sfj261氦质谱检漏仪说明书

使用说明书

SFJ-261 型氦质谱检漏仪

? 皖 仪 科 技

◎ 目 录 ◎

? 1-1概述 二 SFJ-261使用说明书

4

仪器介绍 ..................................................................................................................................... 5 ? 2-1 仪器性能参数

2-1-1 SFJ-261 性能参数

? 2-2仪器使用环境

5 5 6 6

2-2-1 SFJ-261使用环境

? 2-3 仪器结构 7

2-3-1 仪器外观 7 2-3-2 内部结构及部件 8 2-3-3 操作面板 9 ? 2-3-3-1 261面板 ................................................................................................................... 9 ? 2-3-3-2 261外部接口 ...........

HJ-M-187-2009

智能型氦质谱检漏仪校准规程

2009-11-20发布 2009-12-01实施

陕西华燕航空仪表有限公司质量保证部

HJ-M-187-2009

本 规 程 签 署 人 员

编制： 校对： 审核： 审定： 标审： 批准：

发放单位及份数

管理室 仪器仪表室 1 2 长度计量室 理化实验室

HJ-M-187-2009 代替 HJ-M-187-96

智能型氦质谱检漏仪校准规程

1. 范围

本规范适用于我公司使用中及修理后的ZLS-24C型和ZLS-26D/T型氦质谱检漏仪的校准。（法国阿尔卡特的ASM182T型氦质谱检漏仪可参照本规范校准）。 2. 概述

氦质谱检漏仪主要包括参考漏孔、节流阀、质谱室、抽气机组（真空部分）、质谱分析

氦质谱检漏仪基本原理简介

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。 (1)工作原理与结构

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

①单级磁偏转型氦质谱检漏仪

现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。

在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管

LDS2000使用说明书 1 / 111使用说明书

产品号

软件版号

模件式检漏仪

1

LDS2000使用说明书 2 / 111 1 前言1-1

1.1 使用本手册注意事项1-1

1.1.1 安全符号1-1

1.1.2 指示符1-2

1.1.3 真空符号1-2

1.1.4 术语定义1-2

1.2 INFICON服务支持1-3

1.2.1 维修中心1-4

2 安全2-1

2.1 正确使用2-1

2.2 人员2-2

2.3 使用的符号2-3

2.4 责任和保用2-4

2.5 一般安全准则与规定2-4

3 技术参数3-1

3.1 概言3-1

3.2 环境要求3-1

3.3 电源连接3-2

3.4 物理参数3-2

3.4.1 真空方法3-3

3.4.2 吸枪方法3-3

3.5 接口3-4

3.6 涡轮分子泵3-4

3.7 背压泵3-4

3.8 时间响应3-4

4 安装4-1

4.1 开箱4-1

4.2 交货范围4-1

4.3 仪器组件4-2

4.3.1 电子学模件4-4

4.3.1.1 通风4-5

4.3.1.2 键操作开关4-5

4.3.2 操作显示单元4-5

4.3.3 质谱仪模件4-7

4.3.3.1 涡轮分子泵4-8

4.3.3.2 质谱仪4-9

4.3.3.3 离子源4-10

4.3.3.4 分离系统4-10

4.3

机械

氦质谱检漏仪的工作原理

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其质谱原理如图所示。

接收器 离子源

氦离子

重离子

轻离子

氦质谱检漏仪的质谱学原理

灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径

R

144M

10 4U BZ

式中R ——离于偏转轨道半径（cm）

B ——磁场强度（T）

M

——离子的质（量）／（电）荷比（正整数） Z

U ——离子加速电压（V）

由上式可知，当R、B为定值时，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而

被检测。

地址：安徽合肥市长江西路669号创业中心F8栋 邮编：230088

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网址： E-mail:hfwykj@

目前氦质谱检漏仪的发展及其应用

目前氦质谱检漏仪的发展及其应用

在科学技术的不断发展的时代，氦质谱及其应用技

济宁蓬锐检测仪器有限公司

地 址：济宁市经济技术开发区

张 经 理：13518678008 电 话：0537-5151100

RY-6型电火花检漏仪

使 用 说 明 书

济宁蓬锐检测仪器有限公司

目 录

一． 概述 二． 主要技术参数 三． 检测原理及结构简述 四． 操作步骤 五． 充电 六． 注意事项 七． 仪器及附件

图4

检测电压附表

防腐材料 防腐层厚度检测电压（KV） 备注 （mm） 环氧煤沥青 0．2，0．4 4-5KV或自定 0．6，0．8 如有标准应根据标准执行 2，3，5.5 11，15，18 石油沥青 7，9 20，24 根据：3249TC=V公式换算 聚乙稀胶带 V：电压 TC：防腐层厚度 按SY4014-92验收规范标准执行 视经验确定检测电压 搪玻璃 一般为8KV-20KV 其 它 根据设计部门的设计检测电压或材料本身的绝缘性防腐材料 能而定

RY-6型电火花检漏仪

一. 概述：

RY-6型电火花检漏仪是检测金属基体上防腐涂层质量的专用仪器，本仪器可以对不同厚度的搪玻璃、玻璃钢、环氧煤沥青、油漆和

橡胶衬里等涂层进行检测。当防腐层有质量问题时，如出现

空气测漏仪的基础知识 2011年8月修改版

第1 页 总 30页

空气测漏仪的基础知识

空气测漏仪的基础知识

1.

前言

目录 页数

1

（1） 空气测漏仪的优点....................................................... 1 （2） 与浸水目测法相比较..................................................... 1 （3） 空气测漏仪的使用及泄漏规格............................................. 2 （4） 各种泄漏检测方法....................................................... 2 2.

测试方法的概要

4

（1） 基本原理.........................

1、目的

正确使用检漏仪，延长检漏仪的寿命，减少零部件的损坏频率，确保镀膜主机顺利检漏。

2、范围

适用于镀膜主机箱体的检漏

3、职责

设备维护人员按本作业指导书规定的内容作业，保证检漏仪的正确使用和维护。

4、内容

4.2.1 开机

4.2.1.1接上被检件，将调节阀关至最小闭；

4.2.1.2三位阀的操作手柄指向预抽，总电源开关为关闭；

4.2.1.3将仪器接上220V电源；

4.2.1.4接通总电源开关；

4.2.1.5当真空度低于10Pa后顺时针旋转操作杆到检漏位臵，灵敏度高－低开关臵高，

约5分钟后，面板上正常绿灯亮；

4.2.1.6将灯丝触发开关向开触发一下，灯丝工作指示绿灯亮。

4.2.2漏率校准（每月或换灯丝后效准1次）

4.2.2.1臵量程选择开关在10，量程波段开关在10-8(Pa.m3/S)；

4.2.2.2灵敏度高－低开关在高；

4.2.2.3校准旋钮顺时针到头；

4.2.2.4顺时针旋钮操作杆由检漏到放气；

4.2.2.5卸下检漏口上的堵头，装上标准漏孔并锁紧，打开标准漏孔上的阀门；

4.2.2.6顺时针旋转操作杆到预抽位臵，进行预抽。当检漏口压力低于5Pa时，顺时针

旋转操作杆到检漏位臵；

4.2.2.7观察漏率显示。数据有可能低于标准漏孔的标定值。改变量程使

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XP-1A SF6定性检漏仪检漏操作

SF6定性检漏仪检漏操作

1. 打开电池开关，发光二极管将显示复位指示2秒钟（左灯绿色，其它灯橙色）。 2. 通过观察发光二极管核对电池电力（见上）

3. 开机时，本产品默认为灵敏度5级，此时可听到间隔稳定的“嘟、嗜”声，如果需要可通过灵敏度调整键改变灵敏度。

4. 开始检漏时，当泄漏的气体被发现，“嘟嘟”声将变得急促，发光管也将根据浓度的变化改变发光方式。

5. 灵敏感度可在操场作中的任何时候时行调整，且不影响检测。

6. 如泄漏源被定位之前，已达到最高警示（发光二极管1绿6红）。应按复位键复位到零参考水平。

7. 为保证仪器测量准确可靠，您可经常进行复位操作。 SF6定性检漏仪注意事项

1. 当泄漏不能被测出时，才调高灵敏度。当复位不能使仪器“复位”时，才调低灵敏度。

2. 在被严重污染的区域，应及时复位仪器以消除环境对仪器的影响。复位时不要移动探头。本仪器可根据需要任意次复位。

3. 有风的区域，即使大的泄漏也难发现。在这种情况下，最好遮挡住潜在泄漏区域。 4. 若探头接触到湿气或溶剂时可能报警，因此，检查泄漏时避免接触到它

警 告

除特殊说明，仪器运行前必须加入泵油，然后方可使用，否则将损坏仪器。拆除仪器主机外盖，参考真空泵说明书即可自行添加泵油。

泵油加入后，仪器运输过程中不可倒置。（该仪器出厂前泵油已加到位，不需要再加。）

冬季天气寒冷时仪器要预热15分钟以上（连接手持探头真空接口，连接系统220V电源，开机15分钟后连接手持探头电源口DC40V电源）。

I

目 录

一、产品简介 .......................................................................................... 1 二、技术数据 .......................................................................................... 1 三、产品结构 .......................................................................................... 2 四、操作方法 ........................................