第七章-薄膜的形成与生长-形核

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第七章 薄膜的形成

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Ed a 0 exp( ) kT

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EdED

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ED D exp( ) kT' 0

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1

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1

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1 dn s J dt

Ti T = Ti Ts

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吸附原子在表面停留期间:

◆若和基片能量交换充分到达热平衡( T Ts ), 表示完全适应。

1

◆ 如果 Ts T Ti 时，0 有可能再蒸发。

1,表示不完全适应，

◆若 Ti T 则入射气相原子与基体完全没有热交换，气相原子全反射回来，

0 , 表示完全不适应。13

2013-8-1

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本文来源：https://www.bwwdw.com/article/v0gi.html