材料微结构分析原理与方法

微系统

第5章

其他微结构加工方法吴丰顺 材料学院 Email: wufengshun163@ Tel: 027-87792402

微系统

主要内容

5.1 机械微加工 5.2 5.3 放电加工(EDM) 激光微加工

2013-7-9

华中科技大学材料学院 吴丰顺

微系统

5.1

机械微加工

机械微加工最初是由德国FZK研究中心与MBB公司合作 研制的，目的是能够用亚毫米技术生产廉价的喷嘴，该 喷嘴用于由同位素235U生产的浓缩气体UF6。 在本书中强调的微加工技术是由FZK研究中心研制用于 生产微机械结构的新工艺，在工艺中采用成型微刀具对 表面的薄膜结构和基底进行精加工。 例如，微结构体可以采用微通道技术，用金属薄膜的堆 叠和焊接技术生产。

机械微加工的最小尺寸可以达到几个微米，金属和合金也可以像塑料和半导体材科硅一样成型。华中科技大学材料学院 吴丰顺3

2013-7-9

微系统

5.1.1

生产过程与主要结构

金属薄片式的微结构，基本上可以用两种精密金刚石刀具 加工。 第一种：图5.1-1是用车床加 工的示意图，金属薄片被绕在 一个安装在车床主轴上的圆盘 上，然后借助弹簧拉力拉紧， 可调整式的微刀具被安装在圆 盘下面可滑动的支撑架上，使 用CNC装臵控制支撑架

几种材料微观结构分析方法简介

Introduction to several materials microstructure analysis method

黑道梦境间谍 指导教师: XXX

摘要:材料的微观世界丰富多彩,处处蕴含着材料之美.然而如何分析材料的微观结构是一个很重要的问题.本文章将介绍几种分析材料微观结构的方法, 通过微观结构分析仪器来对微观材料结构进行探索

关键词 :材料微观结构 X射线 激光拉曼光谱 电子显微分析方法

1 引言

材料科学在21世纪的地位愈发重要,各种各样的材料具有许多优良的物理及化学特性以及一系列新异的力、光、声、热、电、磁及催化特性，被广泛应用于国防、电子、化工、建材、医药、航空、能源、环境及日常生活用品中，具有重大的现实与潜在的高科技应用前景。材料科技是未来高科技的基础, 而微观材料分析方法是材料科学中必不可少的实验手段。因此, 微观材料分析方法对材料科学甚至是整个科技的发展都具有重要的意义和作用.

2 X射线分析

X射线是一种波长很短的电磁波，这是1912年由劳埃M.von Laue指导下的著名的衍射实验所证实的。X射线衍射是利用X射线在晶体中的衍射现象来分析材料的晶体

由于表面纳/微结构在微电子和生物学等领域有着广泛的应用前景,其构筑方法引起了人们越来越多的关注。目前已经发展出了多种表面纳/微结构的构筑方法,然而在大面积上构筑表面结构仍然是一个非常重要的研究课题。自组装技术作为一种无模板的构筑方法,在这方面发挥了重要作用。

第19卷第6期2007年6月

化　学　进　展

PROGRESSINCHEMISTRY

Vol.19No.6

　June,2007

利用Langmuir2Blodgett技术构筑表面微结构的方法

黄春玉　吕　男

1

133

3

　迟力峰

1,233

(1.吉林大学超分子结构与材料教育部重点实验室　长春130012;

2.德国明斯特大学物理所德中纳米研究中心　明斯特48149)

摘　要　由于表面纳Π微结构在微电子和生物学等领域有着广泛的应用前景,其构筑方法引起了人们越

来越多的关注。目前已经发展出了多种表面纳Π微结构的构筑方法,个非常重要的研究课题。自组装技术作为一种无模板的构筑方法,。本文着重介绍了近年来Langmuir2Blodgett(LB)Π、岛状结构及纳米线状结构的构筑方法,。这些结构的构筑不仅可以用传统的两亲性分子,。同时简单介绍了以LB技术构筑的表面纳Π关键词　Langmuir微结构　:A　文章编号:1005

材料分析原理与技术

材料分析原理与技术

一．单选

1.当X射线发生装置是Cu靶，滤波片应选（ ）

Cu Fe Ni Mo

2.XRD属于（ ）

光谱 能谱 衍射花样

3.一般来说什么样的样品适合于粉末衍射（ ）

具有高度织构的样品 无规则排列的多晶粉末 单晶块材

4.电子束与固体样品相互作用产生的物理信号中可用于分析1nm厚表层成分的信号是（ ）

背散射电子 俄歇电子 特征X射线

5.中心暗场像的成像操作方法是（ ）

以物镜光栏套住透射斑 以物镜光栏套住衍射斑 将衍射斑移至中心并以物镜光栏套住透射斑

6.衍射仪法中的试样形状是（ ）

丝状粉末多晶 块状粉末多晶 块状单晶 任意形状

7.面心立方晶体（111）晶面族的多重性因素是（ ）

4 8 6 12

8.一束X射线照射到晶体上能否产生衍射取决于（ ）

是否满足布拉格条件 是否衍射强度I≠0 A+B 晶体形状

9.衍射现象的产生是因为样品中有什么（ ）

周期性排列的原子结构 吸收限近似于入射光子能量的元素 短程有序的无定形相

10.X射线物相定性分析方法中有三种索引，如果已知物质名时可以采用（ ）

哈氏无机数值索引 芬克

材料分析原理与技术

材料分析原理与技术

一．单选

1.当X射线发生装置是Cu靶，滤波片应选（ ）

Cu Fe Ni Mo

2.XRD属于（ ）

光谱 能谱 衍射花样

3.一般来说什么样的样品适合于粉末衍射（ ）

具有高度织构的样品 无规则排列的多晶粉末 单晶块材

4.电子束与固体样品相互作用产生的物理信号中可用于分析1nm厚表层成分的信号是（ ）

背散射电子 俄歇电子 特征X射线

5.中心暗场像的成像操作方法是（ ）

以物镜光栏套住透射斑 以物镜光栏套住衍射斑 将衍射斑移至中心并以物镜光栏套住透射斑

6.衍射仪法中的试样形状是（ ）

丝状粉末多晶 块状粉末多晶 块状单晶 任意形状

7.面心立方晶体（111）晶面族的多重性因素是（ ）

4 8 6 12

8.一束X射线照射到晶体上能否产生衍射取决于（ ）

是否满足布拉格条件 是否衍射强度I≠0 A+B 晶体形状

9.衍射现象的产生是因为样品中有什么（ ）

周期性排列的原子结构 吸收限近似于入射光子能量的元素 短程有序的无定形相

10.X射线物相定性分析方法中有三种索引，如果已知物质名时可以采用（ ）

哈氏无机数值索引 芬克

第七章 透射电子显微术

7.1 引言 看物体的极限

（1）人眼不能看到比0.1mm更小的特体或物质结构细节，借助光学显微镜，可以看到细菌、细胞等小物体。由于光波的衍射效应。（2）光学显微镜的分辨率极限大约是光波的半波长，可见光的短波长约为0.4μm，所以光学显微镜的极限分辨本领是0.2μm。要观察更微小的物体，必须利用更短的波作光源。

（3）100KV电压加速的电子，相应的德布罗依波的波长为3.7pm，比可见光小几十万倍，物理学家们利用“电子在磁场中运动与光在介质中传播相似的性质”，研究成功了电子透镜。并于1932－1933间制成了第一台电子显微镜，现代高性能的透射电子显微镜，点分辨本领优于0.3Anm，晶格分辨本领达到0.1－0.2nm，而且自动化程度高，具有多方面的综合分析功能，是自然科学一些领域中观察微观世界的“科学之眼”。在生物学、医学、材料科学中，在物理、化学等学科和矿物、地质部门中，电子显微分析都发挥着重要作用，电子显微镜使人们进入观察“nm粒子”结构的时代，已直接看到了某些特殊的大分子结构（氯代酞菁同），还看到了某些物质的原子像。 一、电子显微镜的光学基础及透气类型：

电子光学是电子显微镜的理论基础，主要研究电子在电磁场中的

第七章 透射电子显微术

7.1 引言 看物体的极限

（1）人眼不能看到比0.1mm更小的特体或物质结构细节，借助光学显微镜，可以看到细菌、细胞等小物体。由于光波的衍射效应。（2）光学显微镜的分辨率极限大约是光波的半波长，可见光的短波长约为0.4μm，所以光学显微镜的极限分辨本领是0.2μm。要观察更微小的物体，必须利用更短的波作光源。

（3）100KV电压加速的电子，相应的德布罗依波的波长为3.7pm，比可见光小几十万倍，物理学家们利用“电子在磁场中运动与光在介质中传播相似的性质”，研究成功了电子透镜。并于1932－1933间制成了第一台电子显微镜，现代高性能的透射电子显微镜，点分辨本领优于0.3Anm，晶格分辨本领达到0.1－0.2nm，而且自动化程度高，具有多方面的综合分析功能，是自然科学一些领域中观察微观世界的“科学之眼”。在生物学、医学、材料科学中，在物理、化学等学科和矿物、地质部门中，电子显微分析都发挥着重要作用，电子显微镜使人们进入观察“nm粒子”结构的时代，已直接看到了某些特殊的大分子结构（氯代酞菁同），还看到了某些物质的原子像。 一、电子显微镜的光学基础及透气类型：

电子光学是电子显微镜的理论基础，主要研究电子在电磁场中的

第七章 透射电子显微术

7.1 引言 看物体的极限

（1）人眼不能看到比0.1mm更小的特体或物质结构细节，借助光学显微镜，可以看到细菌、细胞等小物体。由于光波的衍射效应。（2）光学显微镜的分辨率极限大约是光波的半波长，可见光的短波长约为0.4μm，所以光学显微镜的极限分辨本领是0.2μm。要观察更微小的物体，必须利用更短的波作光源。

（3）100KV电压加速的电子，相应的德布罗依波的波长为3.7pm，比可见光小几十万倍，物理学家们利用“电子在磁场中运动与光在介质中传播相似的性质”，研究成功了电子透镜。并于1932－1933间制成了第一台电子显微镜，现代高性能的透射电子显微镜，点分辨本领优于0.3Anm，晶格分辨本领达到0.1－0.2nm，而且自动化程度高，具有多方面的综合分析功能，是自然科学一些领域中观察微观世界的“科学之眼”。在生物学、医学、材料科学中，在物理、化学等学科和矿物、地质部门中，电子显微分析都发挥着重要作用，电子显微镜使人们进入观察“nm粒子”结构的时代，已直接看到了某些特殊的大分子结构（氯代酞菁同），还看到了某些物质的原子像。 一、电子显微镜的光学基础及透气类型：

电子光学是电子显微镜的理论基础，主要研究电子在电磁场中的

篇一：党员个人党性分析材料的写作要点

党员个人的党性分析材料是党员以个人名义向党组织报告自身党性状况，不同于述职报告，也不同于工作总结。

一、党性分析材料自述性和分析性的要求

一是自述性。党性分析的一个重要特点，就是对自己以往思想和工作的回顾和思考，通过回顾，反思自己在理想信念、宗旨观念、组织纪律、思想作风和工作作风方面存在什么问题，达到正确认识自我的目的。这就要求党性分析材料使用第一人称，采用自述的方式，向党组织报告自己的真实情况。

二是分析性，党性分析要对照“三个代表”重要思想和党章的要求，运用辩证唯物主义和历史唯物主义的观点，对党员的党性状况做出实事求是的评价和剖析，在查找问题的基础上分析原因，明确今后努力的方向。因此，党性分析材料要求对个人在党性方面存在问题的

原因、危害、后果，以及克服、纠正存在问题的措施和办法，进行认真深入的分析、说明。 党性分析材料没有固定的格式，一般应有标题和正文组成。

党性分析材料的标题，常见的写法有两种：一是文种式标题，只写“个人党性分析材料”即可；二是复合式标题，由正标题和副标题组合而成。

党性分析材料的正文，由开头、主体两部分组成。开头部分，一般先交代本人入党时间、工作及任职情况，再写参加先进性教育活动第一阶段，即学

第一章

一、选择题

1.用来进行晶体结构分析的X射线学分支是（ B ） A.X射线透射学；B.X射线衍射学；C.X射线光谱学；D.其它

2. M层电子回迁到K层后，多余的能量放出的特征X射线称（ B ） A. Kα；B. Kβ；C. Kγ；D. Lα。

3. 当X射线发生装置是Cu靶，滤波片应选（ C ）

A． Cu；B. Fe；C. Ni；D. Mo。

4. 当电子把所有能量都转换为X射线时，该X射线波长称（ A ） A. 短波限λ0；B. 激发限λk；C. 吸收限；D. 特征X射线

5.当X射线将某物质原子的K层电子打出去后，L层电子回迁K层，多余能量将另一个L层电子打出核外，这整个过程将产生（ D ） （多选题） A. 光电子；B. 二次荧光；C. 俄歇电子；D. （A+C）

二、正误题

1. 随X射线管的电压升高，λ0和λk都随之减小。（ ） 2. 激发限与吸收限是一回事，只是从不同角度看问题。（ ） 3. 经滤波后的X射线是相对的单色光。（ ）

4. 产生特征X射线的前提是原子内层电子被打出核外，原子处于激发状态。（ ） 5. 选择滤波片只要根据吸收曲线选择材料，而不需要考虑厚度。（