pecvd是什么工艺

PECVD工艺

7.1 CVD工序的目的

7.2 CVD工艺的基本原理

7.3 CVD的设备构成和主要性能指标

7.4 CVD 工序的主要工艺参数和工艺质量评价 7.5特种气体供应管理系统

7.1 CVD工序的目的

7.1.1 CVD目的

在一定压强、温度条件下输入高频电压使气体源电离形成等离子体，在基板表面发生气相化学反应，生长出各种功能薄膜。

A(g) + B(g) energy C(s) + 副产物 7.1.1.1 CVD film介绍

Film G-SiNX（GH&GL） a-Si（AH&AL） na-Si（NP） P-SiNX（PV）

＋Gas SiH4+NH3+H2 SiH4+H2 SiH4+PH3+H2 SiH4+NH3+H2

7.1.1.2各层薄膜的功能

1. G: Gate SiNx （绝缘层） 作用：防止M1与I层导通

2. a-Si （半导体） 作用：导通层，电子在该层产生

3. N: N+ a-Si （掺杂半导体）

作用：降低界面电位差，降低I层与M2之间的电位差 4. Passivation

设备工艺调试（扩散 ＰＥ）

扩散调试（针对喷淋、串级控制、压力补偿设备）

工艺调试前的准备工作

１ 压力补偿功能是否正常运行 压力平衡系统调试

压力平衡主要由压力传感器、压力控制器、流量计组成。 压力传感器调试

压力传感器有两个气体压力检测口

一个与大气相通<1>一个与反应管相通<2><1>直接空开、<2>通过PFA管与热偶管相连。 注意不要将两个接口接反，检验方法：可以用口对准其中一个吹气可以发现控制器检测值增大否则可能接反了。 2 流量计调试

同时按“ENT”和“?”进入参数设定模式。（3秒以上） C03 值选为1

流量计出气口要接到石英连接器上，即补气口（将原来排废管上的补气口堵上）。 3 压力控制器

常按“set”ATU设为1时自整定，在设备连接好时进行补气时，将该值设定成1进行自整定（类似温度控制PID整定）

OLH为限幅输出，一般设定为20%，（即在补气时流量计瞬时值不要超过10L/min） 如果压力控制器变化太快可以将延时设置成五（DF）

在STOP模式下边按SET边按R/S键4秒以上，进行工程技术模式： F00 MODE=128

F21 INP=35 PGDp=0 PGSH=1000 SLH=1000 F60 CMP

成都启恩广告

灯箱布是由PVC材料和网状导光纤维组合而成，具有柔韧性好，透光均匀，便于分割、拼接、托运，户外安装简单等特性，特别适合彩色喷绘。根据户外使用的要求，灯箱布可达到防水、抗霉变、阻烯、抗寒热、抗紫外线等功效。由于灯箱布的抗台风能力较强，因此，特别适合制作大型户外广告招牌。虽然目前灯箱布在外面都可以看见，但是很多人对灯箱布还不是很了解，那下面就跟着成都启恩广告有限公司一起来看看灯箱布的制作工艺是什么。

灯箱布按透光率和光源的位置分为后打光灯箱布、前打光灯箱布和网格布三种。

后打光灯箱布用来制作后置光源灯箱，其透光率一般在25%~35%之间。此类灯箱以中、小型偏多，多用来制作路边灯箱，商店门头灯箱和室内宣传灯箱。一般面积较小，不超过100m2。

前打光灯箱布用来制作前置光源灯箱，其透光率一般在5%~10%之间。此类灯箱由于抗台风能力更强，所以多用来制作大型户外灯箱，如大厦广告牌、高

成都启恩广告

速路旁灯箱、城市擎天柱灯箱。目前在中国100-400m2之间的大型户外灯箱多采用此类灯布。

网格布是按台湾、福建等台风气候地区设计制作的，由于此类材料表面密集排列着许多网眼，可以使风透过灯布表面，因此可以大大降低台风对灯箱的压力，使画面达到更长久

赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司 文件编号 文件名称 管式PECVD工艺流程 生效日期 页码 第1 页 共6 页 一、目的

制定管式PECVD工序工艺流程规范，作为工艺人员工作依据，保证镀膜质量。 二、适用范围

管式PECVD工序所有工艺人员。 三、工艺人员职责

3.1 负责管式PECVD工序生产工艺运行的正常性、稳定性。

3.2负责部门内工艺运行原始资料的累积，保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺 异常。

3.3 负责应对管式PECVD设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。 四、名词定义

4.1 PECVD：即等离子增强化学气相沉积，在外加能量的作用下，NH3、SiH4发生电离，反应后在硅片表面生成SiN薄膜。

4.2 管式PECVD：区别于板式PECVD，镀膜过程中，硅片插在石墨舟中，由SiC桨送入石英炉管内进行镀膜，因此称为管式PECVD。此种镀膜方式中，石墨舟及硅片是作为电极的一部分参与镀膜，在外加高频电源的作用下，石墨舟片之间形成电场，将通入的SiH4和NH3电离，在硅片表面反应生成SiN膜。 五、工作内容

5.1 PECVD工序产品检验点

5.1.1 镀膜后过程

〇是什么？〇是太阳，火红火红的太阳，带给我们温暖。

〇是什么？〇是各种各样的球，带给我们欢乐。

〇是什么？〇是盘子，带给我们美味的食物。

〇是什么？〇是笑脸，我们人人爱。

〇是什么？〇是八月十五的月亮，带给我们温馨。

〇是什么？〇是泡泡，带给我们乐趣。

〇是什么？〇是数学当中的零，表示什么都没有。

西控公司（存续企业）五年发展规划

中航工业西控

二Ο一Ο年

目 录

一、西控公司基本情况 ............................................................................ 3 （一）单位概况 ........................................................................................ 3 （二）民品业务基本情况 ........................................................................ 5 （三）GE矩阵综合分析 ......................................................................... 11 二、西控公司发展环境分析 .................................................................. 13 （一）具有实施的必要性 ...................................

篇一：pr是什么

粗浅地说网站的PR值大约可以总结为：

1、假若一个网页被其他(网站或网页)引用多次，那么这个网页就是“重要”的。

假若你的一个网页被多次引用或许被多个网页都“单独”地指向了它(单向联接)。高质量的入链数量可观，那么这个页面就是比较重要的，它就有了必定的分量。

2、假若用户翻开某一个页面后按照其时页面的引导联接字样“向前看”(类似下一个/下一页)，那么用户向前看的几率也就是对政策页面的“重要性”的一个小政策(倾向越大政策越重要)。

建议和我一样的新手们，在每一个页面的适合方位适量地放置相关的引导联接字样，数量不宜过多、并且政策页面也要和其时页面有相关性，假若：其时是谈论电脑硬件的页面，你某个联接字样联接到一个引见白血病的网页，就有点“瞎说”了。(紧记：相关性很重要)。

继续分析影响网页PR值的要素：

都知道PR值从数字0到数字10，由于PR值指的是网页的权重而不是整个站点的权重，所以假若看到首页和二级频道页的PR值不一样的情况是正常的(无需大惊小怪哦)。从网站的角度来说，PR<3是有点可怜的，有待极力哦，PR=3是基础、是初步， PR=4算及格、网页还好啦，PR=5基本上可以说是“不负我心”出色的情况了，PR>=6差不多可以用优良来称谓这个

半导体材料结课论文——PECVD技术浅论

PECVD——等离子体增强化学气相沉积法浅论

半导体材料学中，硅材料可谓材料之王，而硅材料的一项重要应用就是制作单晶硅太阳能电池。在单晶硅太阳能太阳能电池制造中，最重要的工艺之一是在太阳能电池的表面沉积上一层减反射膜。以达到减反射和钝化作用。相比较在低温条件下沉积SiNx薄膜的PECVD工艺，是沉积这层减反射膜的最佳工艺方法，这样能起到表面钝化还有体内钝化以及减反射的效果。

PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）技术原理利用低温等离子体做能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。

在研究PECVD之前要先了解CVD技术，CVD核心是一种利用化学反应方式,将反应物(气体)生成固态的产物,并沉积在基片表面的薄膜沉积技术。如可生成：导体，W(钨)等;半导体，Poly-Si(多晶硅), 非晶硅等;绝缘体(介电材质)，SiO2, Si3N4等.

而为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这

策划是什么?策划就是人将知识进行组合，创造“智力成果”的一个过

程。这个定论，符合从事企业策划和文化策划类别，也符合策划的本质特征。不管是物质或精神的产品，都是一

种智力成果，而前期谋划或计划或思维最后变成现实的这个过程就是策划。 策划是什么?什么样的策划才是科学的策划?人们用什么样的方式才能达到策划目的?

知识是前人留下来的先进技能和技术，策划是什么，策划是知识创新的智能钥匙。前者是静态，后者是动态，前者是历史的，后者是未来的，静态+动态、历史+未来，就可以产生质的飞跃。 知识的首要问题是创新，人们试图在寻找创新的钥匙，要提高生产效率，促进生产力的发展，用什么手段可以变成现实。在研究许多企业的个案中，我们是否可以用这样一种理念概括：知识+策划二财富

策划是一种能力，它是一种谋略，，一种技巧，一种手段，一个计划，一次革命，如果说知识是前人留下的先进的生产和生活，那么，策划就是掌握这些技巧后同时会运用这些知识的能策划是知识的上层建筑知识是策划的必备基础策划人必须掌握知识，而且应该掌握广阔的多种知识的人,一个成功的策划人，往往是一个复合型人才。没有知识的人从事策划显然是盲人摸象。

理解知识与策划的关系，也回答

　　幸福是什么？幸福是个迷，一万个人来回答，一万个答案。幸福是一种心态，一种满足，一种珍惜，

　　老子说：无为而治，顺其自然，不可强求，幸福就是取决于个人的心态。

　　罗素说，幸福是永远相对的，因为宝贵而珍惜，因为珍惜而幸福，这永远是获得幸福的真理。

　　孩子们说：幸福是好玩的玩具，幸福是周末的假期，有好吃的糖果与朋友的分享，有漂亮的新衣裳可以炫耀，有爸爸妈妈的陪伴，这些就是孩子们的幸福。

　　父母说：幸福是有子女陪伴在身旁，子女比他们过的好。幸福是每天子女都回家，幸福是一家几口围着一张桌子有说有笑吃饭，洋溢着温馨的笑容和话语。

　　病人说，幸福是远离疾病和痛苦，幸福是早日康复，永远健康，幸福是舒展身心地自由呼吸

　　新鲜空气。幸福是宁静、安康、温馨。

　　要问我幸福是什么，幸福就是清晨睡眼惺忪的醒来，第一眼看见的是枕边人熟睡的脸庞；

　　要问我幸福是什么，幸福就是上班疲累一天下班回家，有爱人递给你一块热毛巾，擦拭你那紧绷的脸颊；

　　要问我幸福是什么，幸福就是爱人那脸上幸福的笑容，爱人的小动作，小嘴嘟起，头偏向一边，夹带着一声开心的‘哼’。

　　幸福是什么，幸福就是一个小小的成就，幸福就是一个简单的拥抱，幸福就是一句轻声的安慰，幸福就是