光刻工艺虚拟仿真实验报告

光刻工艺流程图

步骤 １、前处理 ２、匀胶 ３、前烘 4、光刻 5、显影 6、坚膜 7、腐蚀 8、去胶 一前处理（OAP）

通常在150~200℃对基片进行烘考以去除表面水份，以增强光刻胶与硅片的粘附性。（亲水表面与光刻胶的粘附性差，SI的亲水性最小，其次SIO2，最后PSI玻璃和BSI玻璃） OAP的主要成分为六甲基二硅烷，在提升光刻胶的粘附性工艺中，它起到的作用不是增粘剂，而是改变SiO2的界面结构，变亲水表面为疏水表面。OAP通常采用蒸汽涂布的方式，简单评

价粘附性的好坏，可在前处理过的硅片上滴一滴水，通过测量水与硅片的接触角，角度越大，粘附性越好，说明疏水性越强。 接触角 水 SI

二、匀胶

光刻胶通常采用旋涂方式，在硅片上得到一层厚度均匀的胶层。影响胶厚的最主要因素：光刻胶的粘度及旋转速度。次要因素：排风；回吸；胶泵压力；胶盘；温度。

胶厚的简单算法：光刻胶理论的最小胶厚的平方乘以理论的转速=目标光刻胶的胶厚的平方乘以目标转速 例如：光刻胶理论厚度1微米需要转速3000转/分，那需要光刻胶厚度1.15微米时转速应为 12 *3000/1.152 三、前烘

前烘的目的是为了驱除胶膜中残余的溶剂，消除胶

《港口系统仿真》

课程实验报告

实 验 报 告 题 目： 系统仿真实验 学 院 名 称： 专 业： 班 级： 姓 名： 学 号： 日 期：

系统仿真实验报告

一、实验目的

本次实验主要是为了加深同学们对课本知识的理解和提高大家的实践操作能力，使同学们能够熟练地使用ECXEL和仿真软件进行系统仿真操作，为以后深入学习系统仿真相关方面的知识打下一定的基础。

二、实验过程

本次实验主要分为以下几部分：（1）产生随机数组（2）在随机数组的基础上来模拟船舶到港数据，如船舶到港时间间隔，装卸服务时间等（3）装卸排队服务仿真

MATLAB仿真实验报告

院 系：电子工程学院 姓 名：王 力 班 级：2013211207 学 号：2013211006

实验一：数字信号的FFT分析

实验内容及要求

(1) 离散信号的频谱分析：

?设信号 x(n)?0.001*cos(0.45n?)?sin(0.3n?)?cos(0.302n??)4

此信号的0.3pi 和 0.302pi两根谱线相距很近，谱线 0.45pi 的幅度很小，请选择合适的序列长度 N 和窗函数，用 DFT 分析其频谱，要求得到清楚的三根谱线。 (2) DTMF 信号频谱分析P218 -225 4.9.3 双音）用计算机声卡采用一段通信系统中电话双音多频（DTMF）拨号数字 0～9的数据，采用快速傅立叶变换（FFT）分析这10个号码DTMF拨号时的频谱。

实验分析

要得到清晰的三根谱线，用matlab内置函数fft对时域信号进行快速傅里叶变换，需要选好变换点数N，以避免出现频谱模糊现象。程序中选择N=1000

由于谱线0.45pi的幅度很小，在作图时需要对坐标比例进行控制。使用axis函数实现。

1. 代码及注释

频谱分析：

N = 1000; % Length of DFT

光刻实验

一．实验目的

了解光刻在集成电路工艺中的作用，熟悉光刻工艺的步骤和操作。

二．实验原理

光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。

在SiO2衬底上涂覆光刻胶

将掩模板覆盖在光刻胶上在紫外光下曝光 （一）光刻原理图

显影后经腐蚀得到光刻窗口 晶片表面必须有如照相底片般的物质存在，属于可感光的胶质化合物（光刻胶），经与光线作用和化学作用方式处理后，即可将掩膜版上的图形一五一十地转移到晶片上。因此在光刻成像工艺上，掩膜版、光刻胶、光刻胶涂布显影设备及对准曝光光学系统等，皆为必备的条件。

三、实验药品及设备

化学药品：光刻胶（正胶）、显影液：5‰ 氢氧化钠溶液、甲醇、蒸馏水、丙酮； 实验仪器：匀胶台、烘胶台、光刻机、真空泵、气泵

四．实验步

安徽工业大学管理科学与工程学院

《FlexSim系统仿真实验》报告

专业 物流工程 班级 流134班

姓名 伍颖 学号 139094248

指导老师 张洪亮

实验（或实训）时间 16年 6月30日

实验（或实训）报告提交时间 16年7月4日

一、实验（或实训）目的、任务

1、掌握仿真软件Flexsim操作及应用。 2、结合实际情况设计模型解决问题。

3、能够根据实际要求建立仿真模型，通过对仿真模型的运行找到实际系统的瓶颈，并通过修改模型对实际系统进行分析，最终对系统提出优化方案

二、实验（或实训）基本内容（要点）

某企业生产四种类型的产品，四种产品的到达时间分别为：normal(6,2)、固定值7、指数分布exponential(6,1)、exponential(7,3)。

四种产品经过环形分拣线，按颜色顺序进入相应的传送带然后进入相应的货架。 假定发生器产生四种临时实体，类型值分别为1、2、3、

SPICE仿真软件的仿真设计实验报告 二极管、稳压管的仿真模型与正反向特性测试

负反馈放大电路参数的仿真分析

姓名：张梦瑶

学号：11122295

学院：机自院自动化系

二极管、稳压管的仿真模型与正反向特性测试

实验内容：

1. 设计二极管、稳压管的仿真模型。

2. 用仿真软件分析二极管、稳压管的正反向特性。

实验分析：

二极管伏安特性是指二极管两端电压与其电流之间的关系，主要特点是单向导电性及非线性，并且易受温度影响。

二极管的伏安特性测试电路可以设计成如下图所示。

用交变电源获得可变的电压，将二极管与电阻串联，将示波器的A通道接在

二极管两端，测量出的是二极管两端的电压VA VD1，将示波器的B通道接在电阻的两端，测出的是电阻两端的电压VB VR1，由于VR1 IR1 ID1,所以VB与ID1R1

成正比，所以切换到示波器的B/A模式就可以观察到二级管的V-I特性曲线了。 同理，稳压管的设计图如下。

仿真结果：

（二极管）

仿真后得到的二极管的V-I特性曲线如图：

（由于整体的图像太大，不是很直观，因此把V-I的正向和反向特性曲线的放大图也放上来）

（稳压管） 仿真后得到的稳压管的V-I特性曲线如图

对稳压管的反向击穿特性放大如图

实验体会及注意事项

二极管的仿真实验设计几经反复，

综合实验报告— LTE

学号： 姓名： 日期：

2016/2017学年第一学期

实验1 LTE无线接入网设备配置

实验目的：

1. 掌握LTE无线接入网的网元名称及其作用。 2. 掌握实验中各网元的线缆名称及其作用。 实验内容：

1. 完成一个LTE无线接入网站点机房的设备配置。 实验要求：

1. 完成大型城市万绿市A站点机房的设备配置。 实验步骤： 设备配置步骤如下：

1. 单击仿真平台中的“设备配置”按钮，然后选择仿真场景中的某站点机房。 2. 添加设备：包括BBU、RRU、ANT、PTN、ODF、GPS。

3. 连接RRU和ANT。ANT1连接到RRU1，使用“天线跳线”，将ANT1左边1脚和

RRU的1脚，同理将对应的4脚连接起来。因为默认使用的是2×2的天线模式。注意相互对应，不能连串。

4. 连接RRU和BBU。使用“成对LC-LC光纤”，把TX0-RX0~TX2-RX2与RRU1~RRU3

对应连接起来。 5. 连接BBU和GPS。使用“GPS馈线”，一端将馈线与GPS连接，另一端连接到BBU的IN

口。

6. 连接BBU与PTN。使用“成对LC-LC光纤”，点击设备指示图里的BBU，将光纤接到BBU

的TXRX端口上，另一端

西安邮电学院

《Matlab》 实验报告

（四）

2011- 2012 学年第 1 学期

专业： 班级： 学号： 姓名：

自动化 自动0903

2011 年 11 月 10 日

第四次SIMULINK仿真实验

一、实验目的

1.熟悉Simulink的操作环境并掌握绘制系统模型的方法。 2.掌握Simulink中子系统模块的建立与封装技术。

3.对简单系统所给出的数学模型能转化为系统仿真模型并进行仿真分析。

二、实验设备及条件

计算机一台（带有MATLAB6.5以上的软件环境）。

三、实验内容

1.建立下图5-1所示的Simulink仿真模型并进行仿真，改变Gain模块的增益，观察Scope显示波形的变化。

图5-1 正弦波产生及观测模型

2．利用simulink仿真来实现摄氏温度到华氏温度的转化：Tf?范围在-10℃～100℃），参考模型为图5-2。

95Tc?32（Tc

图5-2 摄氏温度到华氏温度的转化的参考模型

3．利用Simulink仿真下列曲线，取??2?。

x(?t)?sin?t?13sin3?t?15sin5?t?17sin7?t?19sin9?t。

仿真参考模型如下图5-3，Sine

实验一 高频小信号放大器的MULTISIM仿真

实验目的：

1、了解MULTISIM的基本功能、窗口界面、元器件库及工具栏等； 2、掌握MULTISIM的基本仿真分析方法、常用仿真测试仪表等； 3、掌握高频小信号放大器MULTISIM仿真的建模过程。

实验内容及步骤：

（一）单频正弦波小信号放大器的MULTISIM仿真。

1）根据图一所示高频小信号放大器电路，创建仿真电路原理图。要求输入信号的幅度在2mV---1V之间、频率在1MHz---20MHz之间；

2）根据实际情况设置好电路图选项，接入虚拟仪器并设置合适的参数。打开仿真开关，运行所设计好的电路，给出输入输出信号的波形图和频谱图。根据初步仿真结果改变电路元器件的型号和参数，使输出信号波形无失真、幅度放大10倍以上； 1、实验原理图

C3VCCR4100Ω12VT1R1100kΩKey=AC230pFTS_AUDIO_10_TO_1XSC1R540kΩABGT100nFC4100uF50?V1Q12N17111nF2mVpk 10MHz 0° R25.1kΩR3470ΩC1100nFXSA1INT

2、由示波器观测到的输出波形：

3、此时的输出信号的频谱分析

通过改变输入信号的频率

土木工程与力学学院交通运输工程系

实 验 报 告

课程名称： 交通仿真实验 实验名称： 基于VISSIM的城市交通仿真实验 专 业： 交通工程 班 级： 1002班 学 号： U201014990 姓 名： 李波 指导教师： 刘有军 实验时间： 2013.09 ---- 2013.10

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实验报告目录

实验报告一：

无控交叉口冲突区设置与运行效益仿真分析 实验报告二：

控制方式对十字交叉口运行效益影响的仿真分析 实验报告三：

信号交叉口全方式交通建模与仿真分析 实验报告四：

信号协调控制对城市干道交通运行效益的比较分析 实验报告五：

公交站点设置对交叉口运行效益的影响的仿真分析 实验报告六：

城市互通式立交交通建模与仿真分析 实验报告七：

基于VISSIM的城市环形交叉口信号控制研究

实验报告成绩

实验一 实