rofin报警表 - 图文

Rofin 故障信息报警表

状态信息 / 故障报警: 故障报警文本中带“*”的报警必须按 RESET键。 主电源故障： 输入点 解释 主电源电压 > ± 10 % 或输入相序错误。 报警结果 斜体为较常见报警 主电源, 计算机, 高压电源 关闭。 报警结果 激光器显示内容 Display is OFF (no text display possible!) 激光器显示内容 EVACUATION GAS EXCHANGE GASFILLING MAINS OFF VACUUM TEST WATER TEST CAVITY PRESSURE *GAS BOTTLE PRESSURE *GASCHANGE IN MAX 24 h *I > VACUUM PUMP LASER WARNING LAMP *PRESS/T. TELESCOPE 状态信息: 输入 解释 ---------- 谐振腔正在抽真空(在真空测试或激光气体更换过程中) ---------- 激光气体正在更换。该功能可以用服务菜单对应的功能键激活。 ---------- 谐振腔正在充气(激光气体在更换) ---------- 主电源关闭 处在准备启动主电源状态。. ---------- 真空测试正在进行。 真空测试功能可以在服务菜单中用开关ON或OFF完成。 X100.2 当主电源按钮ON之后, RF管的灯X100.4 丝ON之前,电脑将检测正确的冷却水流量,最多不超过3分钟。 报警信号: 激光气体压力超过真空室上限，该信号表示激光气体需要立即更换。 X100.7 报警信号: 气瓶中的激光气体压力 (S26压力开关)太低或气瓶没打开或气瓶中的激光气体压力(P < 30 bar)。 ---------- 报警信号: 72小时没有更换气体，在下一个24小时内高压将被锁定。 X130.6 报警信号: 真空泵电机的断路器Q4 跳闸。 X140.4 报警信号: 激光警示灯的电流监视继电器没给出反馈信号 (警示灯故障)。 X100.5 报警信号: 激光束望远镜系统的(压力开关或恒温器)S24已断开。 激光器使用的高纯氮气压力低 高压锁定 高压锁定 高压锁定 高压锁定 高压锁定 高压锁定 无 气体无法更换 可以工作24小时 气体无法更换 无 高压锁定

输入点 解释 ---------- 报警信号: 激光器的一个或更多元件已经达到服务周期(需要维护)。每2000小时出一次 all X..... 24 V电源关闭 (当没有24 V电源时, 故障报警不 能显示，因为显示器也是由24 V电源提供的)。 X14/X2----连接LasConCPU X24和 4 LasConIO X14(CAN bus) 之间 的电缆中断。 ----在LasConCPU X14 或LasConIOX24 (在每个盒子中2脚和7脚之间120欧姆)的终端电阻脱落。 ----LasConIO不是在\的位置。(必须旋转LasConIO的开关设定一次。(在 module 运行期间)从位置 \到\X110.2 水温超出最大或最小的设定范围 ---------- 谐振腔抽真空超过最大允许时间。 X100.6 RF发生器风扇的动态压力计S25 测量的动态压力太低或相序错误。 ---------- 充气到真空室的最大允许时间超过。可能气瓶没打开或瓶没气。 X100.7 出现激光气体更换故障，或不能进X130.6 行气体更换。 ---------- 激光气体必须更换。 气体更换已经超过96小时 X110.1 RF管的栅极控制测量到平均栅极 电流太大。 X130.2 检测到高压电源过流或短路。 X140.6 高压软启动装置没有给出反馈信 号。 X130.2 高压过流测量没有给出反馈信号。 X130.7 （激光头或控制柜）风扇电机的断路器Q5或Q6跳闸。 X130.5 RF管灯丝的断路器 Q3跳闸。 ---------- 检测到高压电源过流。 X120.5 激光头的门或外部互锁开路。 输入点 解释 报警结果 无 主电源 关闭 主电源 关闭, 高压关闭 激光器显示内容 SERVICE INTERVAL *24 V SUPPLY *CAN BUS ERROR *COOLING WATER TEMP. 高压锁定/停止*EVACUATION TIME 气体更换 高压和真空泵*FAN RF GENERATOR 锁定 *GAS FILL 高压锁定 停止气体更换 TIMEOUT *GAS CHANGE FAULT 高压锁定 停止气体更换 *GAS CHANGE 高压锁定 REQUIRED *GRID 高压锁定 CURRENT *HV OVERCURRENT 高压锁定 *HV SOFTSTART 高压锁定 FAULT 主电源和高压*HV MONITORING 锁定 *I > FANS 高压锁定 *I > FILAMENT 高压锁定 *Ia OVERCURRENT 高压锁定 *INTERLOCK /DOORS 高压锁定 报警结果 激光器显示内容 高压锁定

X140.5 X130.8 ---------- 当高压被锁定时，高压接触器 K1没有断开。 当主电源被锁定时，主电源接触器K3没有断开。 激光功率超过最大/最小允许范围 （检查激光器高纯氮气质量和供电，如果排除则可能需要维护） X140.4 激光辐射警示灯的电流监视继电 器没有反馈信号(激光辐射警示灯损坏)。 X-Laser 激光功率测量回路电流低于 3,5 X4.1/6 mA (正常 4 - 20 mA)。 X-Laser 腔压测量回路电流低于3,5 mA X4.2/7 (正常4 - 20 mA)。 ---------- 真空室的压力不在工作压力范围内 X140.1 光闸没有给出反馈信号或反馈信X140.2 号太慢。 X140.3 X130.1 监视高压电源变压器的温度传感 器S16中断。 X120.6 在控制柜中监视高压电源的温度传感器S14 或 S15中断。 X100.1 监视 RF 管冷却水温度的温度传 感器S20中断。 X100.3 监视管冷却水温度的温传感器 S22中断。 X110.3 监视光闸温度的传感器S33, S34, S35 或 S36中断。 X-HV ----只有激光器起始安装时: X4.1/6 确认高压变压器 400 / 480 V 连接是否正确? ----见 Service / Analog 服务菜单 例如: fig. 6.2/16 b: 阳极电压 (Va) ，Va MIN 和 VaMAX:Inform ROFIN-SINAR Service. 没安装 X100.4 X100.2 主电源和 高压锁定 主电源和 高压锁定 高压锁定 *K1 FAULT *K3 FAULT *LASER POWER LIMIT *LASER WARNING LAMP *POWER MEASURE *PRESSURE MEASURE *PRESSURE RANGE *SHUTTER FAULT *TEMP. HV TRANSF. *TEMP. HV CABINET *TEMP. RF TUBE *TEMP. WATER *TEMP. SHUTTER *Va LIMIT 高压锁定 高压锁定 主电源和高压锁定 高压锁定 主电源和 高压锁定 高压锁定 高压锁定 高压锁定 高压锁定 高压锁定 高压锁定 高压锁定 监测冷却水流量的流量计S23中断 监测RF管冷却水流量的流量计S21中断。 高压锁定 WATER CONDUCTIVITY *WATERFLOW *WATERFLOW RF TUBE

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