扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程

环境扫描电镜（Quanta200FEG）操作规程

一．在Standby状态时：

1． 确认Chiller的水温、水压及Air compressor的气压正常；

2． 开启显示器；

3． 开启电镜控制器（主机），进入Windows2000操作系统，在提示下输入用户名及密码并确认；

4． 按下镜筒前面板上的绿色按钮，亮为开启状态；

5． 在Windows2000操作界面下，鼠标左键双击“XT Microscope Server”图标，进入Server界面；

6． 等待Gun&Vacuum、Optics、Motion及Imaging等四个信号灯全都变绿以后，鼠标左键单击“Start”，使系统开始进行初始化。待操作界面（UI）出现后，鼠标左键单击XT Microscope Server界面右上角的“×”将该界面最小化至Windows2000操作界面的右下角（双击绿色近圆形图标可将其再次打开）；

7． 根据提示，输入用户名及相应的密码并确认，然后做“Home Stage”；

8． 确认Gun Pressure正常（≤3e-7Pa）后，鼠标左键单击操作界面右上角的“Alignments”按钮，打开下拉菜单，选“5-Emitter Control”，鼠标左键依次单击“Start”、“Next”、“Emitter ON”等，以点燃灯丝。这过程约需40分钟，然后鼠标左键单击Finish以结束该过程。待Emission Current的数值稳定后（大约需要2-10小时）可以进行下一步的工作。

二．在Over night状态时：

1．确认水温水压及气压正常；

2．拉开样品室门，放入测试样品，用专用规尺测量样品的高度，一般应在10mm刻度线以下；

3．轻轻关紧样品室门，同时须注意样品上表面与极靴要有一定距离，鼠标左键单击“Pump”，使样品室抽真空（这时真空信号指示灯由红变黄）；

4． 当真空信号指示灯由黄变绿后，可以加高压开始测试（为保护TMP，一般应到5e-3Pa以后再加高压）。选择合适的高压（High Voltage）及束斑（Spot Size）；

5．按住鼠标右键调聚焦，然后鼠标左键单击“Couple Z to FWD”，建立Z轴高度与焦距的关联（需在由低至高的不同放大倍率下反复多次）；

6．选择合适的对比度和亮度和观察区域，反复聚焦及消像散（一般在3000倍以下不须要消像散）。图像调节满意后，改用适当的扫描速度和像素得到并冻结图像，然后存储或打印。

7．观察结束或暂停工作时，应关闭关高压；

8．鼠标左键单击“Vent”，待真空信号指示灯变红后，可以打开样品室更换试样。平时样品室保持关闭；

9．注意：不要在ESEM 或Low Vacuum状态下使样品室抽真空过夜。

三．进入Over night状态：

1．关闭高压；

2．根据工作模式决定是否将样品室放气；

3．关闭显示器。

四．进入Standby状态：

1．关闭高压；

2．关闭TMP及PVP（鼠标左键单击“Vent”）；

3．关闭灯丝（鼠标左键单击操作界面右上角的“Alignments”按钮，打开下拉菜单，选“5-Emitter Control”，鼠标左键依次单击“Start”、“Next”、“Emitter OFF”等）；4．关闭Column Control （双击操作界面右下角的绿色近圆形图标将Server打开，鼠标左键单击“Shut Down”）；

5．退出XT Microscope Server（鼠标右键单击操作界面右下角的绿色近圆形图标拉开菜单，选Exit xT microscope Sever）；

6．在Windows2000界面下关闭电镜控制器；

7．关闭显示器。

本文来源：https://www.bwwdw.com/article/yddi.html