ito

ITO镀膜教材

第一章

第二章

第三章

第四章

第五章 ITO玻璃教育訓練教材

ＬＣＤ簡介 ＩＴＯ玻璃

２〃１ ＩＴＯ玻璃簡介

２〃２ ＩＴＯ玻璃製造流程 ２〃３ ＩＴＯ玻璃生產管理

切割及裂片作業說明

３〃１ 製程簡介

３〃２ 治具規格說明

３〃３ 製程操作說明及製程條件設定 ３〃４ 機台故障排除ˋ停電處理程序 ３〃５ 品質自主檢查 ３〃６ 其它注意事項

磨邊及倒角作業說明

４〃１ 製程簡介

４〃２ 治具規格說明 ４〃３ 製程條件

４〃４ 機台操作及故障排除 ４〃５ 品質自主檢查 ４〃６ 其它注意事項

清洗作業說明

５〃１ 製程簡介

５〃２ 洗淨配藥方法 ５〃３ 製程條件

５〃４ 機台操作及故障排除 ５〃５ 品質自主檢查 ５〃６ 其它意事項

ITO镀膜教材

第六章 拋光作業說明 2.1拋光玻璃作業流程簡介 2.2拋光原理

2.3拋光玻璃之規格

第七章 機台簡介與製程條件設定 2.1拋光機台簡介 2.2製程條件設說明

第八章 拋光五大控制因素 3.1 P.P的管理 3.2 Pad的管理

3.3 template的管理 3.4研磨劑的管理 3.5振幅的管理

第九章 機台操作與拋光作業注意事項 4.1作業前之確認事項 4.2機台操作

4.3拋光作業注意事項 4.4破片處理程序

第十章 研磨劑測量及Pad

Indium-Tin-Oxide Target

氧化铟锡(ITO)靶材项目

调研报告

二〇一一年十二月

0

1

目 录

1.市场部分……………………………………………………2 1.1 透明导电ITO薄膜的性能………………………………2 1.2用途现状…………………………………………………31 1.3应用及发展趋势…………………………………………90 1.4产量及市场需求量……………………………………100 2.工艺技术部分……………………………………………109 2.1生产工艺………………………………………………109 2.2技术指标………………………………………………114 2.3技术水平………………………………………………118 3. 经济部分………………………………………………123 3.1项目规模………………………………………………123 4.国内主要靶材生产企业、联系方式…………………129 5.国外主要靶材生产企业、联系方式…………………139 6.中国内地平板显示产业的前景…………………………145 附件1 三井公司MMF法ITO靶材技术生产工艺简介……157 附件2比兹依斯普有限公司(英国)ITO靶材工艺简介……168

ITO蚀刻生产工艺作业指导书

文件编号Document No

版本号Edition No

制 定Originator

审 核Examiner

批 准Approval

生效日期Effective

页码page

受控章Controlledstamp

2008-4-72/1

一、目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质二、适用范围：ITO蚀刻

三、职责：作业员严格按本规范操作 四、作业内容:

4.1溶液的配置

4.1.1A槽（蚀刻ITO Film）

a.开槽配490(480-500)升左右酸液。

b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 34.51（体积比） HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 29（质量比） 质量比浓度约为16.4％，摩尔浓度约为4.71mol/L

c. 取168L浓 HCL（200kg）慢慢加入290L (290kg) 纯水中 (边搅拌边加入)。配好后测试酸的浓度,在范围内方可使用。d. 蚀刻线酸液浓度测定

准确移取2ml槽液到洁净的锥形瓶中，加入蒸馏水（过滤水）25ml，滴加0.1%酚酞2-3滴（0.1

ITO透明导电薄膜替代品发展现状

现在,薄膜液晶显示器的透明电极大量使用的是ITO和In,本文介绍作为其替代品的透明导电氧化物材料的发展现状与前景.用于LCDs透明电极ITO薄膜的最佳替代材料是掺Al ZnO和掺Ga ZnO(AZO与GZO)。从资源和环境的角度来看，AZO是最佳的候选材料。有关ZnO取代ITO用于LCDs透明电极的问题已在实验室实验中得到解决。目前看来，（射频和直流）磁控溅射是最好的沉积具有实用价值的掺杂ZnO薄膜的方法。在玻璃衬底上制备的AZO薄膜电阻率在10?4Ω?cm数量级，并且拥有几乎均匀的面电阻分布，其厚度可以超过100nm。为了提高电阻率的稳定性，AZO和GZO共掺杂薄膜有了新进展。一个50nm厚的掺杂V的AZO薄膜具有足够的稳定性，可以作为实际应用中的透明电极。然而，如果薄膜的厚度小于30nm的话要获得与ITO相媲美的掺杂ZnO薄膜还是很困难的。

关键词：透明导电氧化物，薄膜，ITO，AZO， GZO，LCD，透明电极，磁控溅射

1 引言

ITO薄膜实际上作为绝大多数液晶显示器的透明电极。目前，铟已成为用于液晶显示器的ITO的主要原料。并且，最近用于平板显示，碱性电池，薄膜太阳能电池的铟显著增加。因为世界铟储

ITO透明导电薄膜替代品发展现状

现在,薄膜液晶显示器的透明电极大量使用的是ITO和In,本文介绍作为其替代品的透明导电氧化物材料的发展现状与前景.用于LCDs透明电极ITO薄膜的最佳替代材料是掺Al ZnO和掺Ga ZnO(AZO与GZO)。从资源和环境的角度来看，AZO是最佳的候选材料。有关ZnO取代ITO用于LCDs透明电极的问题已在实验室实验中得到解决。目前看来，（射频和直流）磁控溅射是最好的沉积具有实用价值的掺杂ZnO薄膜的方法。在玻璃衬底上制备的AZO薄膜电阻率在10?4Ω?cm数量级，并且拥有几乎均匀的面电阻分布，其厚度可以超过100nm。为了提高电阻率的稳定性，AZO和GZO共掺杂薄膜有了新进展。一个50nm厚的掺杂V的AZO薄膜具有足够的稳定性，可以作为实际应用中的透明电极。然而，如果薄膜的厚度小于30nm的话要获得与ITO相媲美的掺杂ZnO薄膜还是很困难的。

关键词：透明导电氧化物，薄膜，ITO，AZO， GZO，LCD，透明电极，磁控溅射

1 引言

ITO薄膜实际上作为绝大多数液晶显示器的透明电极。目前，铟已成为用于液晶显示器的ITO的主要原料。并且，最近用于平板显示，碱性电池，薄膜太阳能电池的铟显著增加。因为世界铟储

贵阳国家高新技术 产 业 开 发 区

产业发展局

信 息 专 报

二○一三年第九期 签发人：童 川

关于在贵阳国家高新区打造ITO薄膜

微集群的初步研究

根据党工委主要领导指示精神，我局就ITO薄膜基础知识及如何打造产业微集群进行初步分析研究，通过广泛收集情况资料，向有关专家学者及企业管理人员进行了解咨询、虚心请教，现将初步研究成果报告如下：

一、 ITO薄膜产业基础知识 （一）概念

ITO薄膜是Indium Tin Oxides的缩写。作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，ITO

1

薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,通常有两个性能指标:电阻率和透光率。

（二）应用

ITO薄膜具有优良的光电性能,对可见光的透过率达95%以上,对红外光的反射率70%,对紫外线的吸收率≥85%,对微波的衰减率≥85%,导电性和加工性能极好,硬度高且耐磨耐蚀,因而在工业上应用广泛,在高技术领域中起着重要

ITO蚀刻生产工艺作业指导书

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2008-4-72/1

一、目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质二、适用范围：ITO蚀刻

三、职责：作业员严格按本规范操作 四、作业内容:

4.1溶液的配置

4.1.1A槽（蚀刻ITO Film）

a.开槽配490(480-500)升左右酸液。

b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 34.51（体积比） HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 29（质量比） 质量比浓度约为16.4％，摩尔浓度约为4.71mol/L

c. 取168L浓 HCL（200kg）慢慢加入290L (290kg) 纯水中 (边搅拌边加入)。配好后测试酸的浓度,在范围内方可使用。d. 蚀刻线酸液浓度测定

准确移取2ml槽液到洁净的锥形瓶中，加入蒸馏水（过滤水）25ml，滴加0.1%酚酞2-3滴（0.1

中金企信（北京）国际信息咨询有限公司—国统调查报告网

ITO导电玻璃项目可行性研究报告

项目可行性报告

中金企信国际咨询公司拥有10余年项目可行性报告撰写经验，拥有一批高素质编写团队，卓立打造一流的可行性研究报告服务平台为各界提供专业可行的报告。 项目可行性报告用途 1、企业投融资

此类研究报告通常要求市场分析准确、投资方案合理、并提供竞争分析、营销计划、管理方案、技术研发等实际运作方案。 2、项目立项

此文件是根据《中华人民共和国行政许可法》和《国务院对确需保留的行政审批项目设定行政许可的决定》而编写，是大型基础设施项目立项的基础文件，国家发改委根据可行性研究报告进行核准、备案或批复，决定某个项目是否实施。另外医药企业在申请相关证书时也需要编写可行性研究报告。 3、银行贷款申请

商业银行在贷款前进行风险评估时，需要项目方出具详细的可行性研究报告，对于国内银行，该报告由甲级资格单位出具，通常不需要再组织专家评审,部分银行的贷款可行性研究报告不需要资格，但要求融资方案合理，分析正确，信息全面。另外在申请国家的相关政策支持资金 、工商注册时往往也需要编写可行性研究报告，该文件类似用于银行贷款的可研报告。

4、

分类号： TN304.055 学校代号：10150 UDC： 密级： 学号：20081003

博士学

位论文

OLED用高品质ITO薄膜的制备及性能研究 Preparation of high-quality indium tin oxide film used for organic light-emitting display

学生姓名： 导师及职称： 学科门类： 专业名称： 研究方向： 申请学位级别： 论文答辩日期： 学位授予单位：

王华林 柴卫平 教授 材料科学 材料加工工程 光电材料与器件

博士 2013

12

13

大连交通大学

摘要

摘 要

近年来，透明导电氧化物材料引起了广泛关注，如锡掺杂氧化铟(ITO)、铝掺杂氧化锌、锑掺杂氧化锡等。ITO是高简并n型半导体，具有优异的电导率和可见光透过率，被广泛应用于平板显示、太阳电池、照明等行业，尤其是应用于有机电致发光显示器(OLEDs)。作为OLEDs的阳极，ITO薄膜需要具有优异的光电性能、平坦的表面形貌以及较高的功函数。

本论文采用In2O3和SnO2

分类号： TN304.055 学校代号：10150 UDC： 密级： 学号：20081003

博士学

位论文

OLED用高品质ITO薄膜的制备及性能研究 Preparation of high-quality indium tin oxide film used for organic light-emitting display

学生姓名： 导师及职称： 学科门类： 专业名称： 研究方向： 申请学位级别： 论文答辩日期： 学位授予单位：

王华林 柴卫平 教授 材料科学 材料加工工程 光电材料与器件

博士 2013

12

13

大连交通大学

摘要

摘 要

近年来，透明导电氧化物材料引起了广泛关注，如锡掺杂氧化铟(ITO)、铝掺杂氧化锌、锑掺杂氧化锡等。ITO是高简并n型半导体，具有优异的电导率和可见光透过率，被广泛应用于平板显示、太阳电池、照明等行业，尤其是应用于有机电致发光显示器(OLEDs)。作为OLEDs的阳极，ITO薄膜需要具有优异的光电性能、平坦的表面形貌以及较高的功函数。

本论文采用In2O3和SnO2