真空蒸镀的原理

真空蒸镀

真空蒸镀法（简称真空蒸镀）是在真空室中，加热蒸发器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸气流，入射到基体表面，凝结形成固态薄膜的方法。由于真空蒸镀法主要物理过程是通过加热蒸发材料而产生，所以又称热蒸发法。采用这种方法制造薄膜，已有几十年的历史，用途十分广泛。

介绍蒸发原理、蒸发源的发射特性、膜厚测量与有关蒸发的工艺技术。

§1—1真空蒸发原理

真空蒸镀的特点、原理与过程

真空蒸镀设备比较简单、操作容易；制成的薄膜纯度高、质量好，厚度可较准确控制；成膜速率快、效率高，用掩模可以获得清晰图形；薄膜的生长机理比较单纯。主要缺点是，不容易获得结晶结构的薄膜，所形成薄膜在基板上的附着力较小，工

艺重复性不够好等。

图1-1为真空蒸镀原理示意图。主要部分有：（1）真空室，为蒸发过程提供必要的真空环境；（2）蒸发源或蒸发加热器，放置蒸发材料并对其进行加热；（3）基板，用于接收蒸发

物质并在其表面形成固态蒸发薄膜；（4）基板

图1-1 真空蒸发镀膜原理示意图

加热器及测温器等。

真空蒸镀包括以下三个基本过程：

（1）加热蒸发过程。包括由凝聚相转变为气相的相变过程。每种蒸发物质在不同温度时有不相同的饱和蒸气压；蒸发化合物时，其组分之间

电容式薄膜真空计的工作原理图

根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。

图20 零位法薄膜真空计的结构原理图

图20示出了零位法电容式薄膜真空计的结构原理图。它由电容式薄膜规管、测量电桥电路、直流补偿电源、低频振荡器、低频放大器、相敏检波器和指示仪表等组成。

电容式薄膜规管的中间装着一张金属弹性膜片，在膜片的一侧装有一个固定电极，当膜片两侧的压差为零时，固定电极与膜片形成一个静态电容C0，它与电容C1串联后作为测量电桥的一条桥臂，电容C2、C3和C4与C5的串联电容组成其它三条桥臂。

金属弹性膜片将薄膜真空规管隔离成两个室，分别为接被测真空系统的测量室和接高真空系统(pb<10-3Pa)的参考压力室。在这两个室的连通管道上设置一个高真空阀门7。测量时，先将阀门7打开，用高真空抽气系统将规管内膜片两侧的空间抽至参考压力pb。同时调节测量电桥电路，使之平衡，即指示仪表指零。然后，关闭阀门7，测量室接通被测真空系统。当被测压力Pl>Pb时，由于规管中的压力差p1-pb，膜片发生应变引起电容C0改变，破坏了测量电桥电路的平衡，

指示仪表上亦有相应的指示。调节直流补偿电源电压对电容C0充电，使其静电力与压差相等，此时，电桥电路重新达到平衡，指示仪

真空灭弧室是真空断路器的核心部件,配套于相应的开关设备,广泛应用于电力、冶金、化工、煤况、铁道等输配电系统中,起控制与保护作用。本文介绍了真空灭弧室的基本结构及其工作原理。

一、真空灭弧室基本结构

组成真空灭弧室的主要结构件为绝缘外壳、动静盖板、触头、波纹管、屏蔽罩、动静导电杆、导向套等，分别根据相应的功用选用不同的材料，采用真空钎焊工艺将相应的零部件封接成密闭的真空腔室，借助真空优良的绝缘性能与熄弧性能，在切断电源后能迅速熄弧并抑制电流，

1、 结构简图

1—静端盖板 2—主屏蔽罩 3—动静触头 4—波纹管

5—动端盖板 6—静导电杆 7—绝缘外壳 8—动导电杆

2、 各个主要零部件的作用

1） 绝缘外壳

一般选用Al2O3陶瓷管壳。Al2O3陶瓷材料具有优异电绝缘性能、较高的机械强度、高温下不易分解与蒸发等一系列优点，即能保证真空灭弧室在生产及运行过程中的气密性又不易损坏。

2）波纹管

真空灭弧室是真空断路器的核心部件,配套于相应的开关设备,广泛应用于电力、冶金、化工、煤况、铁道等输配电系统中,起控制与保护作用。本文介绍了真空灭弧室的基本结构及其工作原理。

波纹管是真空灭弧室中不可缺少的重要元件。是唯一可动的外壳部分，因此它的作用也称为

真空皮带脱水机

产品说明：

该产品结合国内外真空皮带脱水机的优缺点，加以吸收和改进，自主研发了HD-TSJ型真空皮带脱水机，具有过滤效率高、洗涤效果好、滤布再生彻底、控制水平高、使用维护方便等优点。

■ 主要特点： 1）真空盒采用FRPP制造，防腐蚀性能好，内壁光滑不易结垢。

2）真空箱与胶带间设有环形摩擦带，并以水进行密封和润滑，可维持稳定、较高的真空度，有利于稳定的操作工艺条件。

3）整体结构采用了模块化设计，可灵活组装，且便于运输和安装。

4）设有汽水分离器，可实现零位差自动排液或高位差排液，以满足各种工况条件的要求。 5）设有全自动纠偏装置，可确保滤布稳定运行。

6）滤饼及滤布冲洗水箱液位自动控制，进水与溢流自动完成。

7）根据进料量自动调节胶带速度，使设备始终保持最佳工作状况。设有故障报警装置。

8）控制系统应用了PLC技术，可实现设备运行的PID调解，设备运行的安全保障及设备的过程监控。

■ 工艺流程图：

■ 参数表：

■ 真空皮带脱水机主要配件： 1、橡胶过滤带

橡胶过滤带又名真空皮带是与水平橡胶带式真空过滤机（真空皮带机）配套的关键部件。骨架材料选用性能优异的聚酯帆布或涤纶布，具有强力高、耐酸碱、耐热、耐油、耐寒等特点。

鍍前處理和鍍后處理

A:定義

? 鍍前處理 preplating

為使制件材質暴露出真實表面和消除內應力及其他特殊目的所需除去油污﹑氧化物及內應力等種種前置處理。 ? 鍍后處理 postplating

為使 鍍件增強防護性能﹑裝飾性及其他特 殊目的進行的(如鈍化﹑熱溶﹑封閉和除氫等等)電鍍后置技朮處理。

B:方式

? 化學拋光 chemical polishing

金屬制件在一定的溶液中進行處理以獲得平整﹑光亮的過程。也叫化學研磨。它是用特定的無機酸﹐在表面形成不溶性鹽﹐添加某種有機物將之變成可溶性鹽﹐且在凹部增厚﹐抑制溶解﹔击部優先溶解﹐形成光滑面。 ? 化學除油 alkaline degreasing

借皂化和乳化作用在鹼性溶液中清除制件表面油污的過程。 ? 電拋光 electropolishing

金屬制件在合適的溶液中進行陽極極化處理以使表面平滑﹑光亮的過程。制件連接于陽極﹐陰極用適當的金屬﹐在適當的溶液中電解﹐在當的電解條件下﹐制件表面的击部迅速溶解﹐使表面變平滑。 ? 電解除油 electrolytic degreasing

金屬制件作為陽極或陰極在鹼溶液中進行電解以清除制件表面油污的過程。

? 電解浸蝕 electr

水环式真空泵工作原理

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一、用途及使用范围

SK系列水环工真空泵及压缩机是用来抽吸或压送气体和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空或压力，从而满足具体工艺流程要求的设备。吸入或压送的气体中允许含有少量液体。

SK系列水环式真空泵及压缩机广泛应用于机械、石油、化工、制药、食品、陶瓷、制糖、印染、冶金、环保及电子等行业。

由于在工作过程中，该类泵对气体的压缩是在等温状态下进行的，因此在压送或抽吸易燃、易爆的气体时，不易发生危险，所以其应用更加广泛。

泵型号说明。例如：SK-122i2J

SK表示为水环真空泵；12表示该泵的最大抽气量为12m3/min（立方米/分钟）

二、工作原理

叶轮3偏心地安装在泵体2内，起动时向泵内注入一定高度的水作为工作液，当叶轮3按图示方向旋转时，水受离心力的作用在泵体内壁形成一旋转的封闭水环5，水环上部内表面与轮毂相切，水环的下部内

螺杆真空泵工作原理及优势

螺杆真空泵工作原理及优势

信息由：寿力螺杆真空泵（/vs.html）提供

一、螺杆真空泵的工作原理

螺杆真空泵是把两个经过严格动平衡校正、用轴承做支撑的螺杆，安装在泵腔内，并在两个螺杆之间留下合理的空隙。此设备在运转的时候，两个转子在泵腔内作同步高速反向旋转，由此来产生吸气和排气。因为转子经过严格的动平衡校正，并且两个轮子间也留下了合理的间隙，因此泵工作时，转子不会相磨擦，运转平稳，噪音低，并且工作腔内不需润滑油，消耗功率低，具有节能，免维修等优点，特别适用于要环境及噪音要求比较高的环境。如图所示：

二、国内螺杆真空泵现状分析

近年来螺杆真空泵的市场需求量越来越明显，老式的真空泵现在无法满足抗腐蚀和环保的要求，很多无油式真空泵和耐腐蚀性强的真空泵慢慢替代了以前的老产品，真空泵的不断发展中正经受严格的考验，用户对企业的生产经营方式也越来越有针对性，生产设备的选用也越来越概念化，环保意识的增强，让很多企业都提升了对新设备的关注。

在国内基本上具体有一定规模的真空泵生产厂家，都迈进了研发螺杆真空泵的领域，因为市场经济的迫切需求，对于生产厂家来说，不开发新型产品必定会被市场所淘汰，真空行业的发展一直与各行业有着密不可分的关系，如果这种具有

鍍前處理和鍍后處理

A:定義

? 鍍前處理 preplating

為使制件材質暴露出真實表面和消除內應力及其他特殊目的所需除去油污﹑氧化物及內應力等種種前置處理。 ? 鍍后處理 postplating

為使 鍍件增強防護性能﹑裝飾性及其他特 殊目的進行的(如鈍化﹑熱溶﹑封閉和除氫等等)電鍍后置技朮處理。

B:方式

? 化學拋光 chemical polishing

金屬制件在一定的溶液中進行處理以獲得平整﹑光亮的過程。也叫化學研磨。它是用特定的無機酸﹐在表面形成不溶性鹽﹐添加某種有機物將之變成可溶性鹽﹐且在凹部增厚﹐抑制溶解﹔击部優先溶解﹐形成光滑面。 ? 化學除油 alkaline degreasing

借皂化和乳化作用在鹼性溶液中清除制件表面油污的過程。 ? 電拋光 electropolishing

金屬制件在合適的溶液中進行陽極極化處理以使表面平滑﹑光亮的過程。制件連接于陽極﹐陰極用適當的金屬﹐在適當的溶液中電解﹐在當的電解條件下﹐制件表面的击部迅速溶解﹐使表面變平滑。 ? 電解除油 electrolytic degreasing

金屬制件作為陽極或陰極在鹼溶液中進行電解以清除制件表面油污的過程。

? 電解浸蝕 electr

真空皮带脱水机

产品说明：

该产品结合国内外真空皮带脱水机的优缺点，加以吸收和改进，自主研发了HD-TSJ型真空皮带脱水机，具有过滤效率高、洗涤效果好、滤布再生彻底、控制水平高、使用维护方便等优点。

■ 主要特点： 1）真空盒采用FRPP制造，防腐蚀性能好，内壁光滑不易结垢。

2）真空箱与胶带间设有环形摩擦带，并以水进行密封和润滑，可维持稳定、较高的真空度，有利于稳定的操作工艺条件。

3）整体结构采用了模块化设计，可灵活组装，且便于运输和安装。

4）设有汽水分离器，可实现零位差自动排液或高位差排液，以满足各种工况条件的要求。 5）设有全自动纠偏装置，可确保滤布稳定运行。

6）滤饼及滤布冲洗水箱液位自动控制，进水与溢流自动完成。

7）根据进料量自动调节胶带速度，使设备始终保持最佳工作状况。设有故障报警装置。

8）控制系统应用了PLC技术，可实现设备运行的PID调解，设备运行的安全保障及设备的过程监控。

■ 工艺流程图：

■ 参数表：

■ 真空皮带脱水机主要配件： 1、橡胶过滤带

橡胶过滤带又名真空皮带是与水平橡胶带式真空过滤机（真空皮带机）配套的关键部件。骨架材料选用性能优异的聚酯帆布或涤纶布，具有强力高、耐酸碱、耐热、耐油、耐寒等特点。

剩余氨水蒸氨工艺探讨

摘要 分别介绍了水蒸气蒸氨工艺、导热油加热间接蒸氨工艺、管式炉加热间接蒸氨工艺以及水蒸气加热间接蒸氨工艺的工艺流程和特点。国内大多采用水蒸气直接蒸氨工艺，该工艺成熟、简单安全；导热油加热间接蒸氨工艺、管式炉加热间接蒸氨工艺相对较为复杂，但降低了蒸氨废水排放量，在节能减排、增加效益方面有很大的优势。并对蒸氨过程中采用的塔盘形式和性能及塔设备的材质进行了分析比较，可为企业在选择蒸氨工艺及塔设备时提供参考。

关键词 剩余氨水 蒸氨工艺 引 言

蒸氨是将焦化工序产生的化工分离废水和剩余氨水进行蒸馏，通过蒸氨处理后，降低其NH3—N含量，为下一步生化处理进行必要的前期处理。目前，国内大多采用水蒸气蒸氨的工艺，这种工艺具有工艺成熟的特性。另外，也已经出现了一些新的蒸氨工艺：导热油加热间接蒸氨工艺和管式炉加热间接蒸氨工艺以及水蒸气加加热间接氨工艺法等。降低生产成本、节能减排，已经成为国家和企业均十分重视的课题，焦化企业合理选择蒸氨工艺及其相关塔设备有着常重要的意义。 内 容 1 蒸氨工艺

1.1 水蒸气直接蒸氨工艺

剩余氨水经除油后，作为蒸氨的原料氨水，进料经氨水换热器换热升

1

温后，从蒸氨塔的上部进信，塔底通入饱和蒸