vdmos工艺仿真
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VDMOS工艺
VDMOS工艺流程
VDMOSFET 的结构– 基本结构 n+ 衬底,漏极 D n- 外延层,漂移区 p 阱(又叫 p 基区 或体区) n+ 源区,源极 S 多晶硅栅,栅氧层, 栅极 G
– 整个器件的构成 前述结构实际只是器件的一个元胞,整个器件实际是 由很多这样的元胞并联而成的 剖面图
立体图
VDMOS与MOSFET的比较: 小信号 MOSFET(横向器件) 对应的 VDMOSFET(纵向器件)
CHANNEL
小信号 MOSFET5
VDMOS工艺流程1、原始硅片磨抛:原始硅片磨去40µm,抛 光80µmN+ <100> 535µm
2、清洗 ,并且用显微镜检查表面 3、外延生长N-: =20~30Ω· cm, d=45µ mNN+6
4、清洗 5、氧化: dox=6500±250Å 800℃-1000℃- 800℃ 6、一次版N-
N+
7、腐蚀,去胶,清洗 腐蚀:温度25℃
8、P+扩散 预扩:R□=80~100Ω/□ 700℃-940℃-700℃ 主扩:R□=150~180Ω/□ 800 ℃ -1150 ℃ -800 ℃
Silvaco工艺及器件仿真2
4.1.7栅氧厚度的最优化
下面介绍如何使用DECKBUILD中的最优化函数来对栅极氧化厚度进行最优化。假定所测量的栅氧厚度为100Å,栅极氧化过程中的扩散温度和偏压均需要进行调整。为了对参数进行最优化,DECKBUILD最优化函数应按如下方法使用:
a. 依次点击Main control和Optimizer…选项;调用出如图4.15所示的最优化工具。第一个最优化视窗显示了Setup模式下控制参数的表格。我们只改变最大误差参数以便能精确地调整栅极氧化厚度为100Å;
b. 将Maximum Error在criteria一栏中的值从5改为1;
c.
接下来,我们通过Mode键将Setup模式改为Parameter模式,并定义需要优化参数(图4.16)。
图4.15 DECKBUILD最优化的Setup模式
图4.16 Parameter模式
需要优化的参数是栅极氧化过程中的温度和偏压。为了在最优化工具中对其进行最优化,如图4.17所示,在DECKBUILD窗口中选中栅极氧化这一步骤;
图4.17 选择栅极氧化步骤
d. 然后,在Optimizer中,依次点击Edit和Add菜单项。一个名为Deckbuild:Parameter Defin
乙醛氧化制醋酸工艺仿真软件
乙醛氧化制醋酸工艺仿真软件 ——氧化工段
目录
第一章 概述 ..........................................................................................................1 第二章 生产方法及工艺路线..............................................................................2 2.1 生产方法及反应机理 ....................................................................................2 2.2 工艺流程简述 ................................................................................................3 2.2.1 装置流程简述 .........................................................
乙醛氧化制醋酸工艺仿真软件
乙醛氧化制醋酸工艺仿真软件 ——氧化工段
目录
第一章 概述 ..........................................................................................................1 第二章 生产方法及工艺路线..............................................................................2 2.1 生产方法及反应机理 ....................................................................................2 2.2 工艺流程简述 ................................................................................................3 2.2.1 装置流程简述 .........................................................
合成氨工艺合成工段仿真软件
合成 第一章 工艺原理
氨的合成是氨厂最后一道工序,任务是在适当的温度、压力和有催化剂存在的条件下,将经过精制的氢氮混和气直接合成为氨。然后将所生成的气体氨从未合成为氨的混和气体中冷凝分离出来,得到产品液氨,分离氨后的氢氮气体循环使用。
一、 氨合成反应的特点
31H2?N2?NH3?Q 22氨合成的化学反应式如下:
这一化学反应具有如下几个特点:
(1) 是可逆反应。即在氢气和氮气反应生成氨的同时,氨也分解成氢气和氮气。 (2) 是放热反应。在生成氨的同时放出热量,反应热与温度、压力有关。 (3) 是体积缩小的反应。
(4) 反应需要有催化剂才能较快的进行。
二、 氨合成反应的化学平衡
1、 平衡常数 氨合成反应的平衡常数Kp可表示为: Kp=
p(NH3)
P1.5(H2)?p0.5(N2)式中p(NH3)、p(H2)、p(N2)-----为平衡状态下氨、氢、氮的分压。
由于按合成反应是可逆、放热、体积缩小的反应,根据平衡移动定律可知,降低温度,提高压力,平衡向生成氨的方向移动,因此平衡常数增大。
2、平衡氨含量 反应达到平衡时按在混和气体中的百分含量,称为平衡氨含量,或称为氨的平衡产率。平衡氨含量是给
丙烯酸甲酯工艺仿真软件
丙烯酸甲酯工艺仿真软件
用 户 手 册
北京东方仿真软件技术有限公司
2009年1月
甲酯生产仿真用户手册
目录
第一章 生产原理及工艺特点……………………………………2 第二章 生产流程说明……………………………………………5 第三章 设备一览表………………………………………………8 第四章 主要操作条件及工艺指标………………………………11 第五章 操作规程…………………………………………………14 第六章 紧急事故处理……………………………………………21 第七章 操作界面…………………………………………………22
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甲酯生产仿真用户手册
第一章 生产原理及工艺特点
在该单元中丙烯酸与甲醇反应,生成丙烯酸甲酯,磺酸型离子交换树脂被用作催化剂。
1.1 酯化反应原理
丙烯酸与醇的酯化反应是一种生产有机酯的反应。其反应方程式如下: CH2=CHCOOH+CH3OH <==>CH2=CHCOOCH3+H2O
这是一个
SMT中再流焊工艺建模与仿真
SMT中再流焊工艺建模与仿真
Wedn eh o g Vo.3 N . D c 2 0 ligT c n l y o 1 o 3 6 e. 04文章编号:0 2 0 5 (0 4 0— 0 7 0 1 0 - 2 X2 0 )6 0 1— 4
试验与研究 1 7
S MT中再流焊工艺建模与仿真毛信龙,韩国明,黄丙元,樊强(天津大学材料科工程学院,天津 3 0 7 ) 0 02
摘要:主要介绍了国内外再流焊工艺建模与仿真研究现状。目前主要是焊点建模与仿真、元器件建模与仿真以及再流焊工艺建模与仿真方面。本文还重点介绍了再流焊工艺建模与仿真的几种方法,并对再流焊工艺建模与仿真存在的问题以及发展前景做了分析。 关键词:S T M;再流焊;建模与仿真;P B C中图分类号:T 3 5 4 P 9 . N 0 .;T 3 1 9 9文献标识码:A
再流焊过程中的温度变化以及确定其对生产质量的影响;对l前言
再流焊温度曲线的设定使设计者根据 P B板热分布重新排布元 C件,从而使产品设计达到最优化是有用的。同时,也可使回流炉以及更具热效率的设备的设计得到优化。
S T近2年获得了飞速的发展和应用,并正在向着更高 M在 0密度、超微型化方向发展。由于S元器
镁合金薄板线切割工艺建模、实验与仿真
机械工程学院毕业设计(论文)
题 目:镁合金薄板线切割工艺建模、实验与仿真专 业:班 级:姓 名:学 号:指导教师:日 期:
qq503070342 本科毕业设计
目录
1.电火花线切割加工的概况及研究的意义和目的 .................................. 2
1.1. 电火花线切割加工的产生 ............................................. 2 1.2 国内线切割机的发展 ................................................. 2 1.3 国外线切割机的发展 ...................
齿轮箱工艺设计及加工过程仿真(数控编程)
齿轮箱工艺设计及加工过程仿真(数控编程)
摘要
犁刀变速齿轮箱体是旋耕机的一个主要零件。旋耕机通过该零件的安装平面与手扶拖拉机变速箱的后部相连,用两圆柱销定位,四个螺栓固定,实现旋耕机的正确联接。犁刀变速齿轮箱体的质量直接影响到机器的性能。本次设计先进行了犁刀变速齿轮箱体的零件分析,通过对参考文献进行的分析与研究,阐述了工艺规程和制造技术等相关内容;在技术路线中,论述箱体的加工工艺,机械加工余量,加工顺序的安排和基本工时计算。
关键词 :工艺规程;犁刀变速齿轮箱体;定位基准;加工余量
Abstract
The coulter gear casing of changing speed is a major element of the machine of rotary tillage. The machine of rotary tillage is linked through the rear of the gearbox of walking tractor and the installation plane of this element, using two cylinders to sell location and 4
bolts to
丙烯酸甲酯工艺仿真软件操作手册
嘉兴学院丙烯酸甲酯工艺仿真操作手册
北京东方仿真软件技术有限公司
2013年5月
目录
第一章生产原理及工艺特点 (1)
第二章生产流程说明 (4)
第三章设备一览表 (6)
第四章主要操作条件及工艺指标 (7)
第五章操作规程 (9)
第六章操作界面 (12)
第一章生产原理及工艺特点
在该单元中丙烯酸与甲醇反应,生成丙烯酸甲酯,磺酸型离子交换树脂被用作催化剂。
1.1 酯化反应原理
丙烯酸与醇的酯化反应是一种生产有机酯的反应。其反应方程式如下:
CH2=CHCOOH+CH3OH <==>CH2=CHCOOCH3+H2O
这是一个平衡反应,为使反应有向有利于产品生成的方向进行,采用一些方法,一种方法是用比反应量过量的酸或醇,另一种方法是从反应系统中移除产物。
1.2 丙烯酸与甲醇的酯化反应
(1)酯化反应器的主反应
酯化反应器的主反应的化学方程式如下:
H+(IER)*
CH2=CHCOOH+CH3OH <==> CH2=CHCOOCH3+H2O
AA MEOH MA
*IER指离子交换树脂
(2)酯化反应器的副反应
CH2=CHCOOH十2CH3OH———> (CH3O)CH2CH2COOCH3+H2O
MPM:(3-甲氧基丙酸甲酯)
H+(IER)