化学机械抛光工艺流程

化学机械抛光工艺（CMP）

摘要：本文首先定义并介绍CMP工艺的基本工作原理，然后，通过介绍CMP系统，从工艺设备角度定性分析了解CMP的工作过程，通过介绍分析CMP工艺参数，对CMP作定量了解。在文献精度中，介绍了一个SiO2的CMP平均磨除速率模型，其中考虑了磨粒尺寸，浓度，分布，研磨液流速，抛光势地形，材料性能。经过实验，得到的实验结果与模型比较吻合。MRR模型可用于CMP模拟，CMP过程参数最佳化以及下一代CMP设备的研发。最后，通过对VLSI制造技术的课程回顾，归纳了课程收获，总结了课程感悟。

关键词： CMP、研磨液、平均磨除速率、设备

Abstract：This article first defined and introduces the basic working principle of the CMP process, and then, by introducing the CMP system, from the perspective of process equipment qualitative analysis to understand the working process of the CMP, a

化学机械抛光液（CMP）氧化铝抛光液具体添加剂

摘要：本文首先定义并介绍CMP工艺的基本工作原理，然后，通过介绍CMP系统，从工艺设备角度定性分析了解CMP的工作过程，通过介绍分析CMP工艺参数，对CMP作定量了解。在文献精度中，介绍了一个SiO2的CMP平均磨除速率模型，其中考虑了磨粒尺寸，浓度，分布，研磨液流速，抛光势地形，材料性能。经过实验，得到的实验结果与模型比较吻合。MRR模型可用于CMP模拟，CMP过程参数最佳化以及下一代CMP设备的研发。最后，通过对VLSI制造技术的课程回顾，归纳了课程收获，总结了课程感悟。

关键词： CMP、研磨液、平均磨除速率、设备

Abstract：This article first defined and introduces the basic working principle of the CMP process, and then, by introducing the CMP system, from the perspective of process equipment qualitative analysis to understand the working process of

化学机械抛光 保持环压力 有限元分析

2007年8月第25卷第4期西北工业大学学报

JournalofNorthwesternPolytechnicalUniversityAug.2007Vol.25No.4

晶圆化学机械抛光中保持环压力的有限元分析

黄杏利1,傅增祥2,杨红艳2,马彬睿2

(1.西北工业大学材料科学与工程学院;2.西北工业大学生命科学院,陕西西安　710072)

α

摘　要:在集成电路(IC)行业中,化学机械抛光(CMP)是获得全局平坦化的技术增加,在CMP加工过程中,晶圆边缘容易出现“过磨(2)”用率。的“过磨”现象。由此说明,,晶圆和CMP工艺成本高,依靠实验探索CMP,所以保持环压力不宜通过实验方法确定,。,得出了保持。针对不同CMP,从而提高晶圆抛光质量及利用率,降低晶圆制造成本。关　键　词:化学机械抛光(CMP),晶圆,保持环,有限元方法(FEM)

中图分类号:TN302;TN305.99　　文献标识码:A　　　文章编号:100022758(2007)0420508204　　化学机械抛光(chemicalmechanicalpolish,CMP)技术是制备晶圆的关键步骤,它能满足晶圆所必须的严格的工艺控制、高质量的表面外形及平面度

化学机械抛光 保持环压力 有限元分析

2007年8月第25卷第4期西北工业大学学报

JournalofNorthwesternPolytechnicalUniversityAug.2007Vol.25No.4

晶圆化学机械抛光中保持环压力的有限元分析

黄杏利1,傅增祥2,杨红艳2,马彬睿2

(1.西北工业大学材料科学与工程学院;2.西北工业大学生命科学院,陕西西安　710072)

α

摘　要:在集成电路(IC)行业中,化学机械抛光(CMP)是获得全局平坦化的技术增加,在CMP加工过程中,晶圆边缘容易出现“过磨(2)”用率。的“过磨”现象。由此说明,,晶圆和CMP工艺成本高,依靠实验探索CMP,所以保持环压力不宜通过实验方法确定,。,得出了保持。针对不同CMP,从而提高晶圆抛光质量及利用率,降低晶圆制造成本。关　键　词:化学机械抛光(CMP),晶圆,保持环,有限元方法(FEM)

中图分类号:TN302;TN305.99　　文献标识码:A　　　文章编号:100022758(2007)0420508204　　化学机械抛光(chemicalmechanicalpolish,CMP)技术是制备晶圆的关键步骤,它能满足晶圆所必须的严格的工艺控制、高质量的表面外形及平面度

高考化学工艺流程题

一、解读考试说明，探究命题思路

1、化学工艺流程题为何取代传统无机框图题？

传统无机框图题多年来一直是高考化学试卷中备受青睐的热门题型，但由于该类试题人为设计成分较多、问题编制模式过于单一、逻辑推理味道浓厚而化学味道淡薄，取而代之的是创新的工业生产流程题。 工业生产流程题取材于真实的、广阔的工业生产和日常生活，问题设计更加灵活，更有化学味，是落实新课程高考对考生素质和能力要求的具体体现，能够考查考生“将与化学相关的实际问题分解，综合运用相关知识和科学方法，解决生产、生活实际和科学研究中的简单化学问题的能力”。正是新课程突出化学是一门实用性、创造性的科学，化学高考试题的发展趋势必然是重视与生产、生活的紧密联系，化学工艺流程题便成为近年来北京高考的新亮点和主流题型。

2、化学工艺流程题考查三维目标

1）知识和技能

(1)由例题分析，初步认识工业生产流程题的特点。 (2)了解工业生产流程题的解题思路和应具备的能力要求。 2）过程和方法采用例举、讨论、演绎、归纳等方式。 3）情感态度和价值观

(l)通过对工业生产流程题“真实性”的分析，培养学生的化学素养。 (2)开展多种形式的讨论交流活动，培养学生的互助合作精神。

工艺流程图题型突破

1．【2017新课标1卷】（14分）

Li4Ti5O12和LiFePO4都是锂离子电池的电极材料，可利用钛铁矿（主要成分为FeTiO3，还含有少量MgO、SiO2等杂质）来制备，工艺流程如下：

回答下列问题：

（1）“酸浸”实验中，铁的浸出率结果如下图所示。由图可知，当铁的浸出率为70%时，所采用的实验条件为___________________。

（2）“酸浸”后，钛主要以错误！未找到引用源。形式存在，写出相应反应的离子方程式__________________。

xH2O沉淀与双氧水、氨水反应40 min所得实验结果如下表所示： （3）TiO2·

温度/℃ TiO2·xH2O转化率% 30 92 35 95 40 97 45 93 50 88 xH2O转化率最高的原因__________________。 分析40 ℃时TiO2·

（4）Li2Ti5O15中Ti的化合价为+4，其中过氧键的数目为__________________。

（5）若“滤液②”中错误！未找到引用源。，加入双氧水和磷酸（设溶液体积增加1倍），使错误！

未找到引用源。恰好沉淀完全即溶液中错误！未找到引用源。，此时是否有Mg3(PO4)2沉淀生

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专题复习

化学工艺流程题教学设计

赤水三中化学组许国兵

教学目标：

1、使学生了解化学工艺流程题的常见题型； 2、掌握化学工艺流程题的分析方法和技巧；

3、学会常见化学工艺流程题的解题方法和挖掘隐含信息技巧；

4、培养学生发散、联想、归纳、整合、提炼知识的能力； 5、训练学生思维的灵活性、变通性，提高学生的类比思维及逻辑推理能力。 教学重点：化学工艺流程题的分析方法和技巧 教学难点：化学工艺流程题的分析方法和技巧 教学方法：复习提问、启发、归纳总结 教学过程：

【导入】同学们，还记得适应性考试的的26题考的是什么吗？ 【板书】化学工艺流程题 【讲述】近年高考中工艺流程题备受关注。该类题将化工生产中的主要生产流程用框图形式表示出来，并根据其中涉及的化学知识步步设问，构成与化工生产紧密联系的化学工艺流程题。工艺流程题的结构分题头、流程图和问题三部分。题头一般简单介绍该工艺生产的原材料和生产目的，流程图部分主要用框图形式将原料到产品的主要生产工艺表示出来，问题部分主要根据生产过程中涉及的化学知识设计一系列问题。该类题目主要以非选择题呈现。（如2015?全国卷ⅠT 27 ）

化学工艺流程题的常见题型有两类：一是以物质制备为载体

专题复习

化学工艺流程题教学设计

赤水三中化学组许国兵

教学目标：

1、使学生了解化学工艺流程题的常见题型； 2、掌握化学工艺流程题的分析方法和技巧；

3、学会常见化学工艺流程题的解题方法和挖掘隐含信息技巧；

4、培养学生发散、联想、归纳、整合、提炼知识的能力； 5、训练学生思维的灵活性、变通性，提高学生的类比思维及逻辑推理能力。 教学重点：化学工艺流程题的分析方法和技巧 教学难点：化学工艺流程题的分析方法和技巧 教学方法：复习提问、启发、归纳总结 教学过程：

【导入】同学们，还记得适应性考试的的26题考的是什么吗？ 【板书】化学工艺流程题 【讲述】近年高考中工艺流程题备受关注。该类题将化工生产中的主要生产流程用框图形式表示出来，并根据其中涉及的化学知识步步设问，构成与化工生产紧密联系的化学工艺流程题。工艺流程题的结构分题头、流程图和问题三部分。题头一般简单介绍该工艺生产的原材料和生产目的，流程图部分主要用框图形式将原料到产品的主要生产工艺表示出来，问题部分主要根据生产过程中涉及的化学知识设计一系列问题。该类题目主要以非选择题呈现。（如2015?全国卷ⅠT 27 ）

化学工艺流程题的常见题型有两类：一是以物质制备为载体

仔细阅读 ,熟悉流程 ,整体把握提取信息 ,运用信息 ,搞懂原理掌握要点 ,审题分析 ,规范答题核心

解读化学工艺流程题

仔细阅读 ,熟悉流程 ,整体把握提取信息 ,运用信息 ,搞懂原理掌握要点 ,审题分析 ,规范答题核心

Ag/α- Al2O3是石油化学工业的一种重要催化剂 Ag起催化作用 α-Al2O3是载体且不溶于硝酸

仔细阅读 ,熟悉流程 ,整体把握提取信息 ,运用信息 ,搞懂原理掌握要点 ,审题分析 ,规范答题核心

流程题1:石油工业催化剂Ag/α-Al2O3 的回收利用Ag/α-Al2O3 (Ⅰ) 酸 溶 HNO3 蒸馏水 (Ⅱ) 过滤、洗涤 α-Al2O3 NaOH溶液 (Ⅷ) HNO3 (Ⅵ) AgCl(S) Fe2O3 (Ⅴ) NaCl (Ⅲ) 沉 淀 NaNO3溶液

(Ⅳ)

NOx

吸 收

(Ⅶ)

酸 溶

转 化FeCl3

AgNO3晶体

仔细阅读 ,熟悉流程 ,整体把握提取信息 ,运用信息 ,搞懂原理掌握要点 ,审题分析 ,规范答题核心

读题审题1.此流程的目的是什么？2.流程中有哪些步骤？ 3.流程中涉及哪些知识点？ 4.用规范的语言把你获取的信息转化为答案。

仔细阅读 ,熟悉流程 ,整体把握提取信息 ,运用信息 ,搞懂原理掌握要点 ,审

工艺流程

动力工段，隶属风机发电部，以满足高炉供风需求为主，现有供风系统5套，分别为公司的5个高炉供风（分别为新1#高炉、新2#高炉3#高炉、6#高炉和7#高炉）。工段运行岗位主要包括：锅炉、汽机、BPRT、新56、除盐水站（实验室）、水场。

其中化验室负责两台锅炉用水的生产，对炉水、凝结水的化验及水的化学处理。有水处理操作工和水质化验员岗位。

水场：水场是水循环系统中枢，为各部门供水提供需求。（主要为二轧、三轧、带钢提供+Nacl的软水）为需要冷却水的地方提供循环水（像新56、汽轮机等）。有操作工岗位。

图例：

水处理工艺流程方块图

工艺流程线路图

深井来水---进入原水箱---原水泵---机械过滤器---阳离子交换器---除碳器---进入中间水箱---中间水泵---阴离子交换器---混合离子交换器---进入除盐水箱---除盐水泵（加氨装置）---除氧器 再生处理线路图

酸（碱）运输罐车---卸酸（碱）泵---进入酸（碱）储罐---酸（碱）计量箱---酸（碱）喷射器---和水混合---阳（阴）离子交换器再生管道---阳（阴）离子交换器---经过树脂层---排出交换器

锅炉：动力工段的锅炉