超净高纯电子级氢氟酸

表1 国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2012-7）

序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 2011年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建项目环境影响报告书审批前公示。在现有0.7万吨/年的电子级氢氟酸基础上，再新建2.3万吨/年电子级氢氟酸装置。计划于2011年新建一套1.5万吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化浙江巨化集团凯圣1. 氟化学有限公司凯恒电子材料公司 3 氢装置；2013年新建一套0.8万吨/年UP-S级HF生产装置。2012年初已发布了巨化0.7 1.5 0.8 ● ● ● 自创 股份关于凯圣公司年产6000吨ppt电子级氢氟酸固定资产投资项目的投资公告。项目采用引进技术，包括原料供应系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过滤系统和成品贮槽系统等内容。项目固定资产投资8300万元，预计2012年10月建成投产。（注：70%的ppt电子级氢氟酸主要用于LED晶圆生产，目前ppt级产品国内基本靠进口。） 浙江蓝苏氟化有限公司由浙江蓝天环保高科技股份有限公司、苏威氟控股(亚太)有限公司合资建立的中外合资企业，注册资金4000万元。公司

表1 国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2012-7）

序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 2011年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建项目环境影响报告书审批前公示。在现有0.7万吨/年的电子级氢氟酸基础上，再新建2.3万吨/年电子级氢氟酸装置。计划于2011年新建一套1.5万吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化浙江巨化集团凯圣1. 氟化学有限公司凯恒电子材料公司 3 氢装置；2013年新建一套0.8万吨/年UP-S级HF生产装置。2012年初已发布了巨化0.7 1.5 0.8 ● ● ● 自创 股份关于凯圣公司年产6000吨ppt电子级氢氟酸固定资产投资项目的投资公告。项目采用引进技术，包括原料供应系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过滤系统和成品贮槽系统等内容。项目固定资产投资8300万元，预计2012年10月建成投产。（注：70%的ppt电子级氢氟酸主要用于LED晶圆生产，目前ppt级产品国内基本靠进口。） 浙江蓝苏氟化有限公司由浙江蓝天环保高科技股份有限公司、苏威氟控股(亚太)有限公司合资建立的中外合资企业，注册资金4000万元。公司

表1 国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2012-7）

序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 2011年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建项目环境影响报告书审批前公示。在现有0.7万吨/年的电子级氢氟酸基础上，再新建2.3万吨/年电子级氢氟酸装置。计划于2011年新建一套1.5万吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化浙江巨化集团凯圣1. 氟化学有限公司凯恒电子材料公司 3 氢装置；2013年新建一套0.8万吨/年UP-S级HF生产装置。2012年初已发布了巨化0.7 1.5 0.8 ● ● ● 自创 股份关于凯圣公司年产6000吨ppt电子级氢氟酸固定资产投资项目的投资公告。项目采用引进技术，包括原料供应系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过滤系统和成品贮槽系统等内容。项目固定资产投资8300万元，预计2012年10月建成投产。（注：70%的ppt电子级氢氟酸主要用于LED晶圆生产，目前ppt级产品国内基本靠进口。） 浙江蓝苏氟化有限公司由浙江蓝天环保高科技股份有限公司、苏威氟控股(亚太)有限公司合资建立的中外合资企业，注册资金4000万元。公司

国内外超净高纯氢氟酸需求分析

1 超净高纯氢氟酸用途

电子级氢氟酸主要是作为清洗剂和蚀刻剂用于光伏产业（光伏电池制造）、集成电路（集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片制造）和玻璃减薄（液晶显示器件制造）等行业，是关键辅助材料之一。在光伏产业中，用于硅片表面清洗、蚀刻；在集成电路和超大规模集成电路制造中，用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等；在玻璃减薄行业中，用于液晶显示器玻璃基板的清洗、氮化硅及二氧化硅蚀刻等。超净高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水、氢氧化铵、氟化铵等配置使用，还可作为分析试剂和制备高纯含氟化学品。

2 国内外超净高纯氢氟酸分类

由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大，从事超净高纯试剂研究与生产的厂家及机构也在增多，生产规模不断扩大，但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同。为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，国际半导体设备与材料组织（SEMI，即Semiconductor Equipment and Materials Intemational）于1975年成立了SEMI化学试剂标准委员会，专门制定超净高纯试剂的国际标准。目前国际SEMI标准化组织将超净高纯试剂按应用范围分为

电子级氢氟酸相关报告

一、电子级氢氟酸概况

1、用途

高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路 (IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。

2、市场情况

随着世界半导体制造业向中国大陆的逐步转移，国内电子级氢氟酸需求量年增长约10％。国内目前仅有四五家企业生产EL级电子级氢氟酸，属电子级的低端产品，在产量、质量方面与进口产品尚有较大差距。

目前氢氟酸的生产主要采用萤石和硫酸反应制备。全球约有一半以上的萤石用于氢氟酸的生产。目前中国已探明萤石储量约1.4亿吨，居全球第一，并且分布相对集中。中国氢氟酸产业就是依靠丰富的萤石资源优势在全球占据重要地位的。随着萤石资源供给紧张的加剧，比利时苏威、法国阿科玛、日本Stella、森田化学和大金以及英国英力士等氟化工巨头均将氢氟酸的生产转向中国，并先后在中国投资成立了氢氟酸工厂。截至2009年底，中国规模以上氢氟酸生产企业已有60多家，总产能约122万吨但是受下游需求疲软影响 2009年中

启东市圆陀角化工有限公司

年提纯26.5吨电子级三氯氧磷（超净高纯试剂）技术

改造项目

环境影响报告书简本

建设单位：启东市圆陀角化工有限公司 环评单位：南通市环境科学研究所

（国环评证乙字第1906号） 2013年7月

1

本简本内容由南通市环境科学研究所编制，并经启东市圆陀角化工有限公司确认同意提供给环保主管部门作圆陀角化工年提纯26.5吨电子级三氯氧磷（超净高纯试剂）技术改造项目环境影响评价审批受理信息公开。启东市圆陀角化工有限公司、南通市环境科学研究所对简本文本内容的真实性、与环评文件全本内容的一致性负责。

2

一、建设项目概况

1.建设项目的地点及背景

启东市圆陀角化工有限公司位于江苏省启东经济开发区滨江精细化工园区内，公司成立于2007年，类型为有限责任公司，法定代表人管汉新。公司占地面积13775平方米，建筑面积1834平方米，现有职工22人，其中工程技术人员4人。

圆陀角化工有限公司现有项目为500吨/年三氯化铁生产、10吨/年冰醋酸提纯项目，项目于2007年12月获得南通市环保局同意建设批文，2008年7月建成运行，2010年5月通过南通市环保局组织的环保验收。

根据公司市场调研结果，电子级三氯氧磷主要用于集成电路(IC)生产和

启东市圆陀角化工有限公司

年提纯26.5吨电子级三氯氧磷（超净高纯试剂）技术

改造项目

环境影响报告书简本

建设单位：启东市圆陀角化工有限公司 环评单位：南通市环境科学研究所

（国环评证乙字第1906号） 2013年7月

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本简本内容由南通市环境科学研究所编制，并经启东市圆陀角化工有限公司确认同意提供给环保主管部门作圆陀角化工年提纯26.5吨电子级三氯氧磷（超净高纯试剂）技术改造项目环境影响评价审批受理信息公开。启东市圆陀角化工有限公司、南通市环境科学研究所对简本文本内容的真实性、与环评文件全本内容的一致性负责。

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一、建设项目概况

1.建设项目的地点及背景

启东市圆陀角化工有限公司位于江苏省启东经济开发区滨江精细化工园区内，公司成立于2007年，类型为有限责任公司，法定代表人管汉新。公司占地面积13775平方米，建筑面积1834平方米，现有职工22人，其中工程技术人员4人。

圆陀角化工有限公司现有项目为500吨/年三氯化铁生产、10吨/年冰醋酸提纯项目，项目于2007年12月获得南通市环保局同意建设批文，2008年7月建成运行，2010年5月通过南通市环保局组织的环保验收。

根据公司市场调研结果，电子级三氯氧磷主要用于集成电路(IC)生产和

1、100 目筛网：100 目筛网是什么意思？ 我在所买材料的 QAC 上找到此图。 哪种粒度 的颗粒会截留在 100 目筛网上？

截留在 100 目筛网上的颗粒粒度取决于筛网本身。 换言之，筛孔数 (#) 表明每英寸线的数量。 筛网的“排料逃孔”不仅取决于筛孔数，同时也与单条线的直径有关。
作为参考值，我们可以假定，100 目的筛网将截留 140 至 180 微米规格的颗粒。 200 目筛网则将截留 70 至 90 微米规格的颗粒。

2、DBPA（邻苯二甲酸二丁酯吸收）： 炭黑的 DBPA 是什么？

炭黑的DBPA用于测量在与 100 克炭黑（cc/100 克）混合时要达到最大转矩所需的邻苯二甲酸二丁酯的量，用立方厘米表示。 DBPA 是炭黑聚集态结构的一项指标。 颗粒数量较多的聚集体与更复杂的聚集体都有很多孔隙，因此需要较高的 DBP（邻苯二甲酸二丁酯）。 当与表面积或粒度指标一起使用时，DBPA 具有很大价值。 完全不同的炭黑等级可具有极为相似的 DBP 值。 将具有相似表面积的炭黑进行比较时，DBP 可用于预测某些化合物性质。 用于 DBPA 的 ASTM 测试编号为 D 2414。

3、DBPA：什么是邻苯二甲酸二丁酯吸

氢氟酸事故案例

因设备、管线、阀门腐蚀而导致的亡人事故

1991年，湖北某厂的无水氟化氢成品贮槽，由于观察液面的视镜突然破裂，槽内的液体氢氟酸大量喷出，致使1人死亡、1人重伤。

2006年8月，某厂操作工在巡视时经过氟化氢罐区，一个法兰连接处泄漏，一股氟化氢液体细流正在喷出（约4米射程），当操作工经过该处时，氟化氢细流打在该操作工左小臂部位，致使小臂和手背灼伤。 2009年5月21日，浙江某氟化学有限公司在送料操作过程中，氢氟酸贮槽顶部的一根衬PTFE的金属软管发生破裂，导致一名操作工灼伤，伤势较重，经抢救无效死亡。 在检修过程中发生的事故：

2006年11月，某厂机修工在检修一段已拆下来的输送氢氟酸的管道时，违规操作，在开启该段塑料管头部的阀门时，阀口对着自己的脸，残留的氢氟酸成雾状从阀门口喷出，致使该机修工脸部灼伤。 1992年，某厂的无水氟化氢贮槽在更换液位计时，操作人员虽按规定已打开放空阀进行泄压，但由于操作不当，余压并未排尽，而检修人员未经检查测试，随即拆卸液位计，致使氟化氢液体喷出，造成2人死亡。

因员工操作不当或应急处置不当而导致的亡人事故：

2010年8月1日，福建某化工有限公司

氢氟酸安全技术说明书第一部分：化学品名称 化学品中文名称： 氢氟酸 化学品英文名称： hydrofluoric acid 技术说明书编码： 961 生产企业名称： 地址： 生效日期： 第二部分：成分/组成信息 有害物成分 氢氟酸 含量 高 55%;低 40% 第三部分：危险性概述 危险性类别： 侵入途径： 健康危害： 对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白，坏死，继而呈紫黑 色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃疡，损及骨膜和骨质。 本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。接触其蒸气，可发生支气管 炎、肺炎等。 慢性影响：眼和上呼吸道刺激症状，或有鼻衄，嗅觉减退。可有牙齿 酸蚀症。骨骼X线异常与工业性氟病少见。 环境危害： 燃爆危险： 本品不燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。 CAS No. 7664-39-3 化学品俗名： 英文名称： CAS No.: 7664-39-3

第四部分：急救措施 皮肤接触： 立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少 15 分钟。就医。 眼睛接触： 立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少 15 分钟。就医。

吸入： 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通