光刻技术是现代纳米级电路的基石

Harbin Institute of Technology

精密和超精密加工技术论文

论文名称： 光刻技术及其应用 课程名称： 精密和超精密加工技术 专 业： 机械设计制造及其自动化 班 级： 1208104 姓 名： 孙文熙 学 号： 1120810404

哈尔滨工业大学

光刻技术及其应用

摘要：集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的 工艺技术。随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级（从毫米级到亚微米级），已从常规光学技术发展到应用电子束、 X射线、微离子束、激光等新技术；使用波长已从4000埃扩展到 0.1埃数量级范围。光刻技术成为一种精密的微细加工技术。本文就光刻技术的概念和工艺过程进行介绍，并对其发展与应用进行展望。

关键字：光刻技术，工艺流程，步骤，应用。

一、光刻技术的概念

光刻技术是在一片平整的硅片上构建半导体MOS管和电路的基

颜料型纳米级色浆阐述与工艺探讨

摘要：本文从颜料型纳米级墨水色浆(以下简称为纳米色浆)的原材料，工艺和性能参数着手，重点综述了纳米色浆的实验工艺和相关问题的研究情况。纳米色浆作为墨水的基材是生产优良成品墨水的基础，大力推进纳米色浆技术突破研究，对于提高墨水生产和技术水平具有很大的推动作用。

关键词：色浆；颜料；纳米

前言： 一般在制备颜料型纳米墨水前，需将颜料制备成均匀、稳定的纳米色浆，以便节省成本和质量控

制，因此纳米色浆作为墨水的主要原材料，纳米色浆的参数指标必须满足墨水生产需要。通常纳米色浆分为水溶性和醇溶性两种，先以不同性质的颜料和原料相匹配，然后采用相适应的设备和方法进行生产。优

质纳米色浆对制成的墨水后续性能具有十分重要的意义。 本文将对纳米色浆的制备进行简要阐述与工艺探讨。

一、色浆的定义与制备组成

一般而言，色浆是由颜料、分散剂、润湿剂、及分散介质一溶剂组成。水性色浆有时需加入些许消泡

剂。根据使用和储存的需要有时会添加一些提高性能的助剂，如防腐剂等。

以水为分散介质，把颜料粒子分散在水中制成的颜料型色浆是水性色浆；同样，以醇类等为分散介质，把颜料粒子分散在溶剂中的色浆是醇溶性色浆；纳米色浆为体系中颗粒平

龙源期刊网 http://www.qikan.com.cn

LED照明新技术热点多纳米级新材料或成新光源

作者：彭万华

来源：《中国电子报》2015年第68期

我国半导体照明产业近几年在产量、产值和技术指标等方面均取得突破性发展。2014年，我国半导体照明光源、灯具的产值为950亿元，同比增长43.9%。其中，LED照明产品出口为90亿美元，同比增长50%，LED照明渗透率为20%。2015年上半年，LED照明产品同比约增长23%左右，1～5月份出口为40.8亿美元，与去年同期相当。

从全球半导体照明的最新动态来看，全球LED器件光效实验室水平已超过300lm/w，产业化水平达到1501m/w以上，LED整灯光效实验室水平达200lm/w。美围SSL计划目标调整为器件光效产业化水平达250lm/w.LED整灯光效产业化水平达2001m/w。总之，LED照明产品的渗透率、光效等与理论值和目标值还有很大差距，技术上还需要有较大突破。 LED照明技术 呈现八大趋势

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LED照明新技术热点多纳米级新材料或成新光源

作者：彭万华

来源：《中国电子报》2015年第68期

我国半导体照明产业近几年在产量、产值和技术指标等方面均取得突破性发展。2014年，我国半导体照明光源、灯具的产值为950亿元，同比增长43.9%。其中，LED照明产品出口为90亿美元，同比增长50%，LED照明渗透率为20%。2015年上半年，LED照明产品同比约增长23%左右，1～5月份出口为40.8亿美元，与去年同期相当。

从全球半导体照明的最新动态来看，全球LED器件光效实验室水平已超过300lm/w，产业化水平达到1501m/w以上，LED整灯光效实验室水平达200lm/w。美围SSL计划目标调整为器件光效产业化水平达250lm/w.LED整灯光效产业化水平达2001m/w。总之，LED照明产品的渗透率、光效等与理论值和目标值还有很大差距，技术上还需要有较大突破。 LED照明技术 呈现八大趋势

良好的习惯是成功的基石

我是一名小学教师，我看不惯以分数高低来衡量孩子们好坏的做法。小孩子嘛毕竟是小孩，什么都不懂，很贪玩，是天性，如果不贪玩不调皮那还是小孩吗？所以我们不要逼着孩子们干他们不喜欢干的事情。顺其自然，张扬他们的个性，培养他们的情操，这比什么都重要。小学段阶是儿童形成各种良好习惯的关键时期。他们的习惯养成不仅影响小学阶段的学习成绩，而且影响以后乃至将来的一生，因此，培养学生良好的习惯是小学教育的重中之重。 一、 首先是孩子的自觉学习的习惯

小学生应具有专心听讲、阅读书本、多动脑筋、完成作业、要培养学生良好的学习习惯，首先教师在教学中，要采取灵活的教学方法来吸引学生的注意力，调动学生的学习积极性，激发学生的学习兴趣。还要教给学生专心听讲的方法，培养学生边听边想的习惯，遇到不懂的地方，要及时向老师提出，强化学生在课堂中积极主动的学习。特别要培养学生求异思维，逐步形成独立的观察与思考能力。其次，教师要及时批改学生的作业，及时反馈，了解学生作业中的常见错误和多发错误，让学生认真纠错。还要把好作业有意识地展示给学生，使学生产生向榜样看齐的向上心理，自我纠正错误，书写规范。学生在课堂上获取知识毕竟是有限的，要指导学生利用课余时间阅读

● 最困难的部分——“真正的”半导体工艺 一颗CPU/GPU的基本制造流程

晶圆生产线（图片源自ZDNet）

在不考虑多次掺杂顺序、栅极形成于热处理前还是热处理后以及CMP（化学机械研磨）等细节性问题的前提下，半导体的制作流程大体上可以被概括为这样一个链条：单晶硅锭生长—wafer切割—覆胶—光刻—清洗—蚀刻—清洗—覆胶—光刻—清洗—多次掺杂—多次沉积—芯片切割—封测。

半导体制造过程实际上是一个“自下而上”进行的二维单向过程，人们通过蚀刻形成沟道，透过掺杂形成栅极，经由沉积敷设导线，因为每个过程都需要破坏或者改变一部分wafer表面区域的结构，而且这种破坏和改变都是不可逆的，如果提前破坏了后续步骤需要加工的区域，整个芯片将无法完成。所以半导体芯片的制造必须而且只能按照设计好的顺序，从最底层向上逐级进行这一系列的破坏和改变。这样的特点，造就了以“覆胶遮盖—光刻—清洗暴露—区域处理”为核心半导体芯片制造的独特过程。

简单的芯片制造工艺流程（Intel提供）

对芯片的加工起点是从最基本的沟道形成开始的，在长成单晶硅锭并切割好wafer之后，我们首先要在wafer表面敷上一层对特定波长光线非常敏感的溶胶。接下来，我们会用事先标记好需

● 最困难的部分——“真正的”半导体工艺 一颗CPU/GPU的基本制造流程

晶圆生产线（图片源自ZDNet）

在不考虑多次掺杂顺序、栅极形成于热处理前还是热处理后以及CMP（化学机械研磨）等细节性问题的前提下，半导体的制作流程大体上可以被概括为这样一个链条：单晶硅锭生长—wafer切割—覆胶—光刻—清洗—蚀刻—清洗—覆胶—光刻—清洗—多次掺杂—多次沉积—芯片切割—封测。

半导体制造过程实际上是一个“自下而上”进行的二维单向过程，人们通过蚀刻形成沟道，透过掺杂形成栅极，经由沉积敷设导线，因为每个过程都需要破坏或者改变一部分wafer表面区域的结构，而且这种破坏和改变都是不可逆的，如果提前破坏了后续步骤需要加工的区域，整个芯片将无法完成。所以半导体芯片的制造必须而且只能按照设计好的顺序，从最底层向上逐级进行这一系列的破坏和改变。这样的特点，造就了以“覆胶遮盖—光刻—清洗暴露—区域处理”为核心半导体芯片制造的独特过程。

简单的芯片制造工艺流程（Intel提供）

对芯片的加工起点是从最基本的沟道形成开始的，在长成单晶硅锭并切割好wafer之后，我们首先要在wafer表面敷上一层对特定波长光线非常敏感的溶胶。接下来，我们会用事先标记好需

良好的习惯是成功的基石

我是一名小学教师，我看不惯以分数高低来衡量孩子们好坏的做法。小孩子嘛毕竟是小孩，什么都不懂，很贪玩，是天性，如果不贪玩不调皮那还是小孩吗？所以我们不要逼着孩子们干他们不喜欢干的事情。顺其自然，张扬他们的个性，培养他们的情操，这比什么都重要。小学段阶是儿童形成各种良好习惯的关键时期。他们的习惯养成不仅影响小学阶段的学习成绩，而且影响以后乃至将来的一生，因此，培养学生良好的习惯是小学教育的重中之重。 一、 首先是孩子的自觉学习的习惯

小学生应具有专心听讲、阅读书本、多动脑筋、完成作业、要培养学生良好的学习习惯，首先教师在教学中，要采取灵活的教学方法来吸引学生的注意力，调动学生的学习积极性，激发学生的学习兴趣。还要教给学生专心听讲的方法，培养学生边听边想的习惯，遇到不懂的地方，要及时向老师提出，强化学生在课堂中积极主动的学习。特别要培养学生求异思维，逐步形成独立的观察与思考能力。其次，教师要及时批改学生的作业，及时反馈，了解学生作业中的常见错误和多发错误，让学生认真纠错。还要把好作业有意识地展示给学生，使学生产生向榜样看齐的向上心理，自我纠正错误，书写规范。学生在课堂上获取知识毕竟是有限的，要指导学生利用课余时间阅读

关于纳米在生物上的应用

生物技术通报

·综述与专论·

BIOTECHNOLOGYBULLETIN

2009年第2期

纳米级金微粒在DNA生物传感器研究中的应用

鲁卫平

摘重点。

关键词：纳米金

生物传感器

ＤＮＡ传感器

周元国

（第三军医大学大坪医院野战外科研究所分子生物学中心，重庆400042）

要：纳米金颗粒具有独特的物理、化学性质和良好的生物兼容性，已广泛应用于生命科学研究中的示踪技术。

将该技术与ＤＮＡ传感器相结合，可显著提高生物传感器的灵敏度，缩短检测时间和提高检测通量，已成为近年来的研究

ApplicationofNano-goldParticlesinDNABiosensors

ＬｕＷｅｉｐｉｎｇ

ＺｈｏｕＹｕａｎｇｕｏ

（MolecularBiologyCenterofDapingHospitaloftheThirdMilitaryMedicalUniversity，Chongqing400042）Abstract：Ｔｈｅｎａｎｏ-ｇｏｌｄｐａｒｔｉｃｌｅｓｗｈｉｃｈｆｅａｔｕｒｅｕｎｉｑｕｅｐｈｙｓｉｃａｌ，ｃｈｅｍｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｙａｎｄｂｉｏｌｏｇｉｃａｌｃｏｍｐａｔｉｂｉｌｉｔｙ，ｈａｓｂｅｅｎｗｉｄｅｌｙｕｓｅｄｉｎｔｈｅｔｒ

关心是一切成功教育的基

石

关心是一切成功教育的基石——读内尔·诺丁斯的《学会关心——教育的另一种模式》韦禾 当编辑多年，几乎全部职业生涯都是在阅读中度过的，但很少有一本书如此深刻地打动我，这就是内尔·诺丁斯(Nel Noddings)的《学会关心：教育的另一种模式》(教育科学出版社)。这本书带给我的感觉一言难尽，阅读时的心情远非平时做编辑看书稿可比，我时不时地读出声来，并急于把其中的一些精妙之处告诉我的同事，告诉我的家人，与他们分享我的感受；我给远在美国的译者发E-mail，感谢他把这么好的书译介过来；甚至，我还来不及读完它，就迫不及待地要写下我的感受，记录下阅读中那些自然流淌出来的发自内心的每一个微小的感觉。 这本书的主题是“关心”。作者在引言中说： “关心和被关心是人类的基本需要。我们需要被他

人关心。当一个人处于婴幼儿时期，或者病痛和衰老来临之际，这种需要显得尤其迫切和普遍。我们接受关心，生活在关心所营造的一种氛围之中。没有这种关心，我们就无法生存下去，成为一个完整的人。在人生的每一个阶段，我们都需要被他人关心，随时需要被理解，被接受，被认同。 同样，我们也需要关心他人。但是，并非所有人都学会了如何关心他人。有些人真诚地关心