光刻刻蚀实验报告

光刻实验

一．实验目的

了解光刻在集成电路工艺中的作用，熟悉光刻工艺的步骤和操作。

二．实验原理

光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。

在SiO2衬底上涂覆光刻胶

将掩模板覆盖在光刻胶上在紫外光下曝光 （一）光刻原理图

显影后经腐蚀得到光刻窗口 晶片表面必须有如照相底片般的物质存在，属于可感光的胶质化合物（光刻胶），经与光线作用和化学作用方式处理后，即可将掩膜版上的图形一五一十地转移到晶片上。因此在光刻成像工艺上，掩膜版、光刻胶、光刻胶涂布显影设备及对准曝光光学系统等，皆为必备的条件。

三、实验药品及设备

化学药品：光刻胶（正胶）、显影液：5‰ 氢氧化钠溶液、甲醇、蒸馏水、丙酮； 实验仪器：匀胶台、烘胶台、光刻机、真空泵、气泵

四．实验步

现代集成电路制造工艺原理

第七章 光刻

Photolithography

现代集成电路制造工艺原理

光刻是IC制造业中最为重要的一道工艺, 占据了芯片制造中大约一半的步骤.光刻 占所有成本的35%通常可用光刻次数及所需掩模的个数来表示某生产 工艺的难易程度。 一个典型的硅集成电路工艺包括15-20块掩膜版

现代集成电路制造工艺原理

集成电路的特征尺寸是否能够进一步 减小，也与光刻技术的进一步发展有密切的 关系。 通常人们用特征尺寸来评价一个集成 电路生产线的技术水平。所谓特征尺寸(CD:characteristic dimension) 是指设计的多晶硅栅长，它标志了器件工艺的总 体水平，是设计规则的主要部分。通常我们所说的0.13 m,0.09 m工艺就是 指的光刻技术所能达到最小线条的工艺。3

现代集成电路制造工艺原理

光刻的定义光刻是一种图形复印和化学腐蚀相结合的精 密表面加工技术。用照相复印的方法将掩模 版上的图案转移到硅片表面的光刻胶上，以 。 实现后续的有选择刻蚀或注入掺杂光刻的目的：光刻的目的就是在二氧化硅或金属薄膜上面刻蚀出与掩膜版完全对应的几何图形，把掩模版 上的图形转换成晶圆上的器件结构,从而实现选择性扩 散和金属薄膜布线的目的。

现代集成

实验四 传输层协议分析

一、实验目的

1、学习3CDaemon FTP服务器的配置和使用，分析TCP报文格式，理解TCP的连接建立、 和连接释放的过程。

2、学习3CDaemon TFTP服务器的配置和使用，分析UDP报文格式，理解TCP协议与UDP协议的区别。

二、实验工具软件3CDaemon软件简介

3CDaemon是3Com公司推出的功能强大的集FTP Server、TFTP Server、Syslog Server 和TFTP Client于一体的集成工具，界面简单，使用方便。

这里主要介绍实验中需要用到的FTP Server功能和TFTP Server功能。 1、FTP Server功能

（1）配置FTP Server功能：选中左窗格功能窗口，打开FTP Server按钮，单击窗格中的 Configure FTP Server按钮，打开3CDaemon Configuration配置窗口，配置FTP Server功能。

这里需要设置的就是“Upload/Download”路径，作为FTP Server的文件夹，其它选项可以使用系统缺省设置。设置完成后，单击确认按钮，设置生效。

（2）在实验中，我们使用3CDaemon系统内置的

学号：08083500 班级：计08-6班 姓名：张溧溧 专业：计算机

实验一

实验目的：通过实验了解SQL语句的使用。

实验内容：使用SQL语句建立学生管理系统相关的表，同时完善各表的相关完整性约束。 学院（学院代码，学院名称）

学生（学号，姓名，性别，学院代码） 教师（教师号，教师姓名，学院代码） 课程（课程号，课程名，学时） 学习（学号，课程号，成绩） 开课（教师号，课程号） 实验代码：CREATE TABLE 教师

( 教师号 CHAR(8) PRIMARY KEY,

教师姓名 CHAR(8), 学院代码 CHAR(8));

CREATE TABLE 开课

( 教师号 CHAR(8),

课程号 CHAR(8),

PRIMARY KEY(教师号,课程号),

FOREIGN KEY(教师号) REFERENCES 教师(教师号), FOREIGN

实验报告

一．实验目的

质粒提取即将质粒与细菌基因组 DNA分开，去除蛋白质及其它杂质，以得到相对纯净的质粒。本次实验的目的主要是获得相对纯净的植物表达载体质粒E1-PUC18 二．实验内容

1.理解质粒提取的基本原理 2.熟悉质粒提取的基本操作步骤 3.获得相对纯净的目的质粒 三．实验原理

1.Buffer P1（重悬菌体，提供缓冲环境）

主要成分是50 mmol/L葡萄糖，25 mM/L Tris-HCl，10 mM/L EDTA，pH8.0 主要作用：悬浮菌体

葡萄糖增稠，使悬浮后的大肠杆菌不会快速沉积到离心管的底部；EDTA抑制DNase的活性，

2.Buffer P2（氢氧化钠和SDS裂解菌体细胞壁、在细胞膜上穿孔，释放细胞内的质粒）

主要成分是0.2mol/L的NaOH ，1% SDS

主要作用是破坏细胞壁和细胞膜，使细胞的内容物释放 其中NaOH主要是为了溶解细胞，释放DNA，因为在强碱性的

情况下，细胞膜发生了从双层膜结构向微囊结构的变化。SDS与NaOH联用，其目的是为了增强NaOH的强碱性，同时SDS作为阴离子表面活性剂破坏脂双层膜。

注意事项：第一，时间不能过长，因为在这样的碱性条件下基因组DNA片断也会慢慢断裂；第二，

学号：08083500 班级：计08-6班 姓名：张溧溧 专业：计算机

实验一

实验目的：通过实验了解SQL语句的使用。

实验内容：使用SQL语句建立学生管理系统相关的表，同时完善各表的相关完整性约束。 学院（学院代码，学院名称）

学生（学号，姓名，性别，学院代码） 教师（教师号，教师姓名，学院代码） 课程（课程号，课程名，学时） 学习（学号，课程号，成绩） 开课（教师号，课程号） 实验代码：CREATE TABLE 教师

( 教师号 CHAR(8) PRIMARY KEY,

教师姓名 CHAR(8), 学院代码 CHAR(8));

CREATE TABLE 开课

( 教师号 CHAR(8),

课程号 CHAR(8),

PRIMARY KEY(教师号,课程号),

FOREIGN KEY(教师号) REFERENCES 教师(教师号), FOREIGN

《通信原理实验报告》

内容：实验一、五、六、七

组员：信工081 马晨星 10083406

信工081 龚 洁 10083407 信工081 哈 森 10086082

1

实验一 数字基带信号与AMI/HDB3编译码

一、实验目的

1、掌握单极性码、双击行码、归零码、非归零码等基带信号波形特点。 2、掌握AMI、HDB3码的编码规则。

3、掌握从HDB3码信号中提取位同步信号的方法。

4、掌握集中插入帧同步码同步时分复用信号的帧结构特点。 二、实验内容及步骤

1、用开关K1产生代码X1110010，K2，K3产生任意信息代码，观察NRZ码的特点为不归零型且为原码的表示形式。

2、将K1，K2，K3置于011100100000110000100000态，观察对应的AMI码和HDB3码为： HDB3：0-11-1001-100-101-11001-1000-10 AMI ：01-1100-1000001-10000100000

3、当K4先置左方AMI端，CH2依次接AMI/HDB3模拟的DET，BPF，BS—R和NRZ，观察它们的信号波形分别为：BP

东南大学机械工程学院测试技术课程设计

动态测试信号采集仿真与实

例分析

姓名：李兆明 学号：02010402 指导老师：彭英

1

东南大学机械工程学院测试技术课程设计

动态测试信号采集仿真与实例分析

02010429 凌少钦 指导老师 彭英

绪论

摘要：本文专注于动态测试信号的采集和仿真.围绕测试技术课本中所讲述的动态信号的采集、

分析与处理的基本原理与方法，利用计算机软件例如MATLAB等进行仿真建模，并进行相应的数学处理，做出信号的频谱，并对信号的频谱进行分析。本文的主要实例分析包括有：信号仿真、采集与分析处理，基于计算机的声信号采集与分析，机械运行数据分析与处理。通过做上述实验.加深信号处理相关理论知识的学习和掌握.并且进一步理解傅里叶变化的深层含义. 关键词： 信号采样处理 频谱分析 MATLAB仿真 傅里叶变换

Abstract：This paper analyzes the dynamic testing signal acquisition simulation and example analysis,

surrounding the test textbook described in dynamic signa

学 生 实 验 报 告

实验课程名称 《spss统计分析基础教程》

开课实验室 管理教学示范中心实验室 学 院 管理 年级 2012 专业班 信管2班

学 生 姓 名 蔡明月 学 号 631204080234

开 课 时 间 2014 至 2015 学年第 一 学期 总 成 绩 教师签名 试验1：数据文件管理

一、 试验目的

通过本试验项目，使学生理解并掌握SPSS软件包有关数据文件创建和整理的基本操作，学习如何将收集到的数据输入计算机，建成一个正确的SPSS数据文件，并掌握如何对原始数据文件进行整理，包括数据查询，数据修改、删除，数据的排序等等。

二、试验内容

某航空公司38名职员性别和工资情况的调查数据，如表2.3所示，试在SPSS中进行如下操作： （1）将数据输入到SPSS的数据编辑窗口中，将gender定义为字符型变量，将salary定义为数值型变量，并保存数据文件，命名为“试验1-1.sav”。 （2）插入一个变量income，定义为数值型变量。 （3）将数据文件按性别分组 （4）查找

GDOU-B-11-112

广东海洋大学学生实验报告书（学生用表）

实验名称 学院(系) 学生姓名

学号

专业

课程名称

实验地点

班级

课程号 实验日期

六、实验报告要求

1、分析实验电路的工作原理，叙述其工作过程。

2、根据实验测试记录，在坐标纸上画出各测量点的波形图，并分析实验现象。 3、对实验思考题加以分析，按照要求做出回答，并尝试画出本实验的电路原理图。 4、写出完成本次实验后的心得体会以及对本次实验的改进意见。

七、实验思考题

1、在分析电路的基础上回答：为什么本实验HDB3码编、解码电路只能在输入信号是码长为24位的周期性NRZ码时才能正常工作？

2、自行设计一个HDB3码编码电路，画出电路原理图并分析其工作过程。

成绩 指导教师

日期

注:请用A4纸书写，不够另附纸。 第 页，共 页

GDOU-B-11-112

广东海洋大学学生实验报告书（学生用表）

实验名称 学院(系) 学生姓名

学号

专业

课程名称

实验地点

班级

课程号 实验日期

六、实验报告要求

1、分析实验电路的工作原理，叙述其工作过程。

2、根据实验测试记录，在坐标纸上画出各测量点的波形图，并分析实验现象。 3、对实验思考题加以分析，按照要