PECVD工艺中怎么消除金属污染

PECVD工艺

7.1 CVD工序的目的

7.2 CVD工艺的基本原理

7.3 CVD的设备构成和主要性能指标

7.4 CVD 工序的主要工艺参数和工艺质量评价 7.5特种气体供应管理系统

7.1 CVD工序的目的

7.1.1 CVD目的

在一定压强、温度条件下输入高频电压使气体源电离形成等离子体，在基板表面发生气相化学反应，生长出各种功能薄膜。

A(g) + B(g) energy C(s) + 副产物 7.1.1.1 CVD film介绍

Film G-SiNX（GH&GL） a-Si（AH&AL） na-Si（NP） P-SiNX（PV）

＋Gas SiH4+NH3+H2 SiH4+H2 SiH4+PH3+H2 SiH4+NH3+H2

7.1.1.2各层薄膜的功能

1. G: Gate SiNx （绝缘层） 作用：防止M1与I层导通

2. a-Si （半导体） 作用：导通层，电子在该层产生

3. N: N+ a-Si （掺杂半导体）

作用：降低界面电位差，降低I层与M2之间的电位差 4. Passivation

设备工艺调试（扩散 ＰＥ）

扩散调试（针对喷淋、串级控制、压力补偿设备）

工艺调试前的准备工作

１ 压力补偿功能是否正常运行 压力平衡系统调试

压力平衡主要由压力传感器、压力控制器、流量计组成。 压力传感器调试

压力传感器有两个气体压力检测口

一个与大气相通<1>一个与反应管相通<2><1>直接空开、<2>通过PFA管与热偶管相连。 注意不要将两个接口接反，检验方法：可以用口对准其中一个吹气可以发现控制器检测值增大否则可能接反了。 2 流量计调试

同时按“ENT”和“?”进入参数设定模式。（3秒以上） C03 值选为1

流量计出气口要接到石英连接器上，即补气口（将原来排废管上的补气口堵上）。 3 压力控制器

常按“set”ATU设为1时自整定，在设备连接好时进行补气时，将该值设定成1进行自整定（类似温度控制PID整定）

OLH为限幅输出，一般设定为20%，（即在补气时流量计瞬时值不要超过10L/min） 如果压力控制器变化太快可以将延时设置成五（DF）

在STOP模式下边按SET边按R/S键4秒以上，进行工程技术模式： F00 MODE=128

F21 INP=35 PGDp=0 PGSH=1000 SLH=1000 F60 CMP

赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司 文件编号 文件名称 管式PECVD工艺流程 生效日期 页码 第1 页 共6 页 一、目的

制定管式PECVD工序工艺流程规范，作为工艺人员工作依据，保证镀膜质量。 二、适用范围

管式PECVD工序所有工艺人员。 三、工艺人员职责

3.1 负责管式PECVD工序生产工艺运行的正常性、稳定性。

3.2负责部门内工艺运行原始资料的累积，保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺 异常。

3.3 负责应对管式PECVD设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。 四、名词定义

4.1 PECVD：即等离子增强化学气相沉积，在外加能量的作用下，NH3、SiH4发生电离，反应后在硅片表面生成SiN薄膜。

4.2 管式PECVD：区别于板式PECVD，镀膜过程中，硅片插在石墨舟中，由SiC桨送入石英炉管内进行镀膜，因此称为管式PECVD。此种镀膜方式中，石墨舟及硅片是作为电极的一部分参与镀膜，在外加高频电源的作用下，石墨舟片之间形成电场，将通入的SiH4和NH3电离，在硅片表面反应生成SiN膜。 五、工作内容

5.1 PECVD工序产品检验点

5.1.1 镀膜后过程

篇一：教你怎么用Photoshop去掉图片上的字

教你怎么用Photoshop去掉图片上的字

1、打开一幅你想去水印的图，偶就把下面这幅图去掉水印吧：（去水印之前先看有水印的地方背景色，这样才能使用图不分家） 2、在PS左边的工具里找到柜形，如下图： 副标题 大家认真看这个文字哦~ 图三 这里特别注意：鼠标一定要点在柜形里面，要不就不

1、打开一幅你想去水印的图，偶就把下面这幅图去掉水印吧：（去水印之前先看有水印的地方背景色，这样才能使用图不分家）

2、在PS左边的工具里找到柜形，如下图：

大家认真看这个文字哦~ 图三 这里特别注意：鼠标一定要点在柜形里面，要不就不能剪切了~ 3、现在去掉白雪公主的文字：（跟去掉[德]格林兄弟一样的方法） 4、去掉这个英语字有点难度，这里会用到仿图章工具，不过只

大家认真看这个文字哦~

大家认真看这个文字哦

图三 这里特别注意：鼠标一定要点在柜形里面，要不就不能剪切了~3、现在去掉白雪公主的文字：（跟去掉[德]格林兄弟一样的方法）

篇二：如何用ps去掉图片上的文字

如何用ps

去掉图片上的文字

相信大家有时候很想用一些网上得来的漂亮的图片吧，但是有时候图片上会带有了一些我们不需要的文字说明啊，网址啊什么的，这时候我们希望把这些文字去

半导体材料结课论文——PECVD技术浅论

PECVD——等离子体增强化学气相沉积法浅论

半导体材料学中，硅材料可谓材料之王，而硅材料的一项重要应用就是制作单晶硅太阳能电池。在单晶硅太阳能太阳能电池制造中，最重要的工艺之一是在太阳能电池的表面沉积上一层减反射膜。以达到减反射和钝化作用。相比较在低温条件下沉积SiNx薄膜的PECVD工艺，是沉积这层减反射膜的最佳工艺方法，这样能起到表面钝化还有体内钝化以及减反射的效果。

PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）技术原理利用低温等离子体做能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。

在研究PECVD之前要先了解CVD技术，CVD核心是一种利用化学反应方式,将反应物(气体)生成固态的产物,并沉积在基片表面的薄膜沉积技术。如可生成：导体，W(钨)等;半导体，Poly-Si(多晶硅), 非晶硅等;绝缘体(介电材质)，SiO2, Si3N4等.

而为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这

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怎么消除白头粉刺，食疗护理有方法

最近有痘友咨询我 关于粉刺问题。很多人都被粉刺痘痘困扰，今天就来扒一扒~

粉刺

粉刺分为白头粉刺与黑头粉刺，白头粉刺（别名封闭型粉刺），是由于皮脂毛囊口处角质物增生，堆积，阻塞，毛囊漏斗膨胀所形成的白色粟粒大丘疹，表面有表皮覆盖，与外界不相通，成为封闭式粉刺。黑头粉刺是开放型的，表面看是一粒粒黑点，质硬，如果不科学治疗是不能自愈的。说简单点，白头粉刺就是冒出来一粒粒小疹子的痘痘。那么怎么祛除白头粉刺？使用草本配方施氏草本祛痘膏涂抹后，白头粉刺很快瘪下去，也不泛红了。

日常生活护理： 1、温水洗脸

用温水洗脸，因为冷水不容易去除脸上的油脂。 2、选对洁面产品

选择含有水杨酸、控油、抗菌消炎效果好的洁面产品，这类型的产品能预防和减少粉刺

的产生，专业去粉刺、祛痘产品也是不错的选择。

3、每周去角质

白头粉刺的形成其中原因就是角质层的老化堆积过多，肌肤的毛孔被堵塞猪了，导致产生粉刺，所以每周去一次角质，可以加快肌肤的新陈代谢。

4、绿茶去除白头粉刺

绿茶中的单宁算对抗白头粉刺是非常有效的，多喝绿茶可以控制肌肤油脂的过多分泌，很适合油性肌肤的人群。

5、锻炼

锻炼可以让精神得到有效的放松，保持心情愉快，

副乳长在什么位置，怎么消除好？

很多女性朋友都听说过“副乳”，却不知道副乳是什么？通常长在什么位置？有何危害？怎么消除好？下面我们小编依依为大家解答：

副乳是什么？

顾名思义：副乳是指多出来的乳房，通常表现为“内疙瘩”、“肉包”、“赘肉”。有些女性的副乳属于“先天性副乳”，先天性副乳是从娘胎里面带出来的。很多女性以前都没有副乳，可到三十岁左右，慢慢就有副乳了，这就是“后天性副乳”。后天性副乳副乳是因为腋窝淋巴管和淋巴结被乳房代谢物堵塞后，形成局部隆起的类似乳房的形状，另外肥胖、内衣穿戴不正确而引起的副乳只占到8%的概率。

副乳长在什么位置？

副乳大多位于正常乳房的下内侧，或在正常乳房上方靠近腋窝处，少数则见于腹部、腹股沟部、大腿内侧，偶可发生于面颊、耳、颈、上肢、肩、臀、背、外阴等处，易被误认为皮下结节、淋巴结或肿瘤。副乳大多成对出现，对称分布，且大多数患者仅有一对，但也有单个或一对以上者。

副乳有何危害？

副乳不但对女性的性感、美丽、自信有很大的影响，而且严重影响人体健康。

1、很多副乳外观同淋巴结炎症、脂肪瘤相似，容易招致误诊；

2、一些副乳同正常乳房有

篇一：消除信用报告中逾期记录的六大神技

有很多老板最近咨询征信宝(iOS+Android)，朋友或者自己的个人信用报告中的逾期记录怎么消除？

作者征信宝(iOS+Android)Bella，原创首发“征信秘书”微信公众号，未授权转载必究。

征信宝(iOS+Android)回答：一般情况下是消除不了的，因为信用报告是央行负责记录的，按照国家征信相关法律法规，任何人不得随意修改。

如果能消除，那也肯定也是使用的征信宝(iOS+Android)下面总结的史上最全面的，六种不同情况下产生的逾期对应的消除办法，其实是很简单的，快快一起跟着征信宝(iOS+Android)get√新技能吧。转发本文，还能帮助亲友一起学习新技能。

虽然网上很多人可以收费代消除不良信用记录，但很多是骗局，老板们千万不能轻易上当。

还未记录进入征信报告的逾期

这种逾期最重要是要及时处理，及时处理可以避免90%以上的逾期记录，很多朋友就是因为粗心大意，处理不及时，在需要用钱、办卡、买房的时候才后悔，已经晚了。

如果逾期已经发生，但是查询信用报告尚未发现不良记录，这时候千万不要大意。征信报告每月更新一次，如果银行借款发生逾期，迟早是会上征信报告的。这时候需要及时联系银行，及时还款，趁银行未将不良记

怎么消除白头粉刺，食疗护理有方法

最近有痘友咨询我 关于粉刺问题。很多人都被粉刺痘痘困扰，今天就来扒一扒~

粉刺

粉刺分为白头粉刺与黑头粉刺，白头粉刺（别名封闭型粉刺），是由于皮脂毛囊口处角质物增生，堆积，阻塞，毛囊漏斗膨胀所形成的白色粟粒大丘疹，表面有表皮覆盖，与外界不相通，成为封闭式粉刺。黑头粉刺是开放型的，表面看是一粒粒黑点，质硬，如果不科学治疗是不能自愈的。说简单点，白头粉刺就是冒出来一粒粒小疹子的痘痘。那么怎么祛除白头粉刺？使用草本配方施氏草本祛痘膏涂抹后，白头粉刺很快瘪下去，也不泛红了。

日常生活护理： 1、温水洗脸

用温水洗脸，因为冷水不容易去除脸上的油脂。 2、选对洁面产品

选择含有水杨酸、控油、抗菌消炎效果好的洁面产品，这类型的产品能预防和减少粉刺

的产生，专业去粉刺、祛痘产品也是不错的选择。

3、每周去角质

白头粉刺的形成其中原因就是角质层的老化堆积过多，肌肤的毛孔被堵塞猪了，导致产生粉刺，所以每周去一次角质，可以加快肌肤的新陈代谢。

4、绿茶去除白头粉刺

绿茶中的单宁算对抗白头粉刺是非常有效的，多喝绿茶可以控制肌肤油脂的过多分泌，很适合油性肌肤的人群。

5、锻炼

锻炼可以让精神得到有效的放松，保持心情愉快，