德国扩散炉故障处理

Centrotherm德国扩散炉

一．故障分析与排除

1.1 Process exhaust suction high alarm level 工艺废气抽风超出上限报警（上限值3mbar）。 解决措施：

(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。

(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。 1.2 Process exhaust suction low alarm level 工艺废气抽风超出下限报警（上限值0.3mbar）。 解决措施：

(1)查看气源柜顶部排废传感器有无问题,拔出进气管道,屏幕显示流量是否变化，无变化说明传感器坏,需检修。

(2)如流量显示正常,测量其管道内抽风是否正常，有异常通知外围动力设施调节流量。 1.3 Excess temp heating zone high alarm level 该加热区域温度过高,上限抱警（上限值1100度）。 解决措施：

(1) 检查该区域的温度设定值显示值是否正常。

(2) 重新设定加热温度(要求设定值和显示值差值在200以下)。 (3) 检修加热系统。

1.4 Gas pocl3-out of 1 st tolerance 气体三氯氧磷源温度超出规定的公差值（3度）。 解决措施：

（1）查看设备操作软件上，源温设定值和显示值，计算之间的差值，检查源温控制器设定的公差报警值是否在允许范围之中。

（2）检查三氯氧磷源瓶中的测温器在指定的位置，传感器测温正常。 （3）检查装源瓶载体盖子是否紧闭，关闭正常。

（4）检查源温控制器和设备主机是否通信（REMOTE灯亮）。 （5）检修恒温槽整体。 1.5 Handing stop 手动停止。 解决措施：

（1）设备报警灯红色报警显示，设备打在手动状态（手动按钮启动）。 （2）检查设备装载区的的平移柜门是否打开。 （3）检查柜门关闭的位置传感器是否动作，调整紧固。

1.6 Water folw main cooler 主循环冷却水报警。 解决措施：

(1)检查主循环冷却水的电子流量计上的数值显示（大于10）是否在设备的设定范围之内。 (2)通知外围动力设施检查。

1.7 Cannot move to store,because it is occupied 舟不能移动到该存储区域，因为已经有舟占用。 解决措施：

(1)检查该存储区域的位置传感器是否动作。

(2)该位置有舟但没有设定运行程序，手动移动到其他位置，激活运行程序。

1.8 The boatsensor has detected on boat in the grap although a boat shoule be in the grap .plese check boat in grap sensor ane try again 舟传感器检测到有舟在挂钩上。再检查舟在挂钩上的传感器并再实验一次。 解决措施：

（1）检查挂钩传感器是否动作，舟位置有无偏移。 （2）传感器动作后软件上是否正常显示。 （3）调整好后手动测试一次，确保运行正常。 1.9 No N2 supply 无N2供应报警 解决措施：

（1）检查N2手动截止阀是否打开 。

（2）检查压力表 数值是否 2bar以上，调节调压阀调整压力到2bar。 （3）无N2供应，到外围动力设施报修。 1.10 No O2 supply 无O2供应报警 解决措施：

（1）检查N2手动截止阀是否打开 。

（2）检查压力表 数值是否 2bar以上，调节调压阀调整压力到2bar。 （3）无O2供应，到外围动力设施报修。 1.11 No CDA supply 无CDA供应报警 解决措施：

(1)检查CDA手动截止阀是否打开 。

(2)检查压力表 数值是否 5bar以上，调节调压阀调整压力到5bar。 (3)无CDA供应，到外围动力设施报修。

二．报警补充：

2.1 NO process boat in source position 运行工艺的舟位置错误 2.2 Boatfailure 舟位置错误

2.3 POCLBubb-Out of 1 st tolerance 源瓶问题（温度、液位）

2.4 Parking The emergency-off switch was pressed motion sequence canceled 电源问题

2.5 Cann’t move to paddle,because it is occupied or “Tube ready’ is missing 浆位置忙碌，无法移到位

2.6 Process recipe has terminated with error state 工艺运行状态错误

2.7 Can’nt move to store ,because it is already occupied 储物柜忙碌

2.8 Door open: no auto-processing possible 门在开启状态，（一般为浆不在原点）

2.9 Arm movement is locked in/out cam is not in this position 机械手未知错误被锁定

2.10 Recipe couldn’t be start please check protocol for reason 工艺无法运行

2.11 CESAR stack 2 disconnected 2号CESAR 错误

2.12 Unable to get CESAR recipe state 无法从CESAR 获取工艺

2.13 T_Paddle LoadZone –Out of 1st tolerance 炉口温度异常

本文来源：https://www.bwwdw.com/article/yk8d.html