电池扩散工艺原理
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扩散工艺知识
第三章 扩散工艺
在前面“材料工艺”一章,我们就曾经讲过一种叫“三重扩散”的工艺,那是对衬底而言相同导电类型杂质扩散。这样的同质高浓度扩散,在晶体管制造中还常用来作欧姆接触,如做在基极电极引出处以降低接触电阻。除了改变杂质浓度,扩散的另一个也是更主要的一个作用,是在硅平面工艺中用来改变导电类型,制造PN结。
第一节 扩散原理
扩散是一种普通的自然现象,有浓度梯度就有扩散。扩散运动是微观粒子原子或分子热运动的统计结果。在一定温度下杂质原子具有一定的能量,能够克服某种阻力进入半导体,并在其中作缓慢的迁移运动。
一.扩散定义 在高温条件下,利用物质从高浓度向低浓度运动的特性,将杂质原子以一定的可控性掺入到半导体中,改变半导体基片或已扩散过的区域的导电类型或表面杂质浓度的半导体制造技术,称为扩散工艺。
二.扩散机构
杂质向半导体扩散主要以两种形式进行: 1.替位式扩散
一定温度下构成晶体的原子围绕着自己的平衡位置不停地运动。其中总有一些原子振动得较厉害,有足够的能量克服周围原子对它的束缚,跑到其它地方,而在原处留下一个“空位”。这时如有杂质原子进来,就会沿着这些空位进行扩散,这叫替位式扩散。硼(B)、磷(P)、砷(As)等属此种扩散。
2.间隙式扩
扩散炉工艺文件
扩散炉工艺报告
一、太阳能电池板原理介绍:
太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种,如:单晶硅,多晶硅,非晶硅,砷化镓,硒铟铜等。它们的发电原理基本相同,现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型硅,形成P-N结。 当光线照射太阳能电池表面时,一部分光子被硅材料吸收;光子的能量传递给了硅原子,使电子发生了越迁,成为自由电子在P-N结两侧集聚形成了电位差,当外部接通电路时,在该电压的作用下,将会有电流流过外部电路产生一定的输出功率。这个过程的实质是:光子能量转换成电能的过程。晶体硅太阳能电池的制作过程: “硅”是我们这个星球上储藏最丰量的材料之一。
二、硅太阳能电池工作原理与结构:
太阳能电池发电的原理主要是半导体的光电效应,正电荷表示硅原子,负电荷表示围绕在硅原子旁边的四个电子。
当硅晶体中掺入其他的杂质,如硼、磷等,当掺入硼时,硅晶体中就会存在着一个空穴,这个空穴因为没有电子而变得很不稳定,容易吸收电子而中和,形成P型半导体。 同样,掺入磷原子以后,因为磷原子有五个电子,所以就会有一个电子变得非常活跃,形成N型半导体。
P型半导体中含有较多的空穴,而N型半导体中含有较多的电子,这样,当
扩散 PECVD工艺调试说明
设备工艺调试(扩散 PE)
扩散调试(针对喷淋、串级控制、压力补偿设备)
工艺调试前的准备工作
1 压力补偿功能是否正常运行 压力平衡系统调试
压力平衡主要由压力传感器、压力控制器、流量计组成。 压力传感器调试
压力传感器有两个气体压力检测口
一个与大气相通<1>一个与反应管相通<2><1>直接空开、<2>通过PFA管与热偶管相连。 注意不要将两个接口接反,检验方法:可以用口对准其中一个吹气可以发现控制器检测值增大否则可能接反了。 2 流量计调试
同时按“ENT”和“?”进入参数设定模式。(3秒以上) C03 值选为1
流量计出气口要接到石英连接器上,即补气口(将原来排废管上的补气口堵上)。 3 压力控制器
常按“set”ATU设为1时自整定,在设备连接好时进行补气时,将该值设定成1进行自整定(类似温度控制PID整定)
OLH为限幅输出,一般设定为20%,(即在补气时流量计瞬时值不要超过10L/min) 如果压力控制器变化太快可以将延时设置成五(DF)
在STOP模式下边按SET边按R/S键4秒以上,进行工程技术模式: F00 MODE=128
F21 INP=35 PGDp=0 PGSH=1000 SLH=1000 F60 CMP
2>1>2>1>扩散炉工艺文件
扩散炉工艺报告
一、太阳能电池板原理介绍:
太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种,如:单晶硅,多晶硅,非晶硅,砷化镓,硒铟铜等。它们的发电原理基本相同,现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型硅,形成P-N结。 当光线照射太阳能电池表面时,一部分光子被硅材料吸收;光子的能量传递给了硅原子,使电子发生了越迁,成为自由电子在P-N结两侧集聚形成了电位差,当外部接通电路时,在该电压的作用下,将会有电流流过外部电路产生一定的输出功率。这个过程的实质是:光子能量转换成电能的过程。晶体硅太阳能电池的制作过程: “硅”是我们这个星球上储藏最丰量的材料之一。
二、硅太阳能电池工作原理与结构:
太阳能电池发电的原理主要是半导体的光电效应,正电荷表示硅原子,负电荷表示围绕在硅原子旁边的四个电子。
当硅晶体中掺入其他的杂质,如硼、磷等,当掺入硼时,硅晶体中就会存在着一个空穴,这个空穴因为没有电子而变得很不稳定,容易吸收电子而中和,形成P型半导体。 同样,掺入磷原子以后,因为磷原子有五个电子,所以就会有一个电子变得非常活跃,形成N型半导体。
P型半导体中含有较多的空穴,而N型半导体中含有较多的电子,这样,当
扩散炉工艺文件
扩散炉工艺报告
一、太阳能电池板原理介绍:
太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种,如:单晶硅,多晶硅,非晶硅,砷化镓,硒铟铜等。它们的发电原理基本相同,现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型硅,形成P-N结。 当光线照射太阳能电池表面时,一部分光子被硅材料吸收;光子的能量传递给了硅原子,使电子发生了越迁,成为自由电子在P-N结两侧集聚形成了电位差,当外部接通电路时,在该电压的作用下,将会有电流流过外部电路产生一定的输出功率。这个过程的实质是:光子能量转换成电能的过程。晶体硅太阳能电池的制作过程: “硅”是我们这个星球上储藏最丰量的材料之一。
二、硅太阳能电池工作原理与结构:
太阳能电池发电的原理主要是半导体的光电效应,正电荷表示硅原子,负电荷表示围绕在硅原子旁边的四个电子。
当硅晶体中掺入其他的杂质,如硼、磷等,当掺入硼时,硅晶体中就会存在着一个空穴,这个空穴因为没有电子而变得很不稳定,容易吸收电子而中和,形成P型半导体。 同样,掺入磷原子以后,因为磷原子有五个电子,所以就会有一个电子变得非常活跃,形成N型半导体。
P型半导体中含有较多的空穴,而N型半导体中含有较多的电子,这样,当
晶体硅太阳电池设计-扩散基础
晶体硅太阳电池设计-扩散基础
扩散工艺培训
1、 什么是扩散?扩散的作用是什么?
扩散是一种由热运动所引起的杂质原子和基体原子的输运过程。由于热运动,把原子从一个位置输运到另一个位置,使基体原子与杂质原子不断地相互混合,从而改变基片表面层的导电类型。扩散是常规硅太阳电池工艺中,形成PN结的主要方法。
2、硅太阳电池主要的扩散杂质源:
硅太阳电池所用的主要的扩散杂质源有气态源、液态源、固态源等。
气态源-磷化氢PH3
磷化氢是无色、易燃、有剧毒的气体。考虑到安全问题没有在硅太阳电池的扩散中被使用。
固态源-五氧化二磷P2O5
P2O5为固体,有很强的吸水性,作为杂质源操作在使用和保存时保持一定的状态是不可能的,用来扩散重复性差。
液态源-三氯氧磷POCL3
POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源,它是无色透明液体,具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。其比重为1.67,熔点2℃,沸点107℃,在潮湿空气中发烟。POCl3很容易发生水解,POCl3极易挥发,高温下蒸汽压很高。为了保持蒸汽压的稳定,通常是把源瓶放在20℃的恒温箱中。POCL3有巨毒,换源时应在抽风厨内进行,且不要在尚未倒掉旧源时就用水冲,这样易引起源瓶炸裂。POCl3在高温下(>600℃)分解生成
农业创新扩散原理-2-jwzhang
第一章农业创新扩散原理Ch1-1农业创新的采用 Ch1-2农业创新的扩散 Ch1-3影响农业创新和扩散的因素
Ch1-1农业创新的采用一、创新的概念和特性二、农民对农业创新的采用过程三、创新采用者分类四、信息来源对创新采用的影响五、采用过程中推广方法的选择
一、创新的概念与特性(一)创新的概念约瑟夫·阿洛伊斯·熊彼得(J·A·Schumpeter), 1939年在他的《资本主义、社会主义和民主主义》中,提出了著名创新理论(innovation theory)。所谓创新,就是建立一种“新的生产函数”,生产函数即生产要素的一种组合比率 P=f (a,b,c,----n),就是将一种从来没有过的生产要素和生产条件的“新组合”引入生产体系。
他将“创新”和“发明”这两个概念严格区分。发明是新技术的发现,而创新则是将发明应用到经济活动中,为当事人带来利润。
农业创新的概念这里说的创新技术并不一定是指客观上新的东西,而是一种在原有基础上发生的变化,这种变化在当时当地被某个社会系统里特定的个体或群体成员主观上认为是解决问题的一种较新的方法。
创新的五种存在形式(1)引进新产品或提供一种产品的新质量 (2)采用新技术或新生产方法
电动车电池原理
电动车电池工作原理,修复技术
蓄电池作为“方便电源”一直被人们所广泛使用,在2003年前普通百姓直接使用还不多见,
随着电动车在我国普及化程度不断提高,蓄电池越来越多的贴近百姓生活,但人们又对蓄电
池的知识了解甚少:电瓶如何坏损过快、容量减少的电瓶是否可以修复、如何保养电瓶等等
提出疑问,在此我们仅对电动车电瓶坏损成因、修复、保养浅谈如下,供读者参考。
电动车一般使用的是免维护的铅酸蓄电池,电解液为胶体状,分为24V、36V 、48V和
60V。市面上36V和48V的为多、24V和60V的为少。24V为二节、36V为三节、48V为四节、
60V为五节12V的单体蓄电池串联而成;单体电池每节为12V,由6隔串联组成,每隔2V,
每隔均有正负极板和胶体电解液。蓄电池坏损原因很复杂,大致分为以下6种:
1、“过充”导致蓄电池坏损。
“过充”就是过量给蓄电池充电而产生的一种对蓄电池化学和物理性能起破坏作用的现象。
“过充”首先是充电器的原因。目前的电动车充电器都有安全充电电压设置,充电电压
一般设定在电瓶标准电压的1.2倍以内,如48V的蓄电池,充电电压设定在57.2V以内。蓄
电池在放电过程中,电压会逐步下降,当再次给电瓶充电时,充电器的红灯会亮起,表示充
电进行时,当电能不
《原电池原理》教学设计
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《原电池原理》教学设计
一、设计思想
本节课的教材依据是人教版高一年级必修二专题二第二单元《化学能与电能
的转化》。原电池是把电能转化为化学能的一种装置,也是化学与能源相联系的很关键的内容,这些知识不但能让学生大开眼界,而且还能为环境、能源与可持续发展提供良好的教学内涵,所以这部分知识是应该以全新的教学理念进行这部分知识的学习。在设计本节课教学时遵循新课改的理念,引导学生从一个水果电池引入电池的内容,这样能激起学生对本节课的好奇心,可以达到教学创设情境的需要。在上课过程中,注重与学生的沟通和交流,让课堂成为学生自主设计和自主学习、自主探究的环境。本节课主体采用“搜集相关知识—实验操作—分析讨论—得出结论”的学习方法,在实验探究中学习原电池的概念及构成条件。让学生在“做中学”。
二、教学目标
1.知识与能力:了解能源与化学能之间的关系;能设计简单的原电池。
2.过程与方法:利用实验探究方法学习原电池的原理;结合生产、生活实际,学习原电池原理在生产、生活中的实际运用。
3.情感态度与价值观:让学生能够感觉到能源危机,能认识到自己的行为对环境的作用。
三、教学重点
原电池的工作原理。
四、教学难点
原电池的形成条件及电极反应;
电子流向和电流方向。
五、教学手段
讲授、
锂离子电池论坛 - 锂离子电池工艺大全-经典
锂离子电池原理、常见不良项目及成因、涂布方法汇总
(2009-07-11 09:28:25)
一般而言,锂离子电池有三部分构成:1.锂离子电芯;2.保护电路(PCM);3.外壳即胶壳。 分类
从锂离子电池与手机配合情况来看,一般分为外置电池和内置电池,这种叫法很容易理解,外置电池就是直接装在手上背面,如: MOTOROLA 191,SAMSUNG 系列等;而内置电池就是装入手机后,还另有一个外壳把其扣在手机电池内,如:MOTOROLA 998,8088,NOKIA的大部分机型 1.外置电池
外置电池的封装形式有超声波焊接和卡扣两种: 1.1超声波焊接 外壳
这种封装形式的电池外壳均有底面壳之分,材料一般为ABS+PC料,面壳一般喷油处理,代表型号有 :MOTOROLA 191,SAMSUNG 系列,原装电池的外壳经喷油处理后长期使用一般不会磨花,而一些品牌电池或水货电池用上几天外壳喷油就开始脱落了.其原因为:手机电池的外壳较便宜,而喷油处理的成本一般为外壳的几倍(好一点的),这样
处理一般有三道工序:喷光油(打底),喷油(形成颜色),再喷亮油(顺序应该是这样的,如果我没记错的话),而一些厂商为了降低成本就省去了第一和第三道工序,这样成本就很低了