湿法腐蚀工艺特征

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硅湿法腐蚀工艺的研究现状

摘要：随着MＥMS技术的发展,通过光刻胶或硬掩膜窗口进行的湿法腐蚀工艺在MEMＳ器件制造的许多工艺过程中有大量的应用，本文介绍了湿法腐蚀工艺的发展历程,研究现状,以及未来的发展趋势,将湿法腐蚀工艺与干法腐蚀工艺进行对比，得出湿法腐蚀工艺的优缺点。重点阐述了湿法腐蚀工艺的工艺过程,简单介绍了湿法腐蚀工艺在工业领域的一些应用。

关键词：MEMS 光刻胶湿法腐蚀工艺过程

ResearcｈＳtａtｕs ｏｆWeｔEtcｈing Technology on

Silicon

Abｓtrａｃｔ:Witｈｔhe devｅｌoｐｍeｎt of Miｃrｏ-Elｅctrｏ-Mｅcｈaniｃal Sｙsｔｅｍ(MＥMＳ) ｔechnology,Wｅt Etcｈing tecｈｎoloｇｙwith ｐhotｏresist oｒｈarｄmask winｄow hasａｌarｇe ｎuｍber oｆaｐplications iｎtｈe fabriｃatｉon ｏｆMＥMS devices.Thｉs aｒtｉｃｌe dｅscrｉbes ｔｈe devｅlopmｅnt ｐｒoｃeｓｓof wｅｔeｔching ｐrocesｓ,as welｌａs thｅr

锌冶炼工艺介绍-火法工艺\湿法工艺：

《锌冶炼论文全集》征订

我国第一部锌冶炼大型专著

30年总结：技术与经验 设备与装备 国内与国外 历史与未来

《锌冶炼论文全集》是我国第一部全面介绍锌冶炼技术、设备的论文集。本全集收集了《中国有色冶金》近30年来所有锌冶炼方面的论文，包括锌冶炼的全部工艺:

1.火法工艺 ISP法、竖罐炼锌法、电炉炼锌法等;

2.湿法工艺 常规法，高酸浸出法（磺钾/钠/铵铁钒法、低污染磺钾/钠/铵铁钒法、喷淋除铁法），直接浸出法（高压浸出法、常压浸出法）等。

本全集分十大部分：外文译丛、综述、焙烧、制酸、火法炼锌、湿法炼锌（浸出、净液、电解、熔铸、锌基合金）、综合回收与利用、污酸污水处理、低浓度烟气处理、设备与装备等。从中可以全面了解我国锌冶炼近30年来的技术进步、设备和装备更新、大型项目建设、以及大型设备引进及其国产化的历程和全貌；从外文译丛中可以领略到世界先进技术的应用进程，以及国外大型企业30年的发展历程，还可以了解近五年最新技术应用情况和未来技术的发展趋势，是一部集技术与经验、设备与装备、国内与国外、历史与未来、过程与结果于一体的珍贵的技术论文全集，值得珍藏！

电话： 13401045724 联系人：周 伟 Email：zhouw

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2.湿法工艺 常规法，高酸浸出法（磺钾/钠/铵铁钒法、低污染磺钾/钠/铵铁钒法、喷淋除铁法），直接浸出法（高压浸出法、常压浸出法）等。

本全集分十大部分：外文译丛、综述、焙烧、制酸、火法炼锌、湿法炼锌（浸出、净液、电解、熔铸、锌基合金）、综合回收与利用、污酸污水处理、低浓度烟气处理、设备与装备等。从中可以全面了解我国锌冶炼近30年来的技术进步、设备和装备更新、大型项目建设、以及大型设备引进及其国产化的历程和全貌；从外文译丛中可以领略到世界先进技术的应用进程，以及国外大型企业30年的发展历程，还可以了解近五年最新技术应用情况和未来技术的发展趋势，是一部集技术与经验、设备与装备、国内与国外、历史与未来、过程与结果于一体的珍贵的技术论文全集，值得珍藏！

电话： 13401045724 联系人：周 伟 Email：zhouw

湿法冶锌工艺流程

概述：湿法炼锌是当今世界最主要的炼锌方法，其产量占世界总锌产量的85%以上。近期世界新建和扩建的生产能力均采用湿法炼锌工艺。湿法炼锌技术发展很快，主要表现在：硫化锌精矿的直接氧压浸出；硫化锌精矿的常压富氧直接浸出；设备大型化，高效化；浸出渣综合回收及无害化处理；工艺过程自动控制系统等几个方面。湿法炼锌是用稀硫酸(即废电解液)浸出锌焙烧矿得硫酸锌溶液，经净化后用电积的方法将锌从溶液中提取出来。当前，湿法炼锌具有生产规模大、能耗较低、劳动条件较好、易于实现机械化和自动化等优点在工业上占主导地位，锌总产量的80~85%来自湿法炼锌。

锌焙砂的浸出

湿法冶锌的浸出是以稀硫酸溶液作为溶剂，控制适当的酸度、温度和压力条件，将含锌物料（如锌焙砂、锌烟尘、锌氧化矿、锌浸出渣、硫化锌精矿等）中的新华无溶解撑硫酸锌进入溶液，不容固体形成残渣的过程。浸出所得的混合矿浆在经浓缩、过滤将溶液与残渣分离。 锌焙砂浸出的原则工艺流程：

锌焙砂浸出是用稀硫酸溶液去溶解砂浸中的氧化锌。作为溶剂的硫酸溶液实际上是来自锌电解车间的废电解液。

锌焙砂浸出分为中心浸出和酸性浸出的两个阶段，常规浸出流程采用一段中性浸出和一段酸性浸出或两端中性浸出的复浸出流程。锌

湿法冶锌工艺流程

概述：湿法炼锌是当今世界最主要的炼锌方法，其产量占世界总锌产量的85%以上。近期世界新建和扩建的生产能力均采用湿法炼锌工艺。湿法炼锌技术发展很快，主要表现在：硫化锌精矿的直接氧压浸出；硫化锌精矿的常压富氧直接浸出；设备大型化，高效化；浸出渣综合回收及无害化处理；工艺过程自动控制系统等几个方面。湿法炼锌是用稀硫酸(即废电解液)浸出锌焙烧矿得硫酸锌溶液，经净化后用电积的方法将锌从溶液中提取出来。当前，湿法炼锌具有生产规模大、能耗较低、劳动条件较好、易于实现机械化和自动化等优点在工业上占主导地位，锌总产量的80~85%来自湿法炼锌。

锌焙砂的浸出

湿法冶锌的浸出是以稀硫酸溶液作为溶剂，控制适当的酸度、温度和压力条件，将含锌物料（如锌焙砂、锌烟尘、锌氧化矿、锌浸出渣、硫化锌精矿等）中的新华无溶解撑硫酸锌进入溶液，不容固体形成残渣的过程。浸出所得的混合矿浆在经浓缩、过滤将溶液与残渣分离。 锌焙砂浸出的原则工艺流程：

锌焙砂浸出是用稀硫酸溶液去溶解砂浸中的氧化锌。作为溶剂的硫酸溶液实际上是来自锌电解车间的废电解液。

锌焙砂浸出分为中心浸出和酸性浸出的两个阶段，常规浸出流程采用一段中性浸出和一段酸性浸出或两端中性浸出的复浸出流程。锌

湿法冶锌工艺流程

概述：湿法炼锌是当今世界最主要的炼锌方法，其产量占世界总锌产量的85%以上。近期世界新建和扩建的生产能力均采用湿法炼锌工艺。湿法炼锌技术发展很快，主要表现在：硫化锌精矿的直接氧压浸出；硫化锌精矿的常压富氧直接浸出；设备大型化，高效化；浸出渣综合回收及无害化处理；工艺过程自动控制系统等几个方面。湿法炼锌是用稀硫酸(即废电解液)浸出锌焙烧矿得硫酸锌溶液，经净化后用电积的方法将锌从溶液中提取出来。当前，湿法炼锌具有生产规模大、能耗较低、劳动条件较好、易于实现机械化和自动化等优点在工业上占主导地位，锌总产量的80~85%来自湿法炼锌。

锌焙砂的浸出

湿法冶锌的浸出是以稀硫酸溶液作为溶剂，控制适当的酸度、温度和压力条件，将含锌物料（如锌焙砂、锌烟尘、锌氧化矿、锌浸出渣、硫化锌精矿等）中的新华无溶解撑硫酸锌进入溶液，不容固体形成残渣的过程。浸出所得的混合矿浆在经浓缩、过滤将溶液与残渣分离。 锌焙砂浸出的原则工艺流程：

锌焙砂浸出是用稀硫酸溶液去溶解砂浸中的氧化锌。作为溶剂的硫酸溶液实际上是来自锌电解车间的废电解液。

锌焙砂浸出分为中心浸出和酸性浸出的两个阶段，常规浸出流程采用一段中性浸出和一段酸性浸出或两端中性浸出的复浸出流程。锌

湿法冶锌工艺流程

湿法冶锌工艺流程

概述：湿法炼锌是当今世界最主要的炼锌方法，其产量占世界总锌产量的85%以上。近期世界新建和扩建的生产能力均采用湿法炼锌工艺。湿法炼锌技术发展很快，主要表现在：硫化锌精矿的直接氧压浸出；硫化锌精矿的常压富氧直接浸出；设备大型化，高效化；浸出渣综合回收及无害化处理；工艺过程自动控制系统等几个方面。湿法炼锌是用稀硫酸(即废电解液)浸出锌焙烧矿得硫酸锌溶液，经净化后用电积的方法将锌从溶液中提取出来。当前，湿法炼锌具有生产规模大、能耗较低、劳动条件较好、易于实现机械化和自动化等优点在工业上占主导地位，锌总产量的80~85%来自湿法炼锌。

锌焙砂的浸出

湿法冶锌的浸出是以稀硫酸溶液作为溶剂，控制适当的酸度、温度和压力条件，将含锌物料（如锌焙砂、锌烟尘、锌氧化矿、锌浸出渣、硫化锌精矿等）中的新华无溶解撑硫酸锌进入溶液，不容固体形成残渣的过程。浸出所得的混合矿浆在经浓缩、过滤将溶液与残渣分离。

锌焙砂浸出的原则工艺流程：

锌焙砂浸出是用稀硫酸溶液去溶解砂浸中的氧化锌。作为溶剂的硫酸溶液实际上是来自锌电解车间的废电解液。

锌焙砂浸出分为中心浸出和酸性浸出的两个阶段，常规浸出流程采用一段中性浸出和一段酸性浸出或两端中性浸出的复浸出流程。锌焙

云南广播电视大学 云南国防工业职业技术学院

毕业设计说明书

作 者: 学 院: 专 业: 题 目:

伏国精 学 号： 20101119139 化学工程学院

精细化学品生产技术 湿法磷酸的生产工艺及应用

指导者： 张永明 (高级讲师)

评阅者: 张永明 (高级讲师)

2012年12月

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毕业设计说明书 摘要

磷化学工业史以磷矿石位原料，经过物理化学加工制得各种含磷制品的工业。主要包括磷酸、磷肥、含磷农药、元素磷、磷化物、磷酸盐、有机磷化物及医药工业等。本论文依据本人实际情况和学识水平，主要对湿法磷酸生产工艺及应用进行粗略阐述。论文主要对湿法磷酸生产工艺中的过滤工段的反应原理和操作规程进行论述，而对于反应、湿磨和浓缩工段，因本人所在实习岗位原因，则只是简单带过。本论文本着精练、简洁的原则，力求联系实习企业的生产实际。但因本人实习时间过短、所学粗浅、水平有限、时间仓促等原因，论文中有许多疏漏和不妥之处，还望各位指导老师和评阅老师多多包涵并及时指正。 关键词：湿法磷酸；生产工艺；过滤；操作规程

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1.原理：

本工艺采用抗蚀转印油墨，在贴花纸上丝网印制装饰纹，用贴膜法把装饰纹油墨转印到模具上，经干燥修整后，进行化学腐蚀，便在模具上制得凹凸型装饰纹。 工艺流程：

底图制作→照相制版→制丝网版→油墨调配→贴花纸印装饰纹→油墨干燥→模具前处理→贴花转印→干燥→修整→腐蚀→检验→清理、防锈。 2 装饰纹模具的工序 2.1 底图制作

装饰纹底图除电脑或手工绘制外，多数选用塑料样件和人造革上的装饰纹。

塑料样件应选取花纹清晰、均匀、平整的表面，先喷一层黑色自干漆，晾干后，用200目以上的白粉(碳酸钙)涂抹，填平纹路，再轻轻抹去突出面的白粉，使其露出黑色，直至版面花纹清晰，黑白分明，底图便告完成。

如选用人造革装饰纹，可将人造革摊平钉紧在木板上，按上述要求同样加工，最好选用黑色人造革，可省去喷漆。

2.2 照相制版

采用CR或SO软片，1：1对底图进行拍摄。照相底片大小以100mm×200mm左右为宜，便于制丝网版和贴花转印。

2.3 制丝网版

用200～300目黄色涤纶丝绢，0.02mm厚的蓝色感光膜，铝质框架和照相底片，按制造印刷线路丝网版的方法制造。

2.4 油墨调配

集成电路制造中的腐蚀工艺

摘要：在集成电路制造过程中，需要光刻工艺将光刻版上的图形复制到硅片上，而腐蚀工

艺则是通过光刻胶来做保护，最后完成图形复制的任务。腐蚀结果的好坏会直接影响到硅片上的图形，这些图形则最终会在电路制作完成后对电路造成不同程度的影响。对于不同的材料，腐蚀工艺需要根据不同的腐蚀结果选取不同的腐蚀液或腐蚀气体，并通过大量的实验得到最佳的腐蚀结果。文章结合实际工作经验对在常规集成电路制造过程中的的几种材料在腐蚀工序的腐蚀做了简要的说明分析，对易出现的问题进行解决。

关键词：湿法腐蚀；干法腐蚀；等离子腐蚀；铝腐蚀

Etching for Integrated Circuit

MA Hong-jiang

The 47th Research Institute of China Electronics

TechnologyGroup,Shenyang,110032,China

Abstract: We need put the pattern on the wafer through

Photolithography ,but finally pattern will be keep down through Etch in IC ma