硅片制绒工艺

制绒

目录 简介

? 分类单晶制绒 ? 多晶酸制绒

制绒目的和作用

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编辑本段简介

制绒，光伏行业术语，处理硅片的一种工艺方法，硅太阳能电池片生产的首道工序。

编辑本段分类

按硅原料分类状况可分为单晶制绒与多晶制绒； 按腐蚀液的酸碱性可分为酸制绒与碱制绒。

单晶制绒

原理 单晶硅片在一定浓度范围的碱溶液中被腐蚀时是各向异性的，不同晶向上的腐蚀速率不一样。 利用这一原理，将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀，即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观，这一过程称为单晶碱制绒。

多晶酸制绒

原理 常规条件下，硅与单纯的HF、HNO3（硅表面会被钝化，二氧化硅与HNO3不反应）认为是不反应的。但在两种混合酸的体系中，硅则可以与溶液进行持续的反应，主要反应原理及步骤如下： 1.硅的氧化 硝酸/亚硝酸（HNO2）将硅氧化成二氧化硅（主要是亚硝酸将硅氧化） Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O (慢反应) Si+2HNO3=SiO2+2NO+2H2O (慢反应) 二氧化氮、一氧化氮与水反应，生成亚硝酸，亚硝酸很快地将硅氧化成二氧化硅 2NO2+H2O=HNO2+HNO3 (快反应

制绒

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? 分类单晶制绒 ? 多晶酸制绒

制绒目的和作用

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制绒，光伏行业术语，处理硅片的一种工艺方法，硅太阳能电池片生产的首道工序。

编辑本段分类

按硅原料分类状况可分为单晶制绒与多晶制绒； 按腐蚀液的酸碱性可分为酸制绒与碱制绒。

单晶制绒

原理 单晶硅片在一定浓度范围的碱溶液中被腐蚀时是各向异性的，不同晶向上的腐蚀速率不一样。 利用这一原理，将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀，即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观，这一过程称为单晶碱制绒。

多晶酸制绒

原理 常规条件下，硅与单纯的HF、HNO3（硅表面会被钝化，二氧化硅与HNO3不反应）认为是不反应的。但在两种混合酸的体系中，硅则可以与溶液进行持续的反应，主要反应原理及步骤如下： 1.硅的氧化 硝酸/亚硝酸（HNO2）将硅氧化成二氧化硅（主要是亚硝酸将硅氧化） Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O (慢反应) Si+2HNO3=SiO2+2NO+2H2O (慢反应) 二氧化氮、一氧化氮与水反应，生成亚硝酸，亚硝酸很快地将硅氧化成二氧化硅 2NO2+H2O=HNO2+HNO3 (快反应

顺大半导体发展有限公司太阳能用

硅单晶片生产技术

目 录

一、硅片生产工艺中使用的主要原辅材料 1、拉制单晶用的原辅材料，设备和部件： 2、供硅片生产用的原辅材料，设备和部件： 二、硅片生产工艺技术

1、硅单晶生产部

（1）、腐蚀清洗工序生产工艺技术 对处理后原材料质量要求 （2）、腐蚀清洗生产工艺流程

① 多晶硅块料，复拉料和头，尾料处理工艺流程 ② 边皮料酸碱清洗处理工艺流程 ③ 埚底料酸清洗处理工艺流程 ④ 废片的清洗处理工艺流程

（3）、硅单晶生长工艺技术 （4）、单晶生长中的必备条件和要求

① 单晶炉 ② 配料与掺杂

（5），单晶生长工艺参数选择 （6）、质量目标： （7）、硅单晶生长工艺流程

2、硅片生产部

（1）、硅片加工生产工艺技术

（2）、硅片加工工艺中的必备条件和要求

① 切割机

② 切割浆液 （3）、质量目标

（4）、硅片加工工艺技术流程

① 开方锭生产工艺流程

② 切片生产工艺流程

（5）、硅片尺寸和性能参数检测

前 言

江苏顺大半导体发展有限公司座落于美丽的高邮湖畔。公司始创生产太阳能电池用各种尺寸的单晶和多晶硅片。拥有国内先进的拉制单晶设备104

硅片生产工艺流程及注意要点

简介

硅片的准备过程从硅单晶棒开始，到清洁的抛光片结束，以能够在绝好的环境中使用。期间，从一单晶硅棒到加工成数片能满足特殊要求的硅片要经过很多流程和清洗步骤。除了有许多工艺步骤之外，整个过程几乎都要在无尘的环境中进行。硅片的加工从一相对较脏的环境开始，最终在10级净空房内完成。

工艺过程综述

硅片加工过程包括许多步骤。所有的步骤概括为三个主要种类：能修正物理性能如尺寸、形状、平整度、或一些体材料的性能；能减少不期望的表面损伤的数量；或能消除表面沾污和颗粒。硅片加工的主要的步骤如表1.1的典型流程所示。工艺步骤的顺序是很重要的，因为这些步骤的决定能使硅片受到尽可能少的损伤并且可以减少硅片的沾污。在以下的章节中，每一步骤都会得到详细介绍。

表1.1 硅片加工过程步骤

1. 切片 2. 激光标识 3. 倒角 4. 磨片 5. 腐蚀 6. 背损伤 7. 边缘镜面抛光 8. 预热清洗 9. 抵抗稳定——退火 10. 背封 11. 粘片 12. 抛光 13. 检查前清洗 14. 外观检查

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15. 金属清洗 16. 擦片 17. 激光检查 18. 包装/货运

切片（class 500k）

硅片加

硅片生产工艺流程及注意要点

简介

硅片的准备过程从硅单晶棒开始，到清洁的抛光片结束，以能够在绝好的环境中使用。期间，从一单晶硅棒到加工成数片能满足特殊要求的硅片要经过很多流程和清洗步骤。除了有许多工艺步骤之外，整个过程几乎都要在无尘的环境中进行。硅片的加工从一相对较脏的环境开始，最终在10级净空房内完成。

工艺过程综述

硅片加工过程包括许多步骤。所有的步骤概括为三个主要种类：能修正物理性能如尺寸、形状、平整度、或一些体材料的性能；能减少不期望的表面损伤的数量；或能消除表面沾污和颗粒。硅片加工的主要的步骤如表1.1的典型流程所示。工艺步骤的顺序是很重要的，因为这些步骤的决定能使硅片受到尽可能少的损伤并且可以减少硅片的沾污。在以下的章节中，每一步骤都会得到详细介绍。

表1.1 硅片加工过程步骤

1. 切片 2. 激光标识 3. 倒角 4. 磨片 5. 腐蚀 6. 背损伤 7. 边缘镜面抛光 8. 预热清洗 9. 抵抗稳定——退火 10. 背封 11. 粘片 12. 抛光 13. 检查前清洗 14. 外观检查

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15. 金属清洗 16. 擦片 17. 激光检查 18. 包装/货运

切片（class 500k）

硅片加

光伏太阳能清洗工艺

光伏太阳能硅片清洗工艺的探索

杜虎明，牛进毅，王莉，马斌

(中国电子科技集团公司第二研究所，山西太原030024)

摘

要：对两种不同清洗方法的工作原理、清洗效果和适用范围等特点进行了分析。不同的工艺

应采用不同的清洗方法才能获得最佳效果。介绍了硅片清洗机的清洗工艺和腐蚀工艺。指出了硅片清洗工艺的发展趋势。

关键词：硅片清洗；清洗工艺；表面清洗中图分类号：TN305.97

%%%%%%%文献标识码：B%%%%%%文章编号：1004-4507(2010)060037-03

StudyofMethodsforCleaningSiliconWafers

DUHuming,NIUJinyi,WANGLi,MABin

(CETCNo.2ResearchInstitute,Taiyuan030024,China)

Abstract:Thepaperintroducedtwomethodsforcleaningsiliconwafers,andtheirworkingprinciples、cleaningeffectandapplicationscope.Itispointedoutthatdifferentappropriatemethodsshouldbe

硅片生产流程及主要设备

作为一种取之不尽的清洁能源，太阳能的开发利用正引起 人类从未有过的极大关注。商业化太阳能电池采用的是无毒性的晶硅，单晶和多晶硅电池的特点是光电转换效率高、寿命长且稳定性好。硅片是晶体硅光伏电池加工成本中最昂贵的部分, 随着 半导体制造技术的不断成熟完善，硅片制造成本不断降低。硅片 切割是太阳能光伏电池制造工艺中的关键部分,太阳能电池所 用硅片的切割成本一直居高不下，要占到太阳能电池总制造成本 的30％以上。 所以降低这部分的制造成本对于提高太阳能对传统 能源的竞争力至关重要。 目前硅片的切割方法都是围绕如何减小切缝损失、降低切割厚度、增大切片尺寸及提高切割效率方面进行的。

1.工艺流程 ：硅锭（硅棒）--切块（切方）--倒角抛光--粘胶--切片--脱胶清洗--分选检验、包装

2．工艺简介

切块／切方:将硅锭或者硅棒切成适合切片的尺寸,一般硅锭切成25 块（主 流）。

倒角抛光：将晶柱的圆面棱角研磨成符合要求的尺寸，对表面进行抛光处理，从而获得高度平坦的晶片。

粘胶：用粘附剂把晶柱固定在由铝板和玻璃板组成的夹具上，自然硬化或用 恒温炉使其硬化。

切片：把晶柱切割成硅片，切割的深度要达到夹具上的玻璃板，

以便在之后 的程序中把硅片和玻璃板

承德石油高等专科学校热工系校外顶岗毕业论文

焦炉气的精制是以炼焦剩余的焦炉气为生产原料,经化工产品回收(焦炉气的粗制);再经压缩后(2.55MPa),进入脱硫转化工段,脱硫采用NHD湿法脱硫和干法精脱硫技术,总硫脱至0.1×10-6,转化采用烃类部分氧化催化技术;制得合格的甲醇合成新鲜气(又称精制气),送去压缩工段合成气压缩机,最后进入甲醇合成塔制得甲醇。

第1章 焦炉气成分分析

1.1典型焦炉气的组成

焦炉气的主要成分为甲烷26.49%、氢气58.48%、一氧化碳6.20%和二氧化碳2.20%等,还有少量的氮气、不饱和烃、氧气、焦油、萘、硫化物、氰化物、氨、苯等杂质。焦炉气基础参数:流量62967m3/h(2台焦炉生产的剩余焦炉气);温度25℃;压力0.105MPa(a)(煤气柜压力)。

1.2焦炉气的回收利用

焦炉气是良好的合成氨、合成甲醇及制氢的原料。根据焦炉气组成特点,除H2、CO、CO2为甲醇合成所需的有效成分外,其余组分一部分为对甲醇合成有害的物质(如多种形态的硫化物,苯、萘、氨、氰化物、不饱和烃等)。如焦炉气中的硫化物不仅会与转化催化剂的主要活性成分Ni迅速反应,生成NiS使催化剂失去活性,而且还会与甲醇合成催化剂的主要活性组分

制氧工艺培训讲义

唐山港陆钢铁制氧工艺

制氧工艺培训讲义

一、制氧机简介

制氧机又叫空气分离设备。1、按产品数量不同，可分为800m3/h以下小型设备；1000—6000m3/h中型设备；10000m3/h以上大型设备。2、按产品纯度分，可分为生产氧纯度在99.2%以上的高纯氧装置，生产纯度95%左右的工艺氧装置，生产纯度低于35%的富氧（液化空气）装置。制氧车间目前有二套制氧机，6000m3/h制氧机和6500m3/h制氧机，6000，6500表示制氧机容量。

制氧工艺培训讲义

1、原理抽象，流程复杂。

2、生产连续性强。

3、技术性、安全性要求高。

4、耗电量比较大。

5、受环境条件影响较大

制氧工艺培训讲义

1、空气分离有三种方法，即低温法、吸附法、膜分离法。2、什么叫低温法？先将空气通过压缩膨胀降温，直至空气液化，再利用氧、氮的气化温度（沸点）不同，沸点低的氮相对于氧要容易气化这个特点，在精馏塔内让温度较高的蒸气与温度较低的液体不断相互接触，液体中的氮较多地蒸发，气体中的氧较多地冷凝，使上升蒸气中的含氮量不断提高，下流液体中的含氧量不断增加，以此实现将空气分离。要将空气液化，需将空气冷却至100K以下的温度，这种制冷叫深度冷冻，利用沸点差将液

对于玻璃钢船体类的加工，从工艺上比较大的问题就是模具的合模缝的处理，以及表面针孔气泡的问题，所以要求在设计和制作模具的过程中要合理设计，仔细规划。

关于手糊工艺的详尽介绍如下： 一、 生产准备工序

设备 工装 工具等生产装备明细 1. 玻璃钢模具 2. 铲刀 3. 毛刷 4. 吹尘枪 5. 干净毛巾 6. 海绵 7. 8#黄蜡 8. 树脂 9. 玻璃纤维 10. 胶衣 11. 水瓢

生产加工工艺 A. 认真阅读产品生产工艺或作业指导书，明确生产工艺操作流程等具体要求。

质量标准及要求 A 明确后机罩生产工艺操作流程等具体要求。

生产加工工艺 B. 领出生产所需模具，核对模具型号无误并确认模具完好无缺陷。 质量标准及要求 B 领出生产模具,确认模具完好并可投入使用.

生产加工工艺 C. 领出所需原辅材料即工具.

质量标准及要求 C 领出所需原材料,并放置于便于操作的位置

生产加工工艺 D. 检察清理模具内部和边缘，如模具边缘由于上次生产所遗留的树脂或胶衣等杂物时,应用铲刀清理干净,然后用毛刷 吹尘枪或干净毛巾将模具内部的积层 微粒 油迹等杂物清理干净后备用.

质量标准及