硼扩散工艺原理

第三章 扩散工艺

在前面“材料工艺”一章，我们就曾经讲过一种叫“三重扩散”的工艺，那是对衬底而言相同导电类型杂质扩散。这样的同质高浓度扩散，在晶体管制造中还常用来作欧姆接触，如做在基极电极引出处以降低接触电阻。除了改变杂质浓度，扩散的另一个也是更主要的一个作用，是在硅平面工艺中用来改变导电类型，制造PN结。

第一节 扩散原理

扩散是一种普通的自然现象，有浓度梯度就有扩散。扩散运动是微观粒子原子或分子热运动的统计结果。在一定温度下杂质原子具有一定的能量，能够克服某种阻力进入半导体，并在其中作缓慢的迁移运动。

一．扩散定义 在高温条件下，利用物质从高浓度向低浓度运动的特性，将杂质原子以一定的可控性掺入到半导体中，改变半导体基片或已扩散过的区域的导电类型或表面杂质浓度的半导体制造技术，称为扩散工艺。

二．扩散机构

杂质向半导体扩散主要以两种形式进行： 1．替位式扩散

一定温度下构成晶体的原子围绕着自己的平衡位置不停地运动。其中总有一些原子振动得较厉害，有足够的能量克服周围原子对它的束缚，跑到其它地方，而在原处留下一个“空位”。这时如有杂质原子进来，就会沿着这些空位进行扩散，这叫替位式扩散。硼（B）、磷（P）、砷（As）等属此种扩散。

2．间隙式扩

扩散炉工艺报告

一、太阳能电池板原理介绍：

太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种，如：单晶硅，多晶硅，非晶硅，砷化镓，硒铟铜等。它们的发电原理基本相同，现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型硅，形成P－N结。 当光线照射太阳能电池表面时，一部分光子被硅材料吸收；光子的能量传递给了硅原子，使电子发生了越迁，成为自由电子在P－N结两侧集聚形成了电位差，当外部接通电路时，在该电压的作用下，将会有电流流过外部电路产生一定的输出功率。这个过程的实质是：光子能量转换成电能的过程。晶体硅太阳能电池的制作过程： “硅”是我们这个星球上储藏最丰量的材料之一。

二、硅太阳能电池工作原理与结构：

太阳能电池发电的原理主要是半导体的光电效应，正电荷表示硅原子，负电荷表示围绕在硅原子旁边的四个电子。

当硅晶体中掺入其他的杂质，如硼、磷等，当掺入硼时，硅晶体中就会存在着一个空穴，这个空穴因为没有电子而变得很不稳定，容易吸收电子而中和，形成P型半导体。 同样，掺入磷原子以后，因为磷原子有五个电子，所以就会有一个电子变得非常活跃，形成N型半导体。

P型半导体中含有较多的空穴，而N型半导体中含有较多的电子，这样，当

设备工艺调试（扩散 ＰＥ）

扩散调试（针对喷淋、串级控制、压力补偿设备）

工艺调试前的准备工作

１ 压力补偿功能是否正常运行 压力平衡系统调试

压力平衡主要由压力传感器、压力控制器、流量计组成。 压力传感器调试

压力传感器有两个气体压力检测口

一个与大气相通<1>一个与反应管相通<2><1>直接空开、<2>通过PFA管与热偶管相连。 注意不要将两个接口接反，检验方法：可以用口对准其中一个吹气可以发现控制器检测值增大否则可能接反了。 2 流量计调试

同时按“ENT”和“?”进入参数设定模式。（3秒以上） C03 值选为1

流量计出气口要接到石英连接器上，即补气口（将原来排废管上的补气口堵上）。 3 压力控制器

常按“set”ATU设为1时自整定，在设备连接好时进行补气时，将该值设定成1进行自整定（类似温度控制PID整定）

OLH为限幅输出，一般设定为20%，（即在补气时流量计瞬时值不要超过10L/min） 如果压力控制器变化太快可以将延时设置成五（DF）

在STOP模式下边按SET边按R/S键4秒以上，进行工程技术模式： F00 MODE=128

F21 INP=35 PGDp=0 PGSH=1000 SLH=1000 F60 CMP

扩散炉工艺报告

一、太阳能电池板原理介绍：

太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种，如：单晶硅，多晶硅，非晶硅，砷化镓，硒铟铜等。它们的发电原理基本相同，现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型硅，形成P－N结。 当光线照射太阳能电池表面时，一部分光子被硅材料吸收；光子的能量传递给了硅原子，使电子发生了越迁，成为自由电子在P－N结两侧集聚形成了电位差，当外部接通电路时，在该电压的作用下，将会有电流流过外部电路产生一定的输出功率。这个过程的实质是：光子能量转换成电能的过程。晶体硅太阳能电池的制作过程： “硅”是我们这个星球上储藏最丰量的材料之一。

二、硅太阳能电池工作原理与结构：

太阳能电池发电的原理主要是半导体的光电效应，正电荷表示硅原子，负电荷表示围绕在硅原子旁边的四个电子。

当硅晶体中掺入其他的杂质，如硼、磷等，当掺入硼时，硅晶体中就会存在着一个空穴，这个空穴因为没有电子而变得很不稳定，容易吸收电子而中和，形成P型半导体。 同样，掺入磷原子以后，因为磷原子有五个电子，所以就会有一个电子变得非常活跃，形成N型半导体。

P型半导体中含有较多的空穴，而N型半导体中含有较多的电子，这样，当

扩散炉工艺报告

一、太阳能电池板原理介绍：

太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种，如：单晶硅，多晶硅，非晶硅，砷化镓，硒铟铜等。它们的发电原理基本相同，现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型硅，形成P－N结。 当光线照射太阳能电池表面时，一部分光子被硅材料吸收；光子的能量传递给了硅原子，使电子发生了越迁，成为自由电子在P－N结两侧集聚形成了电位差，当外部接通电路时，在该电压的作用下，将会有电流流过外部电路产生一定的输出功率。这个过程的实质是：光子能量转换成电能的过程。晶体硅太阳能电池的制作过程： “硅”是我们这个星球上储藏最丰量的材料之一。

二、硅太阳能电池工作原理与结构：

太阳能电池发电的原理主要是半导体的光电效应，正电荷表示硅原子，负电荷表示围绕在硅原子旁边的四个电子。

当硅晶体中掺入其他的杂质，如硼、磷等，当掺入硼时，硅晶体中就会存在着一个空穴，这个空穴因为没有电子而变得很不稳定，容易吸收电子而中和，形成P型半导体。 同样，掺入磷原子以后，因为磷原子有五个电子，所以就会有一个电子变得非常活跃，形成N型半导体。

P型半导体中含有较多的空穴，而N型半导体中含有较多的电子，这样，当

第一章农业创新扩散原理Ch1-1农业创新的采用 Ch1-2农业创新的扩散 Ch1-3影响农业创新和扩散的因素

Ch1-1农业创新的采用一、创新的概念和特性二、农民对农业创新的采用过程三、创新采用者分类四、信息来源对创新采用的影响五、采用过程中推广方法的选择

一、创新的概念与特性(一)创新的概念约瑟夫·阿洛伊斯·熊彼得(J·A·Schumpeter), 1939年在他的《资本主义、社会主义和民主主义》中，提出了著名创新理论(innovation theory)。所谓创新，就是建立一种“新的生产函数”,生产函数即生产要素的一种组合比率 P=f (a,b,c,----n),就是将一种从来没有过的生产要素和生产条件的“新组合”引入生产体系。

他将“创新”和“发明”这两个概念严格区分。发明是新技术的发现，而创新则是将发明应用到经济活动中，为当事人带来利润。

农业创新的概念这里说的创新技术并不一定是指客观上新的东西，而是一种在原有基础上发生的变化，这种变化在当时当地被某个社会系统里特定的个体或群体成员主观上认为是解决问题的一种较新的方法。

创新的五种存在形式(1)引进新产品或提供一种产品的新质量 (2)采用新技术或新生产方法

在商品化玻璃生产过程中，氧化硼主要起助熔的作用。当其他性质的要求限定了碱的用量后，往往添加氧化硼来降低熔化、成型和液线温度。与氧化钠和氧化钾不同，氧化硼不仅具有助熔的作用，同时还有助于形成具有高化学耐久性、低热膨胀和低导电性的玻璃制品。

制备

虽然硼在空气和氧气中燃烧都可以直接产生三氧化二硼，但三氧化二硼主要是通过硼酸脱水制取的。在200－400 °C对硼酸真空脱水，可以得到非常干燥的三氧化二硼。如果在大气中脱水，即使加热到1000 °C，也很难去除最后剩下的痕量水。

硼酸则可通过硼砂和硫酸共热反应制取。

现在已广泛使用的玻璃制品主要有：隔声、绝热的玻璃棉、增强 塑料用的玻璃纤维，钢和各种金属基片上的搪瓷，陶瓷釉（例如面砖和餐具上的彩釉），光学玻璃以及各种硼硅酸盐技术玻璃。硼硅酸盐技术玻璃的种类目前很多， 现已成熟使用的有：照明器材，实验室器皿，炊具，医疗器具和液晶显示屏。

1) 在Na2O-SiO2熔体中加入B2O3粘度的变化出现如下曲线关系：

对此现象解释如下：

最初B2O3加入量为零时，由[SiO4]四面体组成网络，由于Na2O拆网使粘度很低；随着B2O3加入量的增加，B3+以四配位（即[BO4]）补网，使得熔体中[BO4]的比例不

注塑工艺介绍

塑注工艺原理实际就是“注塑过程”,“注塑过程”包预括预塑计量,注射充模,冷却定型等过程,下面我们就这几个过程原理进行讲述: 一. 预塑计量过程

预塑计量过程是高分子物料在料筒中进行塑化的过程,是把固态粒料或粉料经过加热、压实、混合,从玻璃态转变为均化的粘流态.所谓“均化”是指聚合物熔体温度均化、粘度均化、密度均化和组分均化,在塑化过程中同时完成了计量程序..由于聚合物的热机性能,因此影响预塑过程的重要因素是热能输入和转换条件. 预塑计量过程的热能来源有三种输入方式:

1. 料筒通过电热元件从外部加热,料筒内的物料能通过热交换和热传导吸收外部的供热,使其软化和熔融,外加热方式使料筒横截面方向及长度方向上产生很大的温度梯度.

2. 物料靠螺杆旋转作用,通过剪切机理和摩擦机理使机械能转化为热能,加热自身使其熔融.

3. 热能输入方式是1和2的结合,塑化时筒内物料一部分靠外部加热,一部分靠螺杆旋转通过机热转换供热.通过加热和机能转换两种输入方式控制塑化过程和塑化质量.预塑时能量平衡条件应满足下式:

总热量=对流热量+传导热量+剪切热量+摩擦热量

在预塑阶段影响聚合物熔体塑化质量的因素主要来自两个方面:

1. 预塑过程有关的工艺参数,如料

注塑工艺介绍

塑注工艺原理实际就是“注塑过程”,“注塑过程”包预括预塑计量,注射充模,冷却定型等过程,下面我们就这几个过程原理进行讲述: 一. 预塑计量过程

预塑计量过程是高分子物料在料筒中进行塑化的过程,是把固态粒料或粉料经过加热、压实、混合,从玻璃态转变为均化的粘流态.所谓“均化”是指聚合物熔体温度均化、粘度均化、密度均化和组分均化,在塑化过程中同时完成了计量程序..由于聚合物的热机性能,因此影响预塑过程的重要因素是热能输入和转换条件. 预塑计量过程的热能来源有三种输入方式:

1. 料筒通过电热元件从外部加热,料筒内的物料能通过热交换和热传导吸收外部的供热,使其软化和熔融,外加热方式使料筒横截面方向及长度方向上产生很大的温度梯度.

2. 物料靠螺杆旋转作用,通过剪切机理和摩擦机理使机械能转化为热能,加热自身使其熔融.

3. 热能输入方式是1和2的结合,塑化时筒内物料一部分靠外部加热,一部分靠螺杆旋转通过机热转换供热.通过加热和机能转换两种输入方式控制塑化过程和塑化质量.预塑时能量平衡条件应满足下式:

总热量=对流热量+传导热量+剪切热量+摩擦热量

在预塑阶段影响聚合物熔体塑化质量的因素主要来自两个方面:

1. 预塑过程有关的工艺参数,如料

丝光工艺原理 §1 引言

一、丝光的含义

1、丝光：棉制品(纱线、织物)在有张力的条件下，用浓的烧碱溶液处理，然后在张力下洗去烧碱的处理过程。

2、碱缩：

棉制品在松驰的状态下用浓的烧碱液处理，使fibre任意收缩，然后洗去烧碱的过程，也称无张力丝光，主要用于棉针织品的加工。

二、丝光与碱缩织物的特点

丝光后：织物发生以下变化

1、光泽提高

2、吸附能力，化学反应能力增强

3、缩水率，尺寸稳定性，织物平整度提高

4、强力、延伸性等服用机械性能有所改变

碱缩虽不能使织物光泽提高，但可使纱线变得紧密，弹性提高，手感丰满，此外，强力及对dye吸附能力提高。

三、工序安排

1、 先漂后丝：

丝光效果好，废碱较净，但白度差，易沾污，适合色布，尤其厚重织物。

2、先丝后漂：

白度好、但光泽差，漂白时fibre易受损伤，适用于漂布，印花布

3、染后丝光：

适合易擦伤or不易匀染的品种(丝光后，织物手感较硬，上染较快)染深色时为了提高织物表面效果及染色牢度，以及某些对光泽要求高的品种，也可采用染后丝光。

4、原坯丝光：

个别深