光刻工艺实验报告

光刻工艺流程图

步骤 １、前处理 ２、匀胶 ３、前烘 4、光刻 5、显影 6、坚膜 7、腐蚀 8、去胶 一前处理（OAP）

通常在150~200℃对基片进行烘考以去除表面水份，以增强光刻胶与硅片的粘附性。（亲水表面与光刻胶的粘附性差，SI的亲水性最小，其次SIO2，最后PSI玻璃和BSI玻璃） OAP的主要成分为六甲基二硅烷，在提升光刻胶的粘附性工艺中，它起到的作用不是增粘剂，而是改变SiO2的界面结构，变亲水表面为疏水表面。OAP通常采用蒸汽涂布的方式，简单评

价粘附性的好坏，可在前处理过的硅片上滴一滴水，通过测量水与硅片的接触角，角度越大，粘附性越好，说明疏水性越强。 接触角 水 SI

二、匀胶

光刻胶通常采用旋涂方式，在硅片上得到一层厚度均匀的胶层。影响胶厚的最主要因素：光刻胶的粘度及旋转速度。次要因素：排风；回吸；胶泵压力；胶盘；温度。

胶厚的简单算法：光刻胶理论的最小胶厚的平方乘以理论的转速=目标光刻胶的胶厚的平方乘以目标转速 例如：光刻胶理论厚度1微米需要转速3000转/分，那需要光刻胶厚度1.15微米时转速应为 12 *3000/1.152 三、前烘

前烘的目的是为了驱除胶膜中残余的溶剂，消除胶

光刻实验

一．实验目的

了解光刻在集成电路工艺中的作用，熟悉光刻工艺的步骤和操作。

二．实验原理

光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。

在SiO2衬底上涂覆光刻胶

将掩模板覆盖在光刻胶上在紫外光下曝光 （一）光刻原理图

显影后经腐蚀得到光刻窗口 晶片表面必须有如照相底片般的物质存在，属于可感光的胶质化合物（光刻胶），经与光线作用和化学作用方式处理后，即可将掩膜版上的图形一五一十地转移到晶片上。因此在光刻成像工艺上，掩膜版、光刻胶、光刻胶涂布显影设备及对准曝光光学系统等，皆为必备的条件。

三、实验药品及设备

化学药品：光刻胶（正胶）、显影液：5‰ 氢氧化钠溶液、甲醇、蒸馏水、丙酮； 实验仪器：匀胶台、烘胶台、光刻机、真空泵、气泵

四．实验步

集成电路制造工艺 光刻工艺流程 作者：张少军

陕西国防工业职业技术学院 电子信息学院 电子****班 24 号 710300 摘要： 摘要：光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去

的工艺，在此之后，晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。被除去的部分可能形状是薄膜 内的孔或是残留的岛状部分。 关键词：光刻胶；曝光；烘焙；显影；前景

Abstract: photoetching lithography (is) through a series of steps will produce wafer surface film of certain parts of the process, remove after this, wafer surface will stay with the film structure. The part can be eliminated within the aperture shape is thin film or residual island. Keywords: the photoresist, Exposure; Bake; Enhancement; pr

半导体制造工艺实验

姓名：章叶满 班级：电子1001 学号：10214021

一、氧化 E3:25.1:1.

go athena

#TITLE: Oxide Profile Evolution Example

# Substrate mesh definition line y loc=0 spac=0.05 line y loc=0.6 spac=0.2 line y loc=1

line x loc=-1 spac=0.2 line x loc=-0.2 spac=0.05 line x loc=0 spac=0.05 line x loc=1 spac=0.2

init orient=100

# Anisotropic silicon etch

etch silicon left p1.x=-0.218 p1.y=0.3 p2.x=0 p2.y=0

# Pad oxide and nitride mask deposit oxide thick=0.02 div=1 deposit nitride thick=0.1 div=1 etch nitrid

西装缝制工艺实验报告

标签： 杂谈

分类：男西装

西装样板的具备情况

完成时间：2010年6月2号

实验目的：掌握男西装的工艺制作流程，理解工艺中补正的方法 实验要求：：独立完成了解工艺全过程。

实验条件:工业缝纫机，锁眼机，蒸气熨斗，服装剪，手针，镊子，黏合机，小剪刀 画粉 1.材料 布料扣子样板画粉 2.设备 缝纫机锁眼机熨烫台黏合机 实验程序:

开始西装工艺实验的时间是2010年6月1日 1.准备

a排料

术语:排料 横纱 直纱

方法:将面料熨好，按横纱正对正铺平在桌子上。将剪好的西装纸样按纱向排好在面料上，要做到使用面料的最大利用率。

要领:先排大片的纸样在放小的纸样，多排几次找到面料的做大利用率。 完成时间2010年6月2日

b剪裁

术语:裁剪 划粉

方法:将纸样的轮廓在面料上画好，在用剪刀沿画好的轮廓剪下需要的面料。注意有条或有格的面料小心细致 要领:要对条或格。 完成时间2010年6月2日

c粘衬

术语:粘衬 纸衬 布衬

方法:在布衬上剪好需要粘贴的部位，布衬也需要对纱向。然后在压衬的机器上把衬粘好，压衬之前最好剪个１０平方厘米的小样实验面料的缩率大

西装缝制工艺实验报告

标签： 杂谈

分类：男西装

西装样板的具备情况

完成时间：2010年6月2号

实验目的：掌握男西装的工艺制作流程，理解工艺中补正的方法 实验要求：：独立完成了解工艺全过程。

实验条件:工业缝纫机，锁眼机，蒸气熨斗，服装剪，手针，镊子，黏合机，小剪刀 画粉 1.材料 布料扣子样板画粉 2.设备 缝纫机锁眼机熨烫台黏合机 实验程序:

开始西装工艺实验的时间是2010年6月1日 1.准备

a排料

术语:排料 横纱 直纱

方法:将面料熨好，按横纱正对正铺平在桌子上。将剪好的西装纸样按纱向排好在面料上，要做到使用面料的最大利用率。

要领:先排大片的纸样在放小的纸样，多排几次找到面料的做大利用率。 完成时间2010年6月2日

b剪裁

术语:裁剪 划粉

方法:将纸样的轮廓在面料上画好，在用剪刀沿画好的轮廓剪下需要的面料。注意有条或有格的面料小心细致 要领:要对条或格。 完成时间2010年6月2日

c粘衬

术语:粘衬 纸衬 布衬

方法:在布衬上剪好需要粘贴的部位，布衬也需要对纱向。然后在压衬的机器上把衬粘好，压衬之前最好剪个１０平方厘米的小样实验面料的缩率大

女西裤缝制工艺实验报告

学时:自2008年5月２０日至自2008年５月３０日 共48学时 班级：服装设计与工程2班

学生: 李璐

实验目的：

熟练掌握缝纫设备的使用和女西裤的工艺制作技术、流程环节、质量标准等方面的实践性内容，能够达到自行设计、制定、管理服装生产工艺的目标。 实验要求：

1、熟练掌握服装工艺制作技术，对制作过程有完整的分解组合能力。

2、对服装制作的独特工艺技巧和处理手法有明确的认识，做到精益求精。 实验条件:

1.材料

面料：长110cm，宽150cm

辅料：有纺衬、无纺衬、拉链、裤钩、缝纫线

2.设备

烫台、工业平缝机、包缝机、裁剪台

实验程序:

开始西裤工艺实验的时间是2008年5月20日~使用的机器牌号

是： 25

1.准备

a排料

术语:双层布料 经向排列

方法:将面料熨烫平整，表面相对折叠，按照最节省布料的方式排料，用大头针固定，沿纸样外侧用画粉画出外轮廓线。

要领:分清布料的经纬向，纸样沿经向以最节省方式放置，用针固定防止错位。 完成时间~2008年5月20日

b剪裁

术语:双层布料裁剪

方法:将布料固定好，加上缝份，去掉纸样，沿画粉线的外侧剪。

要领:不要让布料滑动，上下面料要保持一致。省道的复制要准确。

完成时间~2008年5月20日

c辅料配备

术语:

湖北理工学院

一. 实践目的及主要内容

（1）了解生产现场机床的类型及其布局；

（2）了解生产现场工人使用的工艺文件（主要工序卡）形式； （3）了解生产现场的夹具类型；

（4）重点了解一个零件的机械加工过程（加工路线、加工阶段划分等）及一副夹具的工作原理；

（5）完成实践报告。

二.实践时间

第八周 第十周 星期五

三.实践单位简介

黄石中兴气动机械有限公司是国内领先的全系列气动马达及延伸产品专业生产厂家。主要经营气动马达、减速气动马达、气动启动器、气动葫芦、潜孔钻机、锚杆钻机、帮锚杆钻机、气动绞车、气动泵、及气控阀等。公司拥有一支高素质、专业、执着的团队，始终活跃在行业前列，多年来致力于气动机械的研究、开发、制造，产品具有结构紧凑、耐磨、低噪声等优异品质；以专业的态度、优异的品质赢得了广大朋友的信赖与支持，也赢得了广阔、稳定的市场，用户遍及国内二十多个省市自治区，并远销韩国、日本、印度、泰国、巴基斯坦、越南、土耳其等国。

为加强

今天去了博物馆，看见了许许多多的古代珍藏品，其中最令我着迷的则是竹刻馆的竹刻工艺品。

我们首先看的是一片片薄薄的竹片，仅薄两毫米，但上面的图案刻的是那么的细致，内容丰富、有趣。有笑眯眯的东方朔，坐在椅子上，扇子扇子；有美丽的嫦娥，舞动着纤细的身子，看了就让人怜爱；还有用竹根做的大瀑布，旁边的假山还被溅了好几朵水花总之，他刻的是那么的细致，那样漂亮，都让人看不出，这是用双手制作的，更让人不敢相信，这仅仅只是用两把小小的铁刀刻成的。

竹刻制作前必须得选好竹子合适的位置，那笑盈盈的东方朔是用竹竿做成的，而那大假山却是用作文大大的竹根做成的。这之中刻画的最漂亮，最细利的当然要数四大情绪弥勒头”了，它上下两面都没有东西，另外四面却有喜、怒、哀、乐的表情，张大嘴巴，舌头伸出来，好像要吃什么东西一样，眼睛眯成了一条缝，呈向上凸出的半弧形；怒就不同了，他的眼睛皱在一团，嘴巴抿着紧紧的；哀的表情则是一个向里凹的半弧形的眼睛，还流了几滴眼泪，嘴巴微微张开，似乎在向你倾诉什么；但乐的话嘛，看起来有一些傻，大嘴是一个半圆形，就好像会不停的笑过去。

如此细腻的东西，是怎样雕刻出来的？哦！那是靠着我国劳动人民那双勤劳的手，那是他们用双手创造出的智慧的结晶！

实验四 传输层协议分析

一、实验目的

1、学习3CDaemon FTP服务器的配置和使用，分析TCP报文格式，理解TCP的连接建立、 和连接释放的过程。

2、学习3CDaemon TFTP服务器的配置和使用，分析UDP报文格式，理解TCP协议与UDP协议的区别。

二、实验工具软件3CDaemon软件简介

3CDaemon是3Com公司推出的功能强大的集FTP Server、TFTP Server、Syslog Server 和TFTP Client于一体的集成工具，界面简单，使用方便。

这里主要介绍实验中需要用到的FTP Server功能和TFTP Server功能。 1、FTP Server功能

（1）配置FTP Server功能：选中左窗格功能窗口，打开FTP Server按钮，单击窗格中的 Configure FTP Server按钮，打开3CDaemon Configuration配置窗口，配置FTP Server功能。

这里需要设置的就是“Upload/Download”路径，作为FTP Server的文件夹，其它选项可以使用系统缺省设置。设置完成后，单击确认按钮，设置生效。

（2）在实验中，我们使用3CDaemon系统内置的