CVD技术

化学气相淀积(Chemical Vapor Deposition) 是通过气态物质的化学反应在衬底上淀积一层薄膜材料的过程 CVD技术特点：

具有淀积温度低、薄膜成分和厚度易于控制、均匀性和重复性好、台阶覆盖优良、适用范围广、设备简单等一系列优点

CVD方法几乎可以淀积集成电路工艺中所需要的各种薄膜，例如掺杂或不掺杂的SiO2、多晶硅、非晶硅、氮化硅、金属(钨、钼)等

常用的CVD技術有：

(1) 常压化学气相淀积（APCVD）； (2) 低压化學气相淀积（LPCVD）； (3) 等离子增强化學气相淀积（PECVD）

较为常见的CVD薄膜包括有： 二氧化硅（通常直接称为氧化层） 氮化硅 多晶硅 难熔金属与这类金属之其硅化物

常压化学汽相淀积(NPCVD) (Normal Pressure CVD)

常压化学气相淀积(APCVD/NPCVD)是指在大气压下进行的一种化学气相淀积的方法，这是化学气相淀积最初所采用的方法。这种工艺所需的系统简单，反应速度快，并且其淀积速率可超过1000埃/min，特别适于介质淀积，但是它的缺点是均匀性较差，所以，APCVD一般用在厚的介质淀积。

NPCVD为最简单的CVD法，使用于各种领域中。其一般装置是由(1)

化学气相淀积(Chemical Vapor Deposition) 是通过气态物质的化学反应在衬底上淀积一层薄膜材料的过程 CVD技术特点：

具有淀积温度低、薄膜成分和厚度易于控制、均匀性和重复性好、台阶覆盖优良、适用范围广、设备简单等一系列优点

CVD方法几乎可以淀积集成电路工艺中所需要的各种薄膜，例如掺杂或不掺杂的SiO2、多晶硅、非晶硅、氮化硅、金属(钨、钼)等

常用的CVD技術有：

(1) 常压化学气相淀积（APCVD）； (2) 低压化學气相淀积（LPCVD）； (3) 等离子增强化學气相淀积（PECVD）

较为常见的CVD薄膜包括有： 二氧化硅（通常直接称为氧化层） 氮化硅 多晶硅 难熔金属与这类金属之其硅化物

常压化学汽相淀积(NPCVD) (Normal Pressure CVD)

常压化学气相淀积(APCVD/NPCVD)是指在大气压下进行的一种化学气相淀积的方法，这是化学气相淀积最初所采用的方法。这种工艺所需的系统简单，反应速度快，并且其淀积速率可超过1000埃/min，特别适于介质淀积，但是它的缺点是均匀性较差，所以，APCVD一般用在厚的介质淀积。

NPCVD为最简单的CVD法，使用于各种领域中。其一般装置是由(1)

CVD法制备碳纳米管的催化剂研究

摘要：CVD法制备单壁碳纳米管时有几个不可忽略的影响因素，其中催化剂的选取与制备极为重要，许多研究者采用不同的催化剂，获得了不同产量与质量的碳纳米管。本文主要从催化剂的选取和制备方法入手，综述了催化剂对碳纳米管制备的影响。

关键词：碳纳米管；催化剂；制备

1991年，日本NEC公司基础研究实验室的电子显微镜专家Iijima在高分辨透射电子显微镜下检验石墨电弧设备中产生的球状碳分子时，意外发现了由管状

[1]

的同轴纳米管组成的碳分子。虽然在I-ijima于1991年发现碳纳米管以前，就已经有人制备并观察过碳纳米管[2]，但Iijima的这一发现还是在碳化学领域产生了重大影响。Iijima把碳纳米管推广，使其为世人熟知，推动了科研的进步，科技的发展。随后，更多的科研工作者投入了对碳纳米管的研究，碳纳米管的优异性能一一被发现，应用领域越来越广阔，同时碳纳米管的制备技术也在不断完善。特别是1993年单壁碳纳米管同样由石墨电弧法合成[3-4]，单壁碳纳米管的发现进一步推动了碳纳米管研究领域的发展。单壁碳纳米管的结构特点决定了它具有更为独特的性能，是多壁碳纳米管所不能企及的，但同时其制备方法也相应更加困难，生长条

CVD金刚石膜生长与扫描电子显微镜观察

Growth and scanning electron microscope observations of

CVD diamond films

物理学院

物理系 00004037

贾宏博 2003-02-26

1

实验目的

同组：00004038 孙笑晨

1.1 了解低压化学气相沉积（CVD）金刚石膜的基本原理与方法并用HF-CVD装置制备金刚石膜。

1.2 熟悉扫描电子显微镜的使用并掌握扫描电镜照相技术 2

实验原理

2.1 CVD金刚石膜发展历史、现状及应用前景简介

金刚石优异的电、光、热、声、机械等性能及其高化学稳定性的特点，引起人们广泛的兴趣。由于天然金刚石十分昂贵，它的工业应用成为人们可望而不可及的梦想。50年代初，美国通用电气公司成功发明了高温高压人工合成金刚石的技术。尽管合成的金刚石是小颗粒状的，但在制备人造金刚石工具，开发其在机械工业中的应用起了很大作用。 1962年，W. G. Eversole等首先发明了低压CVD方法制备金刚石膜。[1] 但是生长速率很慢（~1 nm/h）且必须使用金刚石砂作衬底，因此实用价值不大。1982年，日本人Matsumoto等取得了技术上的突破性进

中职教学a# 1 技 术 交 底 记 录 工程名称 绥德师范附属小学改扩建项目 分部工程 地基与基础工程 分项工程名称 土方开挖

交底内容：

一、 施工准备

1、土方开挖前，应根据施工方案的要求，将施工区域内的地下、地上障

碍物清除和处理完毕。

2、建筑物或构筑物的位置或场地的定位控制线、标准水平桩及开槽的灰

线尺寸，必须经过检验合格，并办完预检手续。

3、夜间施工时，应有足够的照明设施，在危险地段应设置明显标志，并

要合理安排开挖顺序，防止错挖或超挖。

二、 操作工艺

1、工艺流程：

确定开挖的顺序和坡度→分段分层平均下挖→修边和清底。

2、采用人工开挖基槽，一般应从两端或顶端开始，将土堆放离基槽的两

侧。

3、土方开挖宜从上到下分层分段依次进行。随时作成一定坡势。

4、开挖基槽，不得挖至设计标高以下，如不能准确地挖至设计基底标高

时，可在设计标高以上暂留一层土不挖，以便在抄平后，由人工挖土。

5、槽底修理铲平后，进行质量检查验收。

6、开挖基槽的土方，在场地有条件堆放时，一定留足回填需用的好土，

多余的土方，应一次运走，避免二次搬运。

三、 质量标准

1、基槽、场地的基土土质必须符合设计要求，并严禁扰动。

2、允许偏差项目

① 表面标高：+0，-50 ；②

核心网技术 —IMS技术

目 录

第1章 IMS概述及基本原理 ........................................................ 5

1.1 1.2

IMS的起源和标准化进程 ...................................................................................................... 5 IMS的含义 .................................................................................................................................. 6

1.2.1 IMS系统范畴........................................................................................................................ 6 1.2.2 IMS与软交换的定位关系..................

ZigBee无线网络技术物联网关键技术

成都无线龙通讯科技有限公司 2010-06

无线通信

无线通信(Wireless Communication)是利 用电磁波信号可以在自由空间中传播的特性进 行信息交换的一种通信方式。近些年信息通信 领域中，发展最快、应用最广的就是无线通信 技术。

我们所知道的通信古代：烽火狼烟、击鼓鸣金、摇旗呐喊、飞鸽传信这些通信方法和手段只能极其有限地解决一定距离的通信问题。 我们的先人常以无法实时互通的浪漫诗句和思念之情来代替

通信。

现代：电话、电视、广播、邮政、因特网、其他方式

有线通信、无线通信

通信的发展简史

第一阶段 语言 第二阶段 文字、邮政 第三阶段 印刷术、出版物 第四阶段 电报、电话、广播

第五阶段 通信与计算机的结合、网络

最早的电通信设想1753年2月17日，《苏格兰人》杂志上发表了一封署名 C.M的

书信。在这封信中，作者提出了用电流进行通信的大胆设想。他建议：把一组金属线从一个地点延伸到另一个地点，每根金属线 与一个字母相对应。在一端发报时，便根据报文内容将一条条金

属线与静电机相连接，使它们依次通过电流。电流通过金属线上的小球便将挂在它下面的写有不同字母或数字的小纸片吸了起来， 从而起到远距离传递信息的作用

核心网技术 —IMS技术

目 录

第1章 IMS概述及基本原理 ........................................................ 5

1.1 1.2

IMS的起源和标准化进程 ...................................................................................................... 5 IMS的含义 .................................................................................................................................. 6

1.2.1 IMS系统范畴........................................................................................................................ 6 1.2.2 IMS与软交换的定位关系..................

防火墙技术技术论文

浅析防火墙技术

【摘要】防火墙技术作为时下比较成熟的一种网络安全技术，其安全性直接关系到用

户的切身利益。随着计算机技术和网络技术的发展，计算机网络给人们带来了很多便利，

于此同时网络安全的问题也伴随着网络技术的发展而日趋严重。使用防火墙能很好的提高

系统的安全性，减少系统受到网络安全方面的威胁。在现在的计算机时代，网络信息的安

全越显得重要。而对防火墙技术的要求也会越来越高。

【关键词】防火墙;网络安全;网络技术

为了解决互联网时代个人网络安全的问题，近年来新兴了防火墙技术。防火墙具有很

强的实用性和针对性，它为个人上网用户提供了完整的网络安全解决方案，可以有效地控

制个人电脑用户信息在互联网上的收发。

用户可以根据自己的需要，通过设定一些参数，从而达到控制本机与互联网之间的信

息交流阻止恶性信息对本机的攻击而且防火墙能够实时记录其它系统试图对本机系统的访问，使计算机在连接到互联网的时候避免受到网络攻击和资料泄漏的安全威胁。

一套完整的防火墙系统通常是由屏蔽路由器和代理服务器组成。屏蔽路由器是一个多

端口的IP路由器，它通过对每一个到来的IP包依据组规则进行检查来判断是否对之进行

转发。屏蔽路由器从包头取得信息。代理服务器是防火墙中的一个服务器进程，

第二节 技术的发明与革新

发明和革新是技术的源泉技术创新是技术发展的灵魂，是技 术发展的核心所在，在人类历史的长河 中，每一项技术的问世都是创新的结果。 技术创新表现为两种形式： 一种是技术发明 一种是技术革新

发明：指的是创造发明自然界原来 没有的事物。 革新：指的是对原有技术加以改造 和提高。 发明和革新是技术的源泉。

一、技术发明

人类历史无数的技术发明，勾绘出了技术创新的轨迹。

集 成 电 路 的 发 明

电子管

晶体管

晶体管半导体收音机

大规模集体电路

电脑主板

大规模集成电路

电子计算机的发明

第一台电子计算机286-586计算机

超薄显示器计算机

第一台电子计算机

技术发明是推动人类社会进步的动力

近代以来几项 重大的发明

集成电路 珍妮纺纱机 蒸汽机 电力和内燃机 电子计算机

二、技术革新

技术革新是技术创新的另一种形式。那么，技 术革新的具体内容是什么呢？

多功能缝纫机的诞生

老式缝纫机

多功能缝纫机

1、1978年模糊的记忆——手摇式电话70年代生的人，记忆中最早的电 话可能还有这种摇把电话的影子。 1978年开始改革开放，那时电话离老 百姓的生活还很远，只有政府机关才 会有。每次打电话都像开手扶拖拉机， 一通体力劳动过后才打到话务员那里， 他