→预定→拉毛→成品定型→成品打卷、包装

1、染色工艺：进布升温致60℃，加入染料、助剂，升温致130℃，保温30分钟，降温致60℃，进水洗布，然后出布。

2、脱水开幅：染色后的半成品含水量太高，脱水后保持布面含水率均匀，为后道工序做好准备。

3、预定：定型温度在180℃左右，控制车速60米/分，定型后布面平整，为拉毛做好准备。

4、拉毛：车速控制在25米/分，保持起毛均匀，张力一致。

5、成品定型：定型温度控制在200℃左右，车速控制在50米/分，保证布面门幅的稳定性，达到客户要求。

6、包装：按照要求、包装、成品出厂。

优势：提高了生产效率，采用低浴比的染色设备，降低污水排放量。

（二）超柔经编布：

坯布准备→预定型→染色→脱水、开幅→定型→拉毛→烫光→剪毛→打卷

1、预定型：为了保证布面尺寸稳定性，定型温度控制在220℃，车速30米/分，为染色做好准备。

2、染色：进布升温致60℃，加入染料、助剂，升温致130℃，保温30分钟，再降温致60℃，进水洗布，然后出布。

3、脱水、开幅：染色后的半成品含水量太高，脱水后保持布面含水率均匀，为后道工序做好准备。

4、定型：定型温度控制在220℃左右，车

1.（1）乳浊液: 一种液体以细小液珠的形式分散于另一种（或数种）与之互不溶的液体中所形成的乳浊液

（2）乳化：乳化是一种液体以极微小液滴均匀地分散在互不相溶的另一种液体中的作用。 （3）润湿：就是指物体表面上的一种流体被另一种流体取代的过程。 （4）表面张力：表示的是垂直通过液体表面任意单位长度、并与液面相切的收缩表面的力，简称为表面张力。

（5）影响表面张力和比表面能的因素：物质的种类；共存另一相的性质；温度的变化；表面活性剂；

（6）液体在固体表面附着的条件为： 润湿 Wa=γLG（1＋cosq）≥0 θ≤180° 浸湿 A＝γLGcosq≥0 θ≤90° 铺展 S＝ γLG（ cosq－1）≥0 θ＝0°

★★ 90°是润湿与否的界限：小于90°的固体为亲液固体，大于90°的固体为憎液固体 润湿判据：

? （1）能量判据：

? 沾湿：Wa =γLG（1+cosθ）＞0 ? 浸湿：A =γLGcosθ ＞0

? 铺展：S =γLG（cosθ-1）＞0 ? （2）接触角判据

? 沾湿：θ＜180o；浸湿：θ＜90o；铺展： θ

西马克铜杆生产线技术流程、设备工作原理

1. 前 言

目录

一、动力中心区域 1、TRE型压缩机空压机

2、余热再生吸附式压缩空气干燥机 3、单级双吸离心泵 二、竖炉区域 1、保温炉、溜槽 2、ABC风机 3、卷扬机 4、保温炉 三、铸机区域 1、液压站 2、夹送辊 四、轧机区域 1、润滑站 2、摆剪、铣边机 3、轧机

4、清洗冷却线、2#夹送辊、收线装置 5、乳化液系统

6、冷却与除鳞循环系统 7、防护涂蜡的循环系统

一、动力中心区域

1、TRE型压缩机空压机 ：

技术参数：

型号：TRE-900KW 排气量：130 NM3/hr b.主电机：

额定功率：900 kw 额定电压：10 kv 电源频率： 50 Hz 额定电流：63 A 极数： 2 P c.壳体

设计压力：1,1Mpa 设计温度：100℃ 容积：0.14 M3 压力容器类别：I类 耐压试验压力：1.38 MPa 最高允许工作压力：1 MPa 工作介质： 空气 d.压缩空气过滤器：

型号：HF7-71

额定处理量：130 M3/h 额定工作压力：0.5Mpa 残余含油量：1

1.（1）乳浊液: 一种液体以细小液珠的形式分散于另一种（或数种）与之互不溶的液体中所形成的乳浊液

（2）乳化：乳化是一种液体以极微小液滴均匀地分散在互不相溶的另一种液体中的作用。 （3）润湿：就是指物体表面上的一种流体被另一种流体取代的过程。 （4）表面张力：表示的是垂直通过液体表面任意单位长度、并与液面相切的收缩表面的力，简称为表面张力。

（5）影响表面张力和比表面能的因素：物质的种类；共存另一相的性质；温度的变化；表面活性剂；

（6）液体在固体表面附着的条件为： 润湿 Wa=γLG（1＋cosq）≥0 θ≤180° 浸湿 A＝γLGcosq≥0 θ≤90° 铺展 S＝ γLG（ cosq－1）≥0 θ＝0°

★★ 90°是润湿与否的界限：小于90°的固体为亲液固体，大于90°的固体为憎液固体 润湿判据：

? （1）能量判据：

? 沾湿：Wa =γLG（1+cosθ）＞0 ? 浸湿：A =γLGcosθ ＞0

? 铺展：S =γLG（cosθ-1）＞0 ? （2）接触角判据

? 沾湿：θ＜180o；浸湿：θ＜90o；铺展： θ

三、各产品工艺流程及说明

一.烧烤乳猪

注： ＊：垃圾排放点

△：废水废油排放点

2.工艺说明 加工步骤 原料乳猪验收 使用设备 加工工艺的描述与说明 按照原料乳猪验收程序进行，并要求供应商提 供兽药残留达标保证函及检疫证书，适时送原 料外检。 -18℃冷库 解冻清洗间 按要求将验收好的原料乳猪整齐摆放入冷库 自然解冻(产品表面温度不超过 0~5℃) ,流动 水清洗干净，并将体内垃圾物放入垃圾桶中， 废水排入下水道中。 自然晾干，约 20 分钟。 放入沸水中烫漂 5 分钟(保持沸腾) 按验收规程进行验收 按要求将验收好的调味料整齐摆放入库 电子秤 工作台 按照配方称量混合各种调味料 将调味料按比例放入刀口，手擦混匀，常温腌 制约 15-20 分钟。 按验收规程进行验收 按要求将验收好的皮料整齐摆放入库 电子秤 按照配方称量混合各种皮料 去除腌制好的乳猪外皮上的油污，按比例将皮 料涂在猪肉上。 操作台 烤炉 冷却架 用松针在猪皮上插透 265℃左右 60 分钟，产品中心温度 90℃。烧烤 的废油排入废弃桶中。 烤好的乳猪放在常温环境下，风冷 30-40 分钟 迅速将产品降温到 26℃±3℃。并将外表烧黑 的废弃物放入垃圾桶，且在此过程中滴下的