光学镀膜机

备注:

1 机台镀膜时间明细:分钟

2 人员作业时间明细:分钟

3 机台保养

加热: 下伞

:

1排气:

取挡板及遮药板0熔药镀膜:

清洁机台: 1.5离子源冷却:更换药材: 1.5基板冷却: 安装挡板及遮药0进气:

上伞:

1

制造三课

造三课4#镀膜机负荷评估

3 机台保养时间明细:分钟

水晶和监控片更换:

离子源及中和器更换:

机台清洗:1次/4天需3H

清洗后排气加热,镀保护膜:1次/4天需1.5H

月度所需时间

1350膜:1次/4天需1.5H675

合计2025

OPTORUN离子源的维护保养说明

1．离子源的维护和Grid的分解和组装方法

长时间运转後，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。

石英杯的清扫周期通常是50~100小时。（根据使用状况更改维护的周期）。

注意：请注意石英杯很容易损坏。 在对石英杯进行打砂时，请使用粒度＃100的Al粒子，并保持0.1～0.2M

Ｐａ的低压力，离石英杯30cm以上进行打砂作业。

1．1 绝缘子的清洁

长时间使用后，Grid Assy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。并会出现ACC电流值过大或Beam电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。

注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20MΩ以上。 ①

② 维护和交换时期

各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。

Grid维护周期为每50~100小时确认其外观?绝缘，如有异常请及时清扫或交换。如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。 （例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0

PVD真空镀膜机作业指导书

一．开机

1. 检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到0.4Mpa以上）。

2. 检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0.5Mpa）。

3．开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》，《扩散泵1、2》四个开关。即扩散泵升温（大约1小时左右）。

4. 距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按《F1》启动低温捕集器。待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。

二．生产操作

1. 确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置完毕。

2. 开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开《自动抽气》开关，待真空室大门吸合即可。

3. 当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集器制冷功能。

4. 此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详述，即为口述。

5. 工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电

流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩

1、在膜系中，光学厚度为四分之一长中心波长的膜层，对中心波长的反射率没有影响。 这个膜层称为虚设层。

2、测量薄膜器件的反射率、透过率等光谱特性曲线的常用仪器为分光光度计。

3、任何一个复杂的薄膜系统，其反射率的计算问题都可以通过其等效界面对应的等效光学 导纳进行计算。

4、偏振中性分束棱镜的设计原理，利用的是光束倾斜入射时的偏振效应。

5、在截止滤光片中，通常把抑制短波区，透射长波区的滤光片称为长波通滤光片。 6、在截止滤光片中，通常把抑制长波区，透射短波区的滤光片称为短波通滤光片。 7、光学真空镀膜机大多数是热蒸发真空镀膜设备，主要由三大鄱分组成：真空系统、热蒸 发系统、膜厚控制系统。

8、光学真空镀膜机的膜厚控制系统通常包括光学膜厚控制仪、石英晶体振荡膜厚控制仪。 9、光学膜厚控制系统对膜厚的监控是根据光学信号的极值点来判断膜层厚度。

10、石英晶体振荡膜厚控制系统监控膜厚主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效 应。

11、光学薄膜制备过程中常用的热蒸发方式为电阻蒸发、电子枪蒸发。

12、光学真空镀膜机中用于测量真空度的仪器是真空计，包括电偶真空计和电离真空计两种。 13、影响薄膜器件光学性能的膜层光学参数是膜层的折射率

安徽嘉硕真空科技有限公司

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JSD-300型真空镀膜机

使 用 说 明 书

安徽嘉硕真空科技有限公司

1

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目 录

1、概述…………………………………………………………………………………………………………3 2、主要技术性能参数………………………………………………………………………………3 3、设备安装……………………………………………………………………………………………….5 4、操作规程……………………………………………………………………………………………….5 5、使用注意事项、维护与保养…………………………………………………………….7 6、设备主要配置……………………………………………………………………………………….8 7、技术资料清单…………………………………………………………………………………………9

2

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一、概述

JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。

镀膜机常见故障及分析解决预防措施 一. 常见故障,问题及解决方法

下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施. 故障故障现象 故障原因 解决及预防措施 备注 点 1.1.开枪有高压，无1.灯丝保险烧断 1.检查灯丝保险，烧断则更换 立即 束流 2.灯丝烧断 2.保险正常则检查灯丝更换枪关高1.高压 3.南光枪枪体右边引体. 压 和束线碰到枪体底坐 3.调整引线与枪体底坐的间距.流 在抽气前检查枪体. 1.2.开高压显示跳1.束流控制调在手动，1.电位器归零.在预熔完后应将立即动幅度大，并有束电位器未归零 灯丝电位器归零 关高流跳动 2.枪体短路 2.将连接灯丝变压器的高压引压 3.高压电极保护罩或线取下（注意引线不能碰到机屏蔽碰到高压引线造器应悬空）开高压，正常则枪成短路 体或高压电极保护罩或屏蔽短4.电柜故障 路造成 3.放气检查电极保护罩或屏蔽 4.检修电柜 1.3.开枪无高压，无1.高压保护不到位（偏1.检查相应的高压保护 束流 转.真空.柜门） 2.检修高压控制电路 2.高压电路出问题 1.4.镀膜时高压会1.真空继电器烧坏 1.更换真空继电

光学基础知识及光学镀膜技术

光學薄膜是指在光學元件上或獨立的基板上鍍上一層或多層之介電質膜或金屬膜來

改變光波傳遞的特性。即應用光波在這些薄膜中進行的現象與原理，如透射、吸收、散

射、反射、偏振、相位變化等，進而設計及製造各種單層及多層之光學薄膜來達到科學

與工程上的應用。在本廠的實際應用上，DM半透板與ITO鍍膜屬於這個領域。

光學薄膜雖早於1817年Fraunhofer已經開始利用酸蝕法製成了抗反射膜，但是真正

的發展是在1930年真空鍍膜設備之後。而軍事的需求(望遠鏡、飛彈導向鏡頭、監視衛

星、夜視系統等)加速了光學薄膜的開發與研究。計算機的出現使得設計更為方便，相對

的各種理論及設計方法因應而出，光學薄膜的研究於是更為進步並充分應用於各種光電

系統及光學儀器之中，如光干涉儀、照相機、望遠鏡、顯微鏡、投影電視機、顯示器、

光鑯通訊、汽車工業、眼鏡等。

光學薄膜基本上是藉由干涉作用達到其效果的。簡單的如肥皂泡沫膜、金屬表層的

氧化膜、水面油層的顏色變化，都可以視為單層干涉的效果。因此，當光在膜層中的干

涉現象可以被偵測到時，我們就說這層模是薄的，否則是厚的(k值消散掉)。由於干涉現象不僅跟膜層的厚度有關，而且光源的干涉性和偵測性的種類也有關。

接下來為各位介紹幾個主

2016-2022年中国镀膜机市场研究及投资前景预测报告, 2014-2016年中国镀膜机行业市场竞争格局分析,2014-2016年中国镀膜机行业重点企业竞争力分析,2014-2016年中国真空泵行业运行情况分析,2016-2022年中国镀膜机行业发展前景预测分析,2016-2022年中国镀膜机行业投资战略研究。

2016-2022年中国镀膜机市场研究及投资

前景预测报告

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行业研究报告的定义

行业研究是通过深入研究某一行业发展动态、规模结构、竞争格局以及综合经济信息等，为企业自身发展或行业投资者等相关客户提供重要的参考依据。

企业通常通过自身的营销网络了解到所在行业的微观市场，但微观市场中的假象经常误导管理者对行业发展全局的判断和把握。一个全面竞争的时代，不但要了解自己现状，还要了解对手动向，更需要将整个行业系统的运行规律了然于胸。

行业研究报告

镀膜背景知识

1、 光线垂直入射示意图及反射率计算公式：

比如真空内(na=1.0)光线垂直入射在镀有单层MgF2( nf=1.3836)的K9玻璃(ns=1.5168)上,可以求出,这时的反射率大概在1.34%左右

(

也就是说透过率在98.6%左右);当然,实际镀膜情况比上式复杂的多,通过多层镀膜,我们可以得到需要的反射率(或透射率).

2、光线倾斜入射示意图：

TrueOptics make your idea comes true!

『光电在线』光电资讯与技术交流的专业平台！

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3、镀膜类型及属性： 反射膜

类型 紫外增强铝膜

波长（nm）

反射率

抗磨损能力中等

价格低

属性

通过氟化镁膜增强紫外反射率

通过SiO膜增强可见光反射率

多层介质膜增强可见和近红外反射率

可见和红外反射能力强于铝膜

近红外到红外反射能力略强于保护银膜

在带宽范围有非常高的反射率

在窄带范围有非常高的反射率

对于准分子激光有高反射率和高损伤阈值 对于Nd:YAG激光有高反射率和高损伤阈值

avg >90%

保护铝膜

avg >88% 中等 低

金属膜

增强铝膜

avg >93% 中等 低

保护银膜

0.48–20μavg >96% 中等 低

保护金膜

0.65–20μavg

镀膜背景知识

1、 光线垂直入射示意图及反射率计算公式：

比如真空内(na=1.0)光线垂直入射在镀有单层MgF2( nf=1.3836)的K9玻璃(ns=1.5168)上,可以求出,这时的反射率大概在1.34%左右

(

也就是说透过率在98.6%左右);当然,实际镀膜情况比上式复杂的多,通过多层镀膜,我们可以得到需要的反射率(或透射率).

2、光线倾斜入射示意图：

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3、镀膜类型及属性： 反射膜

类型 紫外增强铝膜

波长（nm）

反射率

抗磨损能力中等

价格低

属性

通过氟化镁膜增强紫外反射率

通过SiO膜增强可见光反射率

多层介质膜增强可见和近红外反射率

可见和红外反射能力强于铝膜

近红外到红外反射能力略强于保护银膜

在带宽范围有非常高的反射率

在窄带范围有非常高的反射率

对于准分子激光有高反射率和高损伤阈值 对于Nd:YAG激光有高反射率和高损伤阈值

avg >90%

保护铝膜

avg >88% 中等 低

金属膜

增强铝膜

avg >93% 中等 低

保护银膜

0.48–20μavg >96% 中等 低

保护金膜

0.65–20μavg