ESD资料

6．1．2．2培训计划指导

人员的周期性静电放电(ESD)培训是程序中不可缺少的一部分，ESD培训包括初始培训和周期性培训，周期性培训是在课堂学习-深化研究的基础上为适应控制程序的修改和调整要求进行的再培训。在复查和稽核过程中新技术的采用和对不足缺陷的修正也作为培训过程的组成部分。对培训的要求将随着零部件、组件和设备的ESD操作过程的发展而改进。 6．1．3执行确认计划 6．1.3．1执行确认计划要求

执行确认计划将用于保证计划按要求进行，在正式稽核或认证中应按照执行确认计划实施，该满足验证要求的确认计划必须按认定的周期进行。并选定实验设备，用于测试ESD程序计划中规定的技术要求特性 6.1.3．2执行确认计划指导

除了内部核查之外，外部核查(ESD敏感项的组织和提供者)也要按照计划的要求执行，认证应包括对计划中工艺技术要求的常规检查，认证检查的周期应根据使用的控制条款，它的持久性和相应的失效风险来确定 6．2．ESD控制程序计划的技术要求

表1论述了开发一个程序和计划的关键的技术要求。注意：对应执行的每一项技术要求，都有必需的或任选的处理过程或方法(在表1中以“R”或“O”表示)。例如，假如在某一工艺技术要求中需要处理过程或方法，就应该使用该处理过程或方法。如果有附加的任选要素，这些要素可以，也可以不在计划中执行。如果一个工艺技术要求中仅包含任选项，(以“O”表示)，那么所有任选项中至少有一项要在计划中执行。计划应包括测试方法，接受的限制和测试间隔的周期。表1中的第一区域是准备设定永久性静电放电(ESD)控制区域，例如生产、制造或分布设备。表1中的第二区域是意欲指定临时性静电放电(ESD)控制区域，例如服务区或其它一些不需要作为常规的防护区进行装备的后续区域。使用的测试方法不同于表1的方法时应建立相应文件。补充指导可在“ESD AVD 2．0 ESD学会(推荐标准)静电放电敏感项目的防护-手册”中查到 6．2.1接地/连接系统 6．2．1.1接地/连接系统要求

接地/连接系统将用于保证所有静电敏感(ESDS)项目，人员，和其它任何导体(例如活动的设备)都处于相同的电位上。在最小的区域内，ESD敏感项目，人员和其它 有关导体都应相互连接或电气连接 6．2.1．2接地/连接系统指导

绝大多数情况下，交流设备第三根线(绿线)作为设备接地线的优先的选择。当交流设备

第三根接地线在实际使用中不可行时，人员应该通过手腕带或其它接地系统与ESD敏感项目的导体要素连接或电气连接。这样就可保证所有要素都在同一电位上。 6．2．2人员接地 6．2．2．1人员接地要求

所有人员在操作ESD敏感器件时都要接地或电气接地，当操作人员在ESD防护工作站就坐时，应通过手腕带系统与公共接地点连接注意：当工作人员使用带电设备进行接地时，必须符合当地安全法律和法规的规定 6．2．2．2人员接地指导

人员接地系统在所有情况下都包括：人员，控制项和连接到地面。要坚持对人员接地装置的测试检查。如果使用固定的静电防护监测装置，在操作静电敏感(ESDS)产品前应检查这些监视系统功能及运转是否正常。另外，对这些监视系统要进行周期检查，检查其运转是否符合设计要求。ESD防护地板、使用静电防护认可的鞋类，都可以在站立操作时替代手腕带系统。鞋类包括足底接地器，鞋子或靴子。当设备接地或辅助接地失效时，连接及电气连接(接地)就会发生作用6．2．3防护区 6．2．3.1防护区要求

对于没有静电防护(ESD)覆盖层或包装的静电敏感(ESDS)零部件、组件及设备的操作应在静电防护区内进行。防护区要设有警告标志，使得人员在进入防护区之前就能够清楚的看到，意识到。处于非静电防护区的静电敏感(ESDS)器件要包裹在ESD防护包装中。进入防护区的人员应限定为已接受过适当的ESD培训的人员，未接受过ESD培训的个别人员在防护区内要有已培训人员陪同。所有非必要的绝缘体，像塑料和纸制品(例如咖啡杯、食品包装和个人物品)必须从工作站中清理出去。对那些必需使用的绝缘体(例如某些静电敏感(ESDS)装置的零部件，运输车和专用工具等)，考虑到静电场的威胁，使用离子器或其它静电中和技术来抵消。 6．2．3．2防护区指导

防护区可以是一个独立的工作站(固定式或移动式)，实验室，某一房间，建筑物或其它任何区域，该区域有指定的边界，内部有用于控制静电电位的材料和设备。湿度控制是一个ESD控制程序的关键因素。静电荷产生与积聚的趋势是随着湿度的降低而增加。对所有必要的绝缘体的加工过程都会产生高达2000伏以上的静电电压，并会保持这个电压，在距离静电敏感(ESDS)器件12英寸以下时放电。2000伏是测试点的静电电压，不一定直接体现器件上的静电电压。要对静电场进行精确的测量，需要测试人员能熟练操作测试仪器。大部分手持式仪表要求距被测物体一定距离读数。仪器制造商对被测量对象有一个最小尺寸要求，如果被测量对象小于规定的最小尺寸，就会造成读数不准，关于防护区的补充指导可在“ESD AVD 2.0”中查到 6．2．4包装

6．2．4．1包装要求

ESD防护包装及包装标志应与相应合同、定货单、图纸或其它文件要求相一致。如果上述文件中没有对ESD防护包装作出规定，则要在计划中规定满足ESD敏感项要求的防护包装。在防护区内运动的(如工位之间、操作、服务区之间)所有的材料包装都要作出规定。

6．2．4．2包装指导

ESD防护包装技术范围广泛，种类繁多，包括低电荷生成的袋子和包裹、空气空隙类、耗散型包装、静电屏蔽类、导电分路器、以及使用电磁(EMI)/射频(RFI)干扰屏蔽技术。根据器件的防护级别，对上述各类别包装进行个别或联合使用。如果不知道使用器件的静电敏感情况，则应选择静电屏蔽类包装。 6．2．5标记

6．2．5．1静电敏感(ESDS)零部件和设备

由ESD敏感零件和部件组成的ESD敏感组件和设备都应有ESD警告标志(见EOS／ESD S8．1)。并标注在易于被人员看到的醒目位置。另外，当一个ESD敏感组件被组装到更大的组装件中时，也要在醒目位置安置警告标识。 6．2．5．2包装

ESD防护包装的标识应按照EOS／ESD S8．1执行，对军用产品按照MIL-STD-2073-1执行 6．2．6设备

关于设备的更深入的指导参见标准ESD-ADC-2．0 6．2．61交流电动工具

交流电动工具的工作部分应该有接地导线。新式手持电动工具例如电烙铁，接地端子典型电阻小于1．0欧姆

注意：在实际使用中上述电阻值可以适当提高，但用于检验目的时要小于20．0欧姆 6．2．6．2电池动力和气动工具

电池动力和气动工具在使用时要配置小于1×10欧姆的接地电阻 6．2．6．3自动化装置

所有导静电或静电耗散性质的自动化装置、设备的零部件无论是放置在一个固定位置还是处于运动之中，都应保证处于持续接地状态。操作静电敏感(ESDS)器件的设备应该具有

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最小的静电荷产生性质。对于必要的绝缘材料，应该选择那些静电场最小、对操作的设备静电荷感应能力最低的材料。 6．2．7操作程序 6．2．7．1操作程序要求

ESD防护操作程序包括程序建立、编制文件及遵照执行。所有使用手工或机器加工静电敏感(ESDS)器件的场所都需要操作程序。只有处于防护区时才可以脱离专用包装接触静电敏感(ESDS)器件 6．2．7．2操作程序指导

在操作程序中应指出在防护区及非防护区的ESD敏感项的所有操作点及放置点。 ESD控制程序技术要求概略 (关于替代的测试方法的更深入的指导见6.2)

表1 ESD控制程序技术要求概略 （关于替代的测试方法的更深入的指导见6.2）

区域区域技术要求 参考段落 执行过程1 或方法 Mfg. 场 接地/连结系统 ANSI EOS/ 6.2.1 2 测试方法、标准或推荐标准 推荐范围 ESD S 6.1 ANSI EOS/ ＜1.0 欧姆 交流阻抗 设备接地 R O ESD S 6.1 ANSI EOS/ ＜1.0 欧姆 交流阻抗 辅助接地 O O ESD S 6.1 等电位连接 ANSI EOS/ O O ESD S 6.1 ANSI EOS/ R O ESD S 6.1 ＜1.0 欧姆 交流阻抗 公共点接地 ＜1.0 欧姆 交流阻抗 人员接地 6.2.2 手腕带系统 坐式操作 R O O ESD S 1.1 ＜35×106 欧姆7 站立操作 O 地面-鞋类系统 ESD STM 97.1 ＜35×106 欧姆6 O O 或STM97.2 ESD 或＜100伏 防护区 6.2.3 ESD S ESD 工作表面 O O 4.1 STM 4.2 ＜1×109 欧姆 ＜200伏6 手腕带电 缆 鞋类 地面 离子器(不O O O O O O ESD S 1.1 ESD S 9.1 ANSI ESD S 7.1 ANSI (0.8~1.2)×106欧姆 ＜1×109 欧姆7 ＜1×109 欧姆7 同于房间O 系统)) O ＜±50 伏 电压偏EOS/ESD S 3.1 移 ANSI ＜±150 伏 电压偏 离子器(房间系统) O O O O O O O R EOS/ESD S 3.1 移 ESD ADV 53.1 ＜1×109 欧姆7 货架 活动设备 O 连续监视器 O R R ＜1×109 欧姆6 N/A 制造说明书 N/A 见ESD包装技术要求 标记 ESD敏感器件包装 6.2.4 N/A

[1] 被推荐范围的数值来自于本表中使用的测试方法、标准或推荐标准

6 该建议值目前还没有任何标准作出具体规定

7 该数值与当前标准不同，是对标准的协调发展的结果

R-必须执行的程序或方法

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