利用MOCVD工艺生长

ＬＥＤ结构生长原理以及ＭＯＣＶＤ外延系统的介绍

2012-2-22 10:02:33

摘要：MOCVD外延技术是国内目前刚起步的技术，本文主要介绍外延的基本原理以及目前世界上主要外延生产系统的设计原理及基本构造。 第一章 外延在光电产业角色

近十几年来为了开发蓝色高亮度发光二极管，世界各地相关研究的人员无不全力投入。而商业化的产品如蓝光及绿光发光二级管ＬＥＤ及激光二级管ＬＤ的应用无不说明了Ⅲ－Ⅴ族元素所蕴藏的潜能，表１－１为目前商品化ＬＥＤ之材料及其外延技术，红色及绿色发光二极管之外延技术大多为液相外延成长法为主，而黄色、橙色发光二极管目前仍以气相外延成长法成长磷砷化镓ＧａＡｓＰ材料为主。ＭＯＣＶＤ机台是众多机台中最常被使用来制造ＬＥＤ之机台。而ＬＥＤ或是ＬＤ亮度及特性的好坏主要是在于其发光层品质及材料的好坏，发光层主要的组成不外乎是单层的ＩｎＧａＮ／ＧａＮ量子井Ｓｉｎｇｌｅ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｗｅｌｌ或是多层的量子井Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｗｅｌｌ，而尽管制造ＬＥＤ的技术一直在进步但其发光层ＭＱＷ的品质并没有成正比成长，其原是发光层中铟Ｉｎｄｉｕｍ的高挥发性和氨ＮＨ３的热裂解效率低是ＭＯＣＶＤ机台所难于克服的难题，氨气Ｎ

第32卷 第4期2011年4月

发 光 学 报

C H I N ESE J OURNAL OF LUM I N ESCENCE

V ol 32N o 4

A pr .,2011

Artic le I D :1000 7032(2011)04 0363 05

Optim ization of Two step A lN Buffer of a plane

Ga N Film s Grown on r plane Sapphire byMOCVD

H E Tao ,CHEN Y ao ,L IH ui,DA I Long gu i,WANG X iao li,

XU Pe i qiang,WANG W en x i n *

,CHEN H ong

(Be i jing N ationa lL abora t ory of Cond e n se d M a tter ,In stit u t e of P hy sics ,

C hinese Acad e my o f S cie n ces ,B eiji ng 100190,Ch i na )

Abst ract :N onpo l ar (1120)a p l ane G aN fil m s

MOCVD

目录 简介

我国MOCVD发展介绍 概况

展开

简介

我国MOCVD发展介绍 概况

简介

定义

MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。

缩写

Metal-organic Chemical Vapor Deposition （金属有机化合物化学气相沉淀)。

原理

MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行，衬底温度为500-1200℃,用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方),H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。

我国MOCVD发展介绍

12月12号，中国首台具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备发运庆典在张江高新区核心园举行。张江高新区管委会副主任侯劲及工信部、市经信委、浦东新区、常州等有关领导和5家客户出席了发运庆典仪式。

作为LED芯片生产过程中最为关键的设备，MOCVD的核心技术长期被欧美企业所垄断

领悟新课标 尝试新学法

--------浅谈初中数学生长课堂

新的课程标准的实施将导致教学内容、教学手段、教学方法和教学模式的深刻变革。本文主要探讨了生长课堂在数学教学中的应用，并且做了实验和相关的调查，对结果进行了分析和研究。

关键词：课程标准 生长课堂 教学模式

1 引言

数学作为一门研究现实世界空间形式和数量关系的学科，其抽象性、逻辑性、严谨性是其他学科所无法比拟的，基础教育课程改革是进入21世纪以来我国教育领域最重要的改革举措之一，新课标的实施为抽象、枯燥的数学提供了一个生动、广阔的天地。新课程标准更加重视学生能力的培养和素养的提高。本实验针对数学课模式进行研究，以期探索到适用于数学教学的崭新课堂模式。

2 模式的理论依据

2.1杜威关于教育本质的见解

杜威认为，学生心理活动的基本内容就是以本能活动为核心的心理机能的不断发展和生长的过程，教育就是起促进本能生长的作用。指出：“因为生长是生活的特征，所以教育就是生长，在它自身以外，没有别的目的。学校教育的价值，它的标准，就看它创造继续生长的愿望到什么程度，看它为实现这种愿望提供方法到什么程度。”

2.2人本主义理论

人本主义心理学认为，学习是一种源于人的潜能和天赋的高度自主性、自由性的选择行为，是

大尺寸MOCVD加热器的模拟仿真

摘要 本文运用流体与热场耦合的有限元方法对BDS（缓冲分布喷射式）腔体结构、大尺寸石墨盘、电阻片式加热器的MOCVD反应腔体进行高温环境的稳态建模仿真，得到石墨盘表面的温度分布，通过对仿真曲线及云图的分析，对加热器进行了改进和优化设计，提出一种改动小、容易实现的改进方法，使温度均匀性在±1K以的温度有效区域显著扩大。还模拟了此种加热器在不同温度段对石墨盘表面加热的均匀性。并对通过改变入口气体流量模拟多种不同的流场环境，验证了改进后的加热器只需调整各区的加热功率就可以大范围的适应不同流场环境，给不同的晶体生长工艺提供均匀的温度边界条件。

关键词 MOCVD；温度；有限元模拟；有效区域

0 引言

目前由于金属有机物化学气相沉积（MOCVD）技术具有薄膜生长厚度精确可控、均匀性好、界面陡峭、生产效率高等优点，广泛应用与各种半导体化合物薄膜外延生长领域。如半导体激光器件、太阳能电池板、射频器件及LED芯片等。尤其是近年来LED产业的迅猛发展，作为LED芯片制造关键设备的MOCVD设备也越来越受到重视。目前，国内生产型MOCVD设备完全依赖进口，严重制约了国内LED产业尤其是上游产业的发展，国内相关研究所及企业也在

大尺寸MOCVD加热器的模拟仿真

摘要 本文运用流体与热场耦合的有限元方法对BDS（缓冲分布喷射式）腔体结构、大尺寸石墨盘、电阻片式加热器的MOCVD反应腔体进行高温环境的稳态建模仿真，得到石墨盘表面的温度分布，通过对仿真曲线及云图的分析，对加热器进行了改进和优化设计，提出一种改动小、容易实现的改进方法，使温度均匀性在±1K以的温度有效区域显著扩大。还模拟了此种加热器在不同温度段对石墨盘表面加热的均匀性。并对通过改变入口气体流量模拟多种不同的流场环境，验证了改进后的加热器只需调整各区的加热功率就可以大范围的适应不同流场环境，给不同的晶体生长工艺提供均匀的温度边界条件。

关键词 MOCVD；温度；有限元模拟；有效区域

0 引言

目前由于金属有机物化学气相沉积（MOCVD）技术具有薄膜生长厚度精确可控、均匀性好、界面陡峭、生产效率高等优点，广泛应用与各种半导体化合物薄膜外延生长领域。如半导体激光器件、太阳能电池板、射频器件及LED芯片等。尤其是近年来LED产业的迅猛发展，作为LED芯片制造关键设备的MOCVD设备也越来越受到重视。目前，国内生产型MOCVD设备完全依赖进口，严重制约了国内LED产业尤其是上游产业的发展，国内相关研究所及企业也在

绿叶菜类、黄瓜、辣椒 、生长期的化分阶段

樱桃西红柿 黄瓜 苋菜、木耳菜、空心菜 黄瓜、番茄、辣椒、菜豆、茄子 1菠菜 菠菜性喜冷凉，生长适温17～20℃，春天覆膜后温度常超过25℃，易导致菠菜生长速度快，植株长得细高、黄弱，叶柄细长，叶片又小又薄，降低质量和产量。

2是充分利用旧膜，覆盖越冬根茬菠菜后的地膜，只要没变成破烂不堪，就可移到早春小菜、露地春播茄果瓜豆类蔬菜上，用作短期覆盖或作小高畦地膜覆盖栽培用，能节省材料和降低生产成本，挖掘增产潜力 只有认识塑料大棚环境的特点，充分利用其对蔬菜生长发育有利的一面，克服其不利因素，掌握调控方法，才能达到环境条件与蔬菜生长发育规律的统一，获得高产、优质的蔬菜产品。

塑料大棚与露地相比，光照强度较低，温度较高，昼夜温差大，空气湿度大、土壤水分运动方向由下至上，容易出现二氧化碳供应不足及有害气体危害等现象。

任何蔬菜在栽培过程中的一切农事活动，都是调整光、温、水、肥、气所蔬菜的关系。

一、光照调节。大多数蔬菜的光饱和点为5万Lux，（光照强度超过光饱和点，对作物生长不利），但西瓜、番茄可达7~8万Lux，白菜、甘蓝和豌豆为4万Lux，辣椒为3万Lux，

育儿细节1、十月内不加盐

2、周岁内不喝蜜

3、三月内只吃奶（纯母乳的四个月内不加果汁）

4、牛奶最好在2周岁后喝，2岁前可吃酸奶。脱脂牛奶比全脂牛奶对孩子更健康。

5、三岁前孩子的用盐量为成人的1/5-----1/3，吃盐多会导致钙流失

6、喝可乐等碳酸饮料会影响钙吸收。

7、爸爸的情绪不好会使婴儿的哭闹增加2层。

8、爸爸遗传身高，妈妈遗传体形。

9、爸爸带孩子，孩子智商高；妈妈带孩子，孩子学习成绩好。（智商不高的孩子要学习好，就得付出更多的努力）

10、结束开裆裤最好不要晚于一岁半，尿路感染也会发烧，治疗不及时会上行导致感染型肾炎。

11、纯母乳的4月内不用刻意喝水，只在喝奶后给点，当漱口了。6个月内不要多喝水，因为无论母乳还是奶粉都含大量的水，多喝水会增加孩子肝肾负担。

12、周岁内忌久坐（1个小时），研究表明，周岁内久坐超过1个小时的孩子会增加瘁死率。

13、孩子放在沙发上的瘁死率是放在床上的4倍。

14、夜晚开灯睡觉会降低孩子的免疫力。

15、拍孩子胸部会诱发瘁死。

16、太阳直晒脚心、妈妈的微笑会提高孩子的免疫力。

17、若保四时小儿安，常需三分饥与寒（黄帝内经）。

18、10月内的孩子禁止摇晃，伤害大脑，最重可致颅内出血和轻微脑震荡。

19、打孩子屁股会影响孩子

介绍了电石法生产PVC过程中的电石渣浆水的治理工艺措施,渣浆水回用作为生产用水,降低了乙炔生产成本,实现了闭路循环及碱性废水的零排放。

Vo _ . l 29 No9 S p .2 0 e t 01

石油化工应用PETROCHEMI CAL I NDUS TRY APPU CAT1 0N

第2 9卷

第 9期

21 0 0年 9月

改进生产工艺实现电石渣浆水循环利用刘包生(宁夏西部聚氯乙烯有限公司，宁夏石嘴山 7 30 ) 5 2 2

摘

要：绍了电石法生产 P C过程中的电石渣浆水的治理工艺措施，浆水回用作为生产用水，低了乙炔生产成介 V渣降

本，实现了闭路循环及碱性废水的零排放。

关键词：V电石渣浆水； P C;悬浮物；温度；凝絮

中图分类号：Q 2 . T 3 53

文献标识码： A

文章编号：6 3 5 8 (0 0 0 - 0 9 0 17— 2 5 2 1 )9 0 8 - 3

I p o e t e p o u to r c s o a h e e r c ci g m r v h r d ci n p o e s t c i v e y l nc r i sur y a b de l rL U o h n I Ba s e g

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介绍了电石法生产PVC过程中的电石渣浆水的治理工艺措施,渣浆水回用作为生产用水,降低了乙炔生产成本,实现了闭路循环及碱性废水的零排放。

Vo _ . l 29 No9 S p .2 0 e t 01

石油化工应用PETROCHEMI CAL I NDUS TRY APPU CAT1 0N

第2 9卷

第 9期

21 0 0年 9月

改进生产工艺实现电石渣浆水循环利用刘包生(宁夏西部聚氯乙烯有限公司，宁夏石嘴山 7 30 ) 5 2 2

摘

要：绍了电石法生产 P C过程中的电石渣浆水的治理工艺措施，浆水回用作为生产用水，低了乙炔生产成介 V渣降

本，实现了闭路循环及碱性废水的零排放。

关键词：V电石渣浆水； P C;悬浮物；温度；凝絮

中图分类号：Q 2 . T 3 53

文献标识码： A

文章编号：6 3 5 8 (0 0 0 - 0 9 0 17— 2 5 2 1 )9 0 8 - 3

I p o e t e p o u to r c s o a h e e r c ci g m r v h r d ci n p o e s t c i v e y l nc r i sur y a b de l rL U o h n I Ba s e g

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