化学机械抛光工艺工程师

化学机械抛光工艺（CMP）

摘要：本文首先定义并介绍CMP工艺的基本工作原理，然后，通过介绍CMP系统，从工艺设备角度定性分析了解CMP的工作过程，通过介绍分析CMP工艺参数，对CMP作定量了解。在文献精度中，介绍了一个SiO2的CMP平均磨除速率模型，其中考虑了磨粒尺寸，浓度，分布，研磨液流速，抛光势地形，材料性能。经过实验，得到的实验结果与模型比较吻合。MRR模型可用于CMP模拟，CMP过程参数最佳化以及下一代CMP设备的研发。最后，通过对VLSI制造技术的课程回顾，归纳了课程收获，总结了课程感悟。

关键词： CMP、研磨液、平均磨除速率、设备

Abstract：This article first defined and introduces the basic working principle of the CMP process, and then, by introducing the CMP system, from the perspective of process equipment qualitative analysis to understand the working process of the CMP, a

化学机械抛光液（CMP）氧化铝抛光液具体添加剂

摘要：本文首先定义并介绍CMP工艺的基本工作原理，然后，通过介绍CMP系统，从工艺设备角度定性分析了解CMP的工作过程，通过介绍分析CMP工艺参数，对CMP作定量了解。在文献精度中，介绍了一个SiO2的CMP平均磨除速率模型，其中考虑了磨粒尺寸，浓度，分布，研磨液流速，抛光势地形，材料性能。经过实验，得到的实验结果与模型比较吻合。MRR模型可用于CMP模拟，CMP过程参数最佳化以及下一代CMP设备的研发。最后，通过对VLSI制造技术的课程回顾，归纳了课程收获，总结了课程感悟。

关键词： CMP、研磨液、平均磨除速率、设备

Abstract：This article first defined and introduces the basic working principle of the CMP process, and then, by introducing the CMP system, from the perspective of process equipment qualitative analysis to understand the working process of

化学机械抛光 保持环压力 有限元分析

2007年8月第25卷第4期西北工业大学学报

JournalofNorthwesternPolytechnicalUniversityAug.2007Vol.25No.4

晶圆化学机械抛光中保持环压力的有限元分析

黄杏利1,傅增祥2,杨红艳2,马彬睿2

(1.西北工业大学材料科学与工程学院;2.西北工业大学生命科学院,陕西西安　710072)

α

摘　要:在集成电路(IC)行业中,化学机械抛光(CMP)是获得全局平坦化的技术增加,在CMP加工过程中,晶圆边缘容易出现“过磨(2)”用率。的“过磨”现象。由此说明,,晶圆和CMP工艺成本高,依靠实验探索CMP,所以保持环压力不宜通过实验方法确定,。,得出了保持。针对不同CMP,从而提高晶圆抛光质量及利用率,降低晶圆制造成本。关　键　词:化学机械抛光(CMP),晶圆,保持环,有限元方法(FEM)

中图分类号:TN302;TN305.99　　文献标识码:A　　　文章编号:100022758(2007)0420508204　　化学机械抛光(chemicalmechanicalpolish,CMP)技术是制备晶圆的关键步骤,它能满足晶圆所必须的严格的工艺控制、高质量的表面外形及平面度

化学机械抛光 保持环压力 有限元分析

2007年8月第25卷第4期西北工业大学学报

JournalofNorthwesternPolytechnicalUniversityAug.2007Vol.25No.4

晶圆化学机械抛光中保持环压力的有限元分析

黄杏利1,傅增祥2,杨红艳2,马彬睿2

(1.西北工业大学材料科学与工程学院;2.西北工业大学生命科学院,陕西西安　710072)

α

摘　要:在集成电路(IC)行业中,化学机械抛光(CMP)是获得全局平坦化的技术增加,在CMP加工过程中,晶圆边缘容易出现“过磨(2)”用率。的“过磨”现象。由此说明,,晶圆和CMP工艺成本高,依靠实验探索CMP,所以保持环压力不宜通过实验方法确定,。,得出了保持。针对不同CMP,从而提高晶圆抛光质量及利用率,降低晶圆制造成本。关　键　词:化学机械抛光(CMP),晶圆,保持环,有限元方法(FEM)

中图分类号:TN302;TN305.99　　文献标识码:A　　　文章编号:100022758(2007)0420508204　　化学机械抛光(chemicalmechanicalpolish,CMP)技术是制备晶圆的关键步骤,它能满足晶圆所必须的严格的工艺控制、高质量的表面外形及平面度

姓名： 技术中心面试问卷

工艺工程师试题

一、单项选择题（共10题，每小题3分，共计30分）

1．尺寸Ф50h7的（ ） A）上偏差、下偏差均大于0 B）上偏差为0，下偏差为负值 C）上偏差、下偏差均小于0 D）上偏差为正值，下偏差为0

2．表面粗糙度Ra的数值是（ ） A）以mm为单位 B）以μm为单位

C）以nm为单位 D）百分比数值

3．某机床主轴材料为38CrMoAlA，需渗氮处理。在进行该主轴工艺路线设计时，渗氮处理应安排在（ ） A）粗加工前 B）粗加工与半精车之间 C）粗磨与精磨之间 D）半精车与粗磨之间

4．轴线垂直相交的两圆柱体，下图所示相贯线画法中正确的是（ ）

5． 加工一个材料为AL6061合金的机械零件需要使用一根直径∮80.0mm,长度115mm的棒料, 按市价

￥28.0元/千克计算该工件的材料费用,以下正确的是（ ）

篇一：机械工程师简历

XXX

性别：男 年龄：28 籍贯：江苏政治面貌：中共党员

联系电话：156xxxxxxxx 邮箱：xxxxxxxxx@126.com

毕业院校：上海交通大学 车辆工程专业

求职目标：机械工程师 教育背景

2004.9～2008.6 上海交通大学车辆工程 本科

工作经历

2011.4～至今三一重工 （性质：民营 规模：3万人以上）

泵送研究院拖泵总体所 机械工程师

? 主要负责车载式混凝土泵的研发设计工作，主要负责车载泵底盘的选型及应用、负责主

覆盖件及副车架等结构件的设计及维护工作。

负责解除了集团重大品质问题之一：车载泵底盘重品。通过对车载泵底盘售后反馈的故

障，逐一深入分析及对策，将保内故障率由4.78%降低到1.87%。

担任国四车载泵及双动力大排量车载泵项目经理，顺利完成新品开发及市场推广。

担任经济型车载泵项目经理，开发了一款具有绝对市场竞争力的产品。 ? ? ?

2008.7～2011.3 中国北车 长春轨道客车股份有限公司 （性质：国企 规模：1万人以上）

转向架开发部 机械工程师

? 从事动车组、铁道客车、城市轨道客车转向架研发设计工作，主要负责轮对轴箱及一系

悬挂部位的设计及维护工作。

担任CRH3动车组转向架三级修设计经

最佳答案有这个
见习机械工程师
大家快报“见习机械工程师”，这是国家第一次举办的考试，含金量很高，今年湖北省考试通过率大概61%（其中有的人没有培训），参加培训的话通过率更大。全部费用才950。还包教你一个三维软件据推测可能是proe（我们学校机械系也就有这个），凡是通过的都已经被用人单位抢购一空，下一次考试是在9月份，刚好赶上年底招聘。大家争取成为我院第一批通过认证者，成为职场上的黑马。考试科目：1、计算机辅助设计及制造2、机电企业导论3、现代设计方法见习机械设计工程师资格考试大纲《现代机械设计方法》一、总体要求考试的总体要求是，考生应了解创新设计、有限元分析、优化、可靠性等方法的原理、功能、特点与工程应用。掌握四种设计方法中涉及到的主要概念、主要模型、基本方法。要求考生具有完整地运用这些方法解决简单工程实际问题的能力。二、考试内容和要求第Ⅰ部分 创新设计了解创新设计的基本概念、基本思想、代表性方法及应用。掌握创造、创新、发明以及创新设计等基本概念与相关的基本方法。第Ⅱ部分 有限元方法与软件应用概述了解有限元法的基本思想、特点与应用领域。第二章 弹性力学基本理论掌握弹性力学的基本假设、基本概念和基本方程，熟练掌握平面问题的基本理论，理解弹性力学

河 南 工 业 职 业 技 术 学 院 毕 业 论 文

河 南 工 业 职 业 技 术 学 院

毕业设计（论文）

题 目 高 速 抛 光 工 艺

班 级 光 电 1101 班

专 业 光 电 制 造 技 术

姓 名 罗 永 强

指导教师 王 毅

日 期 2013年 9 月 30 日

目录

1

河 南 工 业 职 业 技 术 学 院 毕 业 论 文

摘要 .................................................................................................................................................. 4

第一章 抛光过程的各种加工工艺...............................

工艺工程师岗位职责

在部长、副部长的领导下，做好公司相关工艺技术的具体工作，为保证生产的正常、合理、高效运提供理论依据，具体如下：

一、协助制订、完善公司相关工艺技术规程、操作方针、生产工艺参数，并监督执

行。

二、结合生产中发生的问题，协助主管领导组织相关技术人员合理修订工艺参数。

三、动态掌握原燃辅料的使用情况和进厂原燃料的变化情况，为生产单位适时调整

工艺配比，确保生产稳定和产品合格提供指导。

四、加强对烧结矿质量的监控，分析烧结矿成分的变化对高炉冶炼和产品质量的影

响。

五、及时对生产情况进行分析和总结，查找问题和积累经验，指导生产，以利提高

生产效率，降低生产成本。

六、深入工作现场，与岗位操作人员进行沟通和探讨，了解实际生产情况，掌握第

一手资料，做到理论与实际相结合；

七、当生产出现问题时，应及时到现场协同一线技术人员共同解决，及早恢复生产，

减少生产损失。

八、参与公司工艺技术事故的组织分析，查找原因和提出整改措施。

九、参与公司组织召开的工艺技术专业会议、制订完善操作方针，并做好技术指导。

十、根据产品质量标准，协助主管领导修订原燃辅料质量标准。

十一、定期检查各工序工艺参数的执行情况，进行督促纠正并及时报告主管领导。

十二、参与公司工艺技术改进与新技术的开发与

机械设计复习题

(1)圆柱普通螺纹主要几何参数有哪些？试简述之。

1.大径d——螺纹的最大直径，在标准中定为公称直径。

2.小径——螺纹的最小直径，在强度计算中常作为螺杆危险截面的计算直径。

3.中径——通过螺纹轴向截面内牙型上的沟槽和凸起宽度相等的假想圆柱面的直径。对于矩形螺纹

4.螺距P——螺纹相邻两个牙型上对应点间的轴向距离。

5.导程S——螺纹上任一点沿同一条螺旋线转一周所移动的轴向距离，S＝nP，n

为螺纹的螺旋线数目。

6.升角——在中径圆柱上螺旋线的切线与垂直于螺纹轴线的平面的夹角，其计

算式为。

7.牙型角——螺纹轴向截面内，螺纹牙型两侧边的夹角。

(2)受拉紧螺栓联接中，螺栓的强度计算公式中的系数“1.3”是考虑什么因素而引入的？

考虑拧紧时由于螺纹摩擦力矩引起的扭转切应力的影响。

(3)联接螺纹是具有自锁性的螺纹，为什么还需防松？防松的根本问题是什么？按防松原理不同，防松的方法可分为几类？

在冲击、振动或变载荷下，或当温度变化大时，满足<（升角小于当量摩擦角）的螺纹联接可能松动，甚至松脱而需防松。

防松的根本问题在于防止螺纹副相对转动。

按防松原理不同可分为利用摩擦（如双螺母、弹簧垫圈）、直接锁住（如槽形螺母和开口销）和破坏螺纹副关系（如焊、胶粘）三类。

(4)在带传动中，影响能传递的最大有效圆周力的因素有哪些？（要