热蒸发镀膜实验报告
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溅射镀膜实验报告
篇一:磁控溅射镀膜实验报告 近代物理实验 磁控溅射镀膜
宋爽 核12 2011011723 指导老师:王合英 2013-5-24 【摘要】
本实验根据气体辉光放电和磁场约束电子运动的原理,运用真空系统和磁控溅射镀膜技术,测量了基片加热温度和真空度变化的关系,溅射气压、溅射功率和溅射速率的关系,并在载玻片上镀上了铜膜。
关键词:磁控溅射镀膜,辉光放电,溅射速率,溅射气压、溅射功率 一. 前言
当今信息社会,众多通讯机器的心脏部分,离不开以薄膜技术为基础而制作的元器件、电子回路、集成电路等。磁控溅射镀膜是目前应用最为广泛的薄膜制备方法之一。
磁控溅射技术是在普通的溅射技术基础上发展起来的。溅射是近年来在真空镀膜中得到广泛应用的一种 成膜方法。
溅射法是利用高能离子(电场加速正离子,由电极间工作气体在强电场作用下电离产生)高速冲击负极溅射材料表面,发生碰撞。由于高能离子的能量大于靶材原子表面结合能,从而使靶材表面的原子或分子等得到入射离子的能量,逐渐溢出表面形成溅射。溅射镀膜就是基于荷能离子轰击靶材时的溅射效应,整个过程都是建立在辉光放电的基础上,即溅射离子都来源于气体放电。
而磁控溅射技术工作原理如图1所示: 图1 磁控溅射原理
就是在
溅射镀膜实验报告
篇一:磁控溅射镀膜实验报告 近代物理实验 磁控溅射镀膜
宋爽 核12 2011011723 指导老师:王合英 2013-5-24 【摘要】
本实验根据气体辉光放电和磁场约束电子运动的原理,运用真空系统和磁控溅射镀膜技术,测量了基片加热温度和真空度变化的关系,溅射气压、溅射功率和溅射速率的关系,并在载玻片上镀上了铜膜。
关键词:磁控溅射镀膜,辉光放电,溅射速率,溅射气压、溅射功率 一. 前言
当今信息社会,众多通讯机器的心脏部分,离不开以薄膜技术为基础而制作的元器件、电子回路、集成电路等。磁控溅射镀膜是目前应用最为广泛的薄膜制备方法之一。
磁控溅射技术是在普通的溅射技术基础上发展起来的。溅射是近年来在真空镀膜中得到广泛应用的一种 成膜方法。
溅射法是利用高能离子(电场加速正离子,由电极间工作气体在强电场作用下电离产生)高速冲击负极溅射材料表面,发生碰撞。由于高能离子的能量大于靶材原子表面结合能,从而使靶材表面的原子或分子等得到入射离子的能量,逐渐溢出表面形成溅射。溅射镀膜就是基于荷能离子轰击靶材时的溅射效应,整个过程都是建立在辉光放电的基础上,即溅射离子都来源于气体放电。
而磁控溅射技术工作原理如图1所示: 图1 磁控溅射原理
就是在
热分析实验报告
热分析实验报告
一、实验目的
1、理论上探讨物理变化或化学变化的机理 2、在生产上提供反应器设计参数 二、实验原理
DSC就是测量在程序控制温度下,输入到试样和参比物之间的功率差(dH/dt)与温度(T)的关系的一种技术。该热流差能反映样品随温度或时间变化所发生的焓变:样品吸收能量时,焓变为吸热;当样品释放能量时,焓变为放热。 DSC测量样品吸热和放热与温度或时间的关系
吸热 热流入样品,即样品吸收外界热量,为负值。 放热 热流出样品,即样品对外界放出热量,为正值 DSC的基本原理 热流型
在给予样品和参比品相同的功率下,测定样品和参比品两端的温差?T,然后根据热流方程,将?T(温差)换算成?Q(热量差)作为信号的输出。 功率补偿型
在样品和参比品始终保持相同温度的条件下,测定为满足此条件样品和参比品两端所需的能量差,并直接作为信号?Q(热量差)输出。 调制热流型
在传统热流型DSC线性变温基础上,叠加一个正弦震荡温度程序,最后效果是可随热容变化同时测量热流量,利用傅立叶变换将热流量即时分解成热容成分动力学成分。
DSC与DTA测定原理的不同
DSC是在控制温度变化情况下,以温度(或时间)为横坐标,以样品与参比物间温差为零所需供给的热量为纵坐
氧化物蒸发镀膜材料
氧化物蒸发镀膜材料材料名称 三氧化二铝 化学符号 Al2O3 纯度 99.99% 熔点 (oC) 2045 1620 820 2600 2600 2435 1326 2812 1565 1565 2350 密度 透明波段 (g/ cm3) 4 8.9 7.3 7.3 5.2 6.3 9.7 7.1 5.24 7.4 折射率 规格 半透明颗粒(1-3mm, 3-6mm),压片 (Dia10mm) 颗粒,粉末,压片 白色颗粒,压片 (Dia10mm) 黄色颗粒,压片(直径30或10mm) 浅棕色颗粒,压片(直径30或10mm) 性能 适于电子枪蒸发,形成光滑致 密膜层,抗化学腐蚀。 用于镀制透明导电膜。 -用热蒸发或溅射较好。蒸气有 毒。 适于电子枪蒸发或钨舟。 0.17-9um n=1.6-1.65 -0.4um0.4611um 0.4611um -n=2.5 n=2.2 n=2.2 氧化锡掺氧化 (Sb:SnO2)(AT 99.90% 锑 O) 钛酸钡 BaTiO3 99.99% 三氧化二铋 二氧化铈 二氧化铈 三氧化二铬 氧化铜 氧化镝 氧化铒 氧化铕 氧化钆 二氧化铪 氧化钬 三氧化二铟 氧化铟掺氧化 锡 三氧化二铁 四氧化三铁 氧化钆
热重分析实验报告
热重分析法研究材料组成
一、实验目的
1、了解热重分析仪的原理 2、通过实验,学会热重曲线的分析 二、实验原理
热重分析法(TG)是在程序控制温度的条件下测量物质的质量与温度关系的一种技术。热重分析仪主要由炉子、程序控温系统、记录系统等几个部分构成。通过分析热重曲线,我们可以知道样品及其可能产生的中间产物的组成、热稳定性、热分解情况及生成的产物等与质量相联系的信息。
从热重法可以派生出微商热重法,也称导数热重法,它是记录TG曲线对温度或时间的一阶导数的一种技术。实验得到的结果是微商热重曲线,即DTG曲线,以质量变化率为纵坐标,自上而下表示减少;横坐标为温度或时间,从左往右表示增加。DTG曲线的特点是,它能精确反映出每个失重阶段的起始反应温度,最大反应速率温度和反应终止温度;DTG曲线上各峰的面积与TG曲线上对应的样品失重量成正比;当TG曲线对某些受热过程出现的台阶不明显时,利用DTG曲线能明显的区分开来。
热重法的主要特点,是定量性强,能准确地测量物质的质量变化及变化的速率。根据这一特点,可以说,只要物质受热时发生质量的变化,都可以用热重法来研究。 三、仪器和试剂
热失重分析仪TG209F1 德国NETZSCH公司 试样(
Abaqus热分析实验报告
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(一)创建部件
1:模块:部件
2:点击创建部件工具,弹出创建部件对话框
名称:CUP
模型空间:三维
类型:可变形
形状:实体
类型:旋转
大约尺寸:200
3:点击继续,进入草绘模式,首先应当绘制一条构造线,..
v .. .
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然后为旋转实体绘制如下截面草图
4:点击完成,选择上一步创建的构造线作为中心线,弹出编辑旋转对话框,将角度修改为360度
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v .. .
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5:点击确定,旋转的结果如下
(二)定义材料和截面属性
1:模块:属性
2:点击创建材料工具,弹出编辑材料对话框
名称:steel
通用→密度,将密度修改为7.85e-9
力学→弹性→弹性,将杨氏模量修改为 2.1e5,泊松比改为0.3
热学→传导率,将传导率修改为36
热学→比热,将比热修改为9e8
点击确定
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v .. .
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3:点击创建截面工具
名称:Section-1
类别:实体
类型:均质
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4:点击继续,弹出编辑截面对话框,材料为steel,点击确定
5:点击指派截面工具,框选整个模型为要指派截面的区域
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6:点击完成,弹出编辑截面指派对话框,选取默认设置,点击确定
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(三
热网水力工况实验报告
实验一 热网水力工况实验
一、实验目的 1.了解不同水力工况下热网水压图的变化情况,巩固热水网路水力工况计算的基本原理。 2.能够绘制各种不同工况下的水压图。
3.了解和掌握热网水力工况分析方法,验证热网水压图和水力工况的理论。 二、实验原理
在室外热水网路中,水的流动状态大多处于阻力平方区。流体的压力降与流量、阻抗的关系如下:
流体压降与流量的关系 ?P?SV2 ?H?SHV2
并联管路流量分配关系 V1:V2:V3?水力失调度 X?V变V正常?1s1?P变:1s2?:1s3
?H变?H正常?P正常式中 ?P——管网计算管段的压力降,Pa;
?H——管网计算管段的水头损失,mH2O;
3
V——网路计算管段的水流量m/h;
S——管路计算管段的阻力数,Pa/(m3/h)2; SH——管路计算管段的阻力数,mH2O/(m3/h)2;
V变— 工况变化后各用户的流量m3/h;
V正常— 正常工况下各用户的流量m3/h; ?P变?H变,— 工况变化后各用户资用压力; ?P正常?H正常,— 正常工况下各用户的资用压力;
三、实验设备及实验装置
1、测压玻璃管 2、阀门 3、管网(
实验报告一-热重分析
南昌大学实验报告
学生姓名: 学 号: 专业班级: 实验类型:■ 演示 □ 验证 □ 综合 □ 设计 □ 创新 实验日期: 实验成绩:
实验一 热重分析
一、实验目的
1. 了解热重分析的仪器装置及实验技术。 2. 测绘矿物的热重曲线,解释曲线变化的原因。
二、实验基本原理
物质受热时,发生化学反应,质量也就随之改变,测定物质质量的变化就可研究其变化过程。热重法(TG)是在程序控制温度下,测量物质质量与温度关系的一种技术。热重法实验得到的曲线称为热重曲线(即TG曲线)。TG曲线以质量作纵坐标,从上向下表示质量减少;以温度(或时间)为横坐标,自左至右表示温度(或时间)增加。
热重法的主要特点是定量性强,能准确地测量物质的变化及变化的速率。热重法的实验结果与实验条件有关。但在相同的实验条件下,同种样品的热重数据是重现的。
1/万电子天平温度控制器管式电阻炉温控热电偶
图1 热重分析原理图 图2 TG曲线
三、主要仪器设备及耗材
主要设
实验报告一-热重分析
南昌大学实验报告
学生姓名: 学 号: 专业班级: 实验类型:■ 演示 □ 验证 □ 综合 □ 设计 □ 创新 实验日期: 实验成绩:
实验一 热重分析
一、实验目的
1. 了解热重分析的仪器装置及实验技术。 2. 测绘矿物的热重曲线,解释曲线变化的原因。
二、实验基本原理
物质受热时,发生化学反应,质量也就随之改变,测定物质质量的变化就可研究其变化过程。热重法(TG)是在程序控制温度下,测量物质质量与温度关系的一种技术。热重法实验得到的曲线称为热重曲线(即TG曲线)。TG曲线以质量作纵坐标,从上向下表示质量减少;以温度(或时间)为横坐标,自左至右表示温度(或时间)增加。
热重法的主要特点是定量性强,能准确地测量物质的变化及变化的速率。热重法的实验结果与实验条件有关。但在相同的实验条件下,同种样品的热重数据是重现的。
1/万电子天平温度控制器管式电阻炉温控热电偶
图1 热重分析原理图 图2 TG曲线
三、主要仪器设备及耗材
主要设
对流给热系数测定实验报告
实验名称:
对流给热系数测定实验
一、 实验目的
1. 测定水蒸汽在圆直水平管外冷凝给热系数α0及冷流体(空气或水)在圆直水平管内的强制对流给热系数αi。
2. 观察水蒸汽在圆直水平管外壁上的冷凝状况。 3 掌握热电阻测温方法。
4 掌握计算机自动控制调节流量的方法。
5 了解涡轮流量传感器和智能流量积算仪的工作原理和使用方法。 6 了解电动调节阀 压力传感器和变频器的工作原理和使用方法。 7 掌握化工原理实验软件库的使用。
二、实验装置流程示意图及实验流程简述
2途经阀○6、阀○7由蒸汽分布管进入套管换热器的环隙通道,冷凝水蒸汽自蒸汽发生器○
9、阀○8排入水沟。 水由阀○
4或电动调节阀○5、12控制的旋涡气泵产生的空气依次经过阀○冷流体水或来自由变频器○
13、10进入套管换热器的内管,涡轮流量计○水或空气流量调节阀○被加热后排入下水道或放空。
三、简述实验操作步骤及安全注意事项
空气~水蒸汽系统
1. 开启电源。依次打开控制面板上的总电源、仪表电源。
1, 调节手动调节阀○10使风量最大。 2. 启动旋涡气泵○
9、阀○8,排除套管环隙中积存的冷凝水,然后适当关小3. 排蒸汽管道的冷凝水。打开阀○
8,注意阀○8不能开得太大,否则蒸气泄漏严重。