半导体常用化学品化学式

半导体制造中常用化学品

半导体制造过程中常用的酸

名称 氢氟酸 盐酸 硫酸

缓冲氧化层蚀刻（BOE） 氢氟酸和氟化铵溶液

磷酸 硝酸

符号 HF HCl H2SO4 HF/ NH4F H3PO4 HNO3

用途

刻蚀二氧化硅（SiO2）以及清洗石英器皿 湿法清洗化学品，2号标准清洗液的一部分，

用来去除硅中的重金属元素 “piranha”溶液（7份H2SO4和3份30%的双氧水）

用来清洗硅片

刻蚀二氧化硅薄膜（SiO2） 刻蚀氮化硅（Si3N4） 用HF和HNO3的混合溶液来 刻蚀磷硅酸盐玻璃（PSG）

半导体制造过程中常用的碱

名称 氢氧化钠 氢氧化铵 氢氧化钾 氢氧化四甲基铵

符号 NaOH NH4OH KOH TMAH

用途 湿法刻蚀 清洗剂 正性光刻胶显影剂 正性光刻胶显影剂

半导体制造过程中常用的溶剂

名称 去离子水 异丙醇 三氯乙烯 丙酮 二甲苯

符号 DI water IPA TCE Acetone Xylene

用途

广泛用于漂洗硅片和稀释清洗剂

通用的清洗剂

用于硅片和一般用途的清洗溶剂 通用的清洗剂（比IPA更强）

强的清洗剂，也可以用来去除硅片边缘光刻胶

半导体制造过程中常用的通用气体

性质

名称/符号 氮气/N2

半导体制造中常用化学品

半导体制造过程中常用的酸

名称 氢氟酸 盐酸 硫酸

缓冲氧化层蚀刻（BOE） 氢氟酸和氟化铵溶液

磷酸 硝酸

符号 HF HCl H2SO4 HF/ NH4F H3PO4 HNO3

用途

刻蚀二氧化硅（SiO2）以及清洗石英器皿 湿法清洗化学品，2号标准清洗液的一部分，

用来去除硅中的重金属元素 “piranha”溶液（7份H2SO4和3份30%的双氧水）

用来清洗硅片

刻蚀二氧化硅薄膜（SiO2） 刻蚀氮化硅（Si3N4） 用HF和HNO3的混合溶液来 刻蚀磷硅酸盐玻璃（PSG）

半导体制造过程中常用的碱

名称 氢氧化钠 氢氧化铵 氢氧化钾 氢氧化四甲基铵

符号 NaOH NH4OH KOH TMAH

用途 湿法刻蚀 清洗剂 正性光刻胶显影剂 正性光刻胶显影剂

半导体制造过程中常用的溶剂

名称 去离子水 异丙醇 三氯乙烯 丙酮 二甲苯

符号 DI water IPA TCE Acetone Xylene

用途

广泛用于漂洗硅片和稀释清洗剂

通用的清洗剂

用于硅片和一般用途的清洗溶剂 通用的清洗剂（比IPA更强）

强的清洗剂，也可以用来去除硅片边缘光刻胶

半导体制造过程中常用的通用气体

性质

名称/符号 氮气/N2

GB15603-1995常用危险化学品贮存通则

Rule for storage of chemical dangers

自 1996-2-1 起执行

1 主题内容与适用范围

本标准规定了常用化学危险品（以下简称化学危险品）贮存的基本要求。

本标准适用于常用化学危险品（以下简称化学危险品）出、入库，贮存及养护。

2 引用标准

GB190 危险货物包装标志

GB13690 常用危险化学品的分类及标志

GBJ16 建筑设计防火规范

3 定义

3.1 隔离贮存 segregated storage

在同一房间或同一区域内，不同的物料之间分开一定距离，非禁忌物料间用通道保持空间的贮存方式。

3.2 隔开贮存 cut-off storage

在同一建筑或同一区域内，用隔板或墙，将其与禁忌物料分离开的贮存方式。

3.3 分离贮存 detached storage

在不同的建筑物或远离所有建筑的外部区域内的贮存方式。

3.4 禁忌物料 incinpatible inaterals

化学性质相抵触或灭火方法不同的化学物料。

4 化学危险品贮存的基本要求

4.1 贮存化学危险品必须遵照国家法律、法规和其他有关的规定。

4.2 化学危险品必须贮存在经公安部门批准设置的专门的化学危险品仓库中，经销部门

常用危险化学品标志

标准信息：

常用危险化学品标志由《常用危险化学品的分类及标志（GB 13690-92）》规定，该标准对常用危险化学品按其主要危险特性进行了分类，并规定了危险品的包装标志，既适用于常用危险化学品的分类及包装标志，也适用于其他化学品的分类和包装标志。

该标准引用了《危险货物包装标志（GB 190-90）》。

标志规范：

1 标志的种类：根据常用危险化学品的危险特性和类别，设主标志16种，副标志11种。

2 标志的图形：主标志由表示危险特性的图案、文字说明、底色和危险品类别号四个部分组成的菱形标志。副标志图形中没有危险品类别号。

3 标志的尺寸、颜色及印刷：按GB 190的有关规定执行。

4 标志的使用

1> 标志的使用原则：当一种危险化学品具有一种以上的危险性时，应用主标志表示主要危险性类别，并用副标志来表示重要的其他的危险性类别。

2> 标志的使用方法：按GB 190的有关规定执行。

标志图案

主标志

底色：橙红色

底色：正红色 图形：正在爆炸的炸弹（黑色）

图形：火焰（黑色或白色） 文字：黑色 文字：黑色或白色

标志1 爆炸品标志

标志2 易燃气体标志 底色：绿色

底色：白色 图形：气瓶（黑色或白色）

图形：骷髅头和交叉骨形（黑色） 文字：

GB15603-1995

常用危险化学品贮存通则

Rule for storage of chemical dangers

自 1996-2-1 起执行

1 主题内容与适用范围

本标准规定了常用化学危险品（以下简称化学危险品）贮存的基本要求。

本标准适用于常用化学危险品（以下简称化学危险品）出、入库，贮存及养护。 2 引用标准

GB190 危险货物包装标志

GB13690 常用危险化学品的分类及标志

GBJ16 建筑设计防火规范

3 定义

3.1 隔离贮存 segregated storage

在同一房间或同一区域内，不同的物料之间分开一定距离，非禁忌物料间用通道保持空间的贮存方式。

3.2 隔开贮存 cut-off storage

在同一建筑或同一区域内，用隔板或墙，将其与禁忌物料分离开的贮存方式。

3.3 分离贮存 detached storage

在不同的建筑物或远离所有建筑的外部区域内的贮存方式。

3.4 禁忌物料 incinpatible inaterals

化学性质相抵触或灭火方法不同的化学物料。

4 化学危险品贮存的基本要求

4.1 贮存化学危险品必须遵照国家法律、法规和其他有关的规定。

4.2 化学危险品必须贮存在经公安部门批准设置的专门的化学危险品仓库中，经

篇一：初中化学必背化学式大全

1.元素符号：

H He C N O F Ne Na Mg Al Si P S Cl 氢 氦 碳 氮 氧 氟 氖 钠 镁 铝 硅 磷 硫 氯 Ar K Ca Mn Fe Cu Zn Ag Ba Pt Au Hg I 氩 钾 钙 锰 铁 铜 锌 银 钡 铂 金 汞 碘 2.常见离子和化合物中元素的化合价：

H+ Na+K+ Ag+ NH4++1价 氢离子钠离子钾离子 银离子 铵根离子

Ca2+ Mg2+ Cu2+Ba2+Zn2+Fe2+ +2价 钙离子镁离子铜离子 钡离子 锌离子 亚铁离子 Fe3+ Al3+ +3价 铁离子铝离子

Cl-OH- NO3--1价 氯离子氢氧根离子 硝酸根离子

O2-SO42-CO32- -2价 氧离子硫酸根离子 碳酸根离子 3.常见物质的化学式与名称： 单质：

C:碳S:硫P:磷 Fe:铁 Mg:镁 Al:铝Hg:汞 Zn:锌 Cu:铜 Ag:银 O2:氧气 H2:氧气 N2:氮气 O3:臭氧 氧化物：

CO:一氧化碳 CO2:二氧化碳 SO2:二氧化硫MnO2:二氧化锰SO3:三氧化硫

化学品操作规程SOP

一. 目的

使作业人员掌握化学品性质及安全（MSDS）、化学品设备CDM、阀门分流箱VMB、化学桶更换操作及应急反应措施，确保化学品房的正常工作及必要的安全保证，特制定本规程。

二. 适用范围

本规程适用于本厂化学品设备作业全过程。

三. 职责

1．运行巡检人员定时巡检抄表，并熟练掌握CDM控制屏及一些调压阀、流量

计的使用与操作，巡检时一旦发现异常，立即通知化学房相关负责人。

2．维护人员（或化学品相关负责人）不仅要掌握CDM、VMB的熟练操作（包括送液、换桶操作），还应对化学品的MSDS非常熟悉，发生化学品泄漏时做出相应的处理。

四. 操作

（一）供液操作

1. 首先确保供给工艺机台的液体是酸或碱，确保是满桶，确保抽风已开

（0.2KPa左右）；氮封压力满足：不大于0.1MPa；PRG压力：0.3MPa左右

（NaOH、KOH、H2SO4的PRG压力在0.4MPa左右）；VRG压力：0.5Mpa左右；

2. 穿戴合适的PPE：C级防化服、乳胶手套、防化靴、防毒面具（俗称“猪鼻子”）；准备相应的吸收棉；

3. 检查CDM内应打开手动阀是否已经打开（PMV、SMV、FIV、FOV），应打开的气

化学品操作规程SOP

一. 目的

使作业人员掌握化学品性质及安全（MSDS）、化学品设备CDM、阀门分流箱VMB、化学桶更换操作及应急反应措施，确保化学品房的正常工作及必要的安全保证，特制定本规程。

二. 适用范围

本规程适用于本厂化学品设备作业全过程。

三. 职责

1．运行巡检人员定时巡检抄表，并熟练掌握CDM控制屏及一些调压阀、流量

计的使用与操作，巡检时一旦发现异常，立即通知化学房相关负责人。

2．维护人员（或化学品相关负责人）不仅要掌握CDM、VMB的熟练操作（包括送液、换桶操作），还应对化学品的MSDS非常熟悉，发生化学品泄漏时做出相应的处理。

四. 操作

（一）供液操作

1. 首先确保供给工艺机台的液体是酸或碱，确保是满桶，确保抽风已开

（0.2KPa左右）；氮封压力满足：不大于0.1MPa；PRG压力：0.3MPa左右

（NaOH、KOH、H2SO4的PRG压力在0.4MPa左右）；VRG压力：0.5Mpa左右；

2. 穿戴合适的PPE：C级防化服、乳胶手套、防化靴、防毒面具（俗称“猪鼻子”）；准备相应的吸收棉；

3. 检查CDM内应打开手动阀是否已经打开（PMV、SMV、FIV、FOV），应打开的气

常用危险化学品的分类及标志

GB 13690-92

1 主题内容与适用范围

本标准对常用危险化学品按其主要危险特性进行了分类，并规定了危险品的包装标志。在附录部分列出了997种常用危险化学品分类明细表。表中给出每种危险化学品的品名、别名、英文名、分子式、主要危险性类别、次要危险性类别、危险特性及危险标志。

本标准适用于常用危险化学品的分类及包装标志，也适用于其他化学品的分类和包装标志。 2 引用标准

GB 190 危险货物包装标志

3 分类 常用危险化学品按其主要危险特性分为8类： 3.1 第1类 爆炸品

本类化学品指在外界作用下(如受热、受压、撞击等)，能发生剧烈的化学反应，瞬时产生大量的气体和热量，使周围压力急骤上升，发生爆炸,对周围环境造成破坏的物品，也包括无整体爆炸危险，但具有燃烧、抛射及较小爆炸危险的物品。 3.2 第2类 压缩气体和液化气体

本类化学品系指压缩、液化或加压溶解的气体，并应符合下述两种情况之一者： a.临界温度低于50℃，或在50℃时，其蒸气压力大于294kPa的压缩或液化气体； b.温度在21.1℃时，气体的绝对压力大于275kPa，或在54.4℃时,气体的绝对压力大于715kPa的压缩气体；

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危险化学品清单及安全信息卡

MSDS

编制：审核：批准：

危险化学品清单

危险化学品安全信息卡

（MSDS）

氢氧化钠

危险化学品安全信息卡

（MSDS）

硫酸

危险货物编号：81007 资料编号：WH-02

危险化学品安全信息卡

（MSDS）

重铬酸钾

危险化学品安全信息卡

（MSDS）

盐酸

第一部分化学品及企业标识

中文名：盐酸

第二部分成分/组成信息

分子式：HCl

主要成分：氯化氢含量≥31％;

CAS号：7647－01－0

相对分子质量：36.46

第三部分危险性概述

危险性类别：第8.1类酸性腐蚀品

危险性综述：本品不燃，具强刺激性、对环境有危害，对水体可造成污染。

侵入途径：吸入、食入。

健康危害：接触其酸雾，引起眼结膜炎，鼻及口腔粘膜有烧灼感。

急性中毒：

慢性影响：鼻血、齿龈出血、气管炎、刺激皮肤发生皮炎、慢性支气管炎等病变，误服盐酸，可引起消化道灼伤、溃疡形成，有可能胃穿孔，腹膜炎等。

第四部分急救措施

皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。或用2％碳酸氢钠溶液冲洗，若有灼伤，就医。

眼睛接触：立即提起眼睑