光学基础知识及光学镀膜技术
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光学基础知识及光学镀膜技术
光學薄膜是指在光學元件上或獨立的基板上鍍上一層或多層之介電質膜或金屬膜來
改變光波傳遞的特性。即應用光波在這些薄膜中進行的現象與原理,如透射、吸收、散
射、反射、偏振、相位變化等,進而設計及製造各種單層及多層之光學薄膜來達到科學
與工程上的應用。在本廠的實際應用上,DM半透板與ITO鍍膜屬於這個領域。
光學薄膜雖早於1817年Fraunhofer已經開始利用酸蝕法製成了抗反射膜,但是真正
的發展是在1930年真空鍍膜設備之後。而軍事的需求(望遠鏡、飛彈導向鏡頭、監視衛
星、夜視系統等)加速了光學薄膜的開發與研究。計算機的出現使得設計更為方便,相對
的各種理論及設計方法因應而出,光學薄膜的研究於是更為進步並充分應用於各種光電
系統及光學儀器之中,如光干涉儀、照相機、望遠鏡、顯微鏡、投影電視機、顯示器、
光鑯通訊、汽車工業、眼鏡等。
光學薄膜基本上是藉由干涉作用達到其效果的。簡單的如肥皂泡沫膜、金屬表層的
氧化膜、水面油層的顏色變化,都可以視為單層干涉的效果。因此,當光在膜層中的干
涉現象可以被偵測到時,我們就說這層模是薄的,否則是厚的(k值消散掉)。由於干涉現象不僅跟膜層的厚度有關,而且光源的干涉性和偵測性的種類也有關。
接下來為各位介紹幾個主題1.波動光學基本理論2.薄膜光學的應用及產品介紹3.薄膜設計方法4.金屬鍍膜材料5.光學薄膜的鍍製方法及設備6.光學薄膜材料。
光學薄膜的製作是理論設計的實現,它不僅和蒸鍍方法及材料有關亦與薄膜支撐
者,即基板之表面狀況及材質有密切的關係,事實上光學薄膜的研製的主要困難已經比
較少是在設計上,而是在製鍍上,亦即要製造出預期中的光學常數及厚度之薄膜,因此
新的製膜方法及監控方式在工程上更顯的重要。
1.
繞射和干涉的現象常常會被拿在一起來討論,繞射可視為很多光源互相干涉,但其數學處理的方式仍然與干涉不太一樣。例如全像或光柵,可以用繞射也可以用干涉來解釋,也各有其數學模式。光的波動說:當一個水波經過一個障礙時,我們可以看到障礙的邊緣會
泛起陣陣漣漪,這種現象就是繞射,光波也有繞射現象,這種現象是和光的直線前進或光
的粒子說相抵觸的。早在1500年,L.da Viaci 已提及光的繞射,Huygens在1678年首先創立光的波動理論,他把波陣面上每一點都視為一個次級子波的波源,而所有子波前進時的包絡面又形成新的波前,應用這個原理可以解釋光的直線前進、光的反射與折射。 1801年,Young用干涉理論來解釋單狹縫的現象,但實驗結
果與預期不盡相符,在1815到1826年間,法國Frenel按照光的波動說完成繞射的數學理論,至此才形成繞射的波動基
礎。在此Frenel修正Huygens理論,加入所謂的頃斜因子,因此解決了Huygens 不能解釋倒退波不存在的問題。由於光也就是一種電磁波,光的波動數學表示式可自Maxwell電磁方程式導出:亦及
其中D為電位移(electric displacement)
P為偏極向量(polarization vector)
E為電場向量(electric vector)
B為電磁向量(magnetic vector)
M為磁化量(magnetization)
μ0為磁透率(permeability)
ε0為介電率(permittivity)
J為電流密度
ρ為電荷密度
但光波可將maxwell電磁方程式化簡為
且
又
及
而
當我們希望進一步了解光再一些介質中的行為時,便可能從波動方程式出發,尋求邊界條件以求了解,例如光纖工學,光柵理論,雷射共振腔理論等都必須利用波動方程式。從
光波動理論我們可之光為一種電磁波,當其前進時,電場振動(磁場振動)方向四面八方都有。以常見的日光燈為例,其光線在空氣中之電場振動(磁場振動)方向是不規則的,但是永遠和光波前進方向垂直,如圖:
故可之一般的光當行進中,會含有來自不同方向電場振動(磁場振動)方向混合波, 電場振動(磁場振動)方向只在一方向內振動或呈現規則性的光稱為偏振光。我們可分析光波
電場振動的路徑種類,一般可區分為平面、圓和橢圓偏極光,光學系統中使一般的光變成
平面偏極光的元件稱為偏光板,一束光進入有些晶體時,會變成兩束光,我們稱此晶體具雙折射現象,此即與光進入後之電場振動方向有關.
具雙折射性質的光學元件可稱為波板,光通過波板後電場沿? 某一方向(F軸,快軸)振動的?比? 此方向垂直之方向(S軸,慢軸)振動的?光速度較快1/2波長時,稱此波板為1/2波板,如圖:
光通過波板後電場沿? 某一方向(F軸,快軸)振動的?比? 此方向垂直之方向(S 軸,慢軸)振動的?光速度較快1/4波長時,稱此波板為1/4波板,當在兩面偏光板中間加入兩
片1/4波片,可以得到各方向的偏極光。當一片1/4波片的F軸與S軸交叉排置均與起偏振鏡之偏振軸夾45度角時,即可得圓偏極光,如圖:
當該1/4波片的F軸與S軸交叉排列且均與起偏振鏡之偏振軸夾任意角度時,即可得橢圓偏極光,如圖:
1-1
波重疊與干涉:兩個正弦波或是餘弦波重疊再一起時,振幅會起變化,當兩個波相對相位差為零或是波長之整數倍時,合成波的振幅是個別波振幅的合,因此振幅增大稱為建設性干涉,反之, 當兩個波相對相位差為半波長時,彼此振幅互相抵消而使合成波的振幅縮小,此稱破壞性干涉,波的強度與波的振幅平
方成正比,因此建設性干涉之合成波的強度比兩個別波的強度大。對於兩個不同相可是同週期之兩個波,其干涉現象中的節線(如圖)之P點必須滿足下列數學式:
亦及節線為波峰與波谷重疊的地方。P 為兩波之相位差λ為波長其中p = t / T ,t 為波峰發生之先後差,T 為週期
設d為兩波之距離,θ為節線之方向角,則
因此當建設性干涉時
破壞性干涉時
因此我們可以得到雙狹縫繞射的公式;繞射光點必須滿足以下數學式:
其中d 為狹縫距離
單狹縫如將狹縫分成左右兩個區段來看,也可以得到破壞性的干涉發生在如下的情形:
其中d 為狹縫距離
平常生活中,單狹縫繞射及雙狹縫繞射的現象並不很明顯,而使用雷射光來作
干涉,大抵上只須把兩道光重疊,即有干涉條文產生,當然可能觀察者仍然看不見條紋,通常最可能的情況是條文的密度太高了,因此只要用透鏡將干涉光場放大,或是
設法讓兩道干涉光的光場間的差異量縮小,我們不難發現,原來干涉條紋早就存在於光束交會處了。
麥克森(Michelson)曾定義條文可見度V表示干涉條紋的清晰程度:
為亮紋的亮度
為暗紋的亮度
當V=1時,條紋的對比最清晰,是最理想的狀況,當V=0時,條紋完全消失,只出現均勻的光場。
1-2
我們經常利用光柵的繞射方式來檢驗光波的頻普及波長,早期的光譜儀即是利用表面蝕刻形光柵來對入射光進行分光。
d sinθ= n λ
D cosθ δθ=Nδλ
在此定義光柵之角射散本領為
所以
從上式可知, 角射散本領與光柵間距d,繞射皆數n成正比,並且也與繞射光柵的狹縫總數
N無關。角射散本領只能告訴我們,譜線中心分離的程度有多大,但不能反映出這些中心倍分離的譜線其邊緣重疊與否?欲知兩條譜線是否重疊,就必先知道每條譜線的半角寬
δθ,根據前面的光柵圖形,我們知道這是與光柵的條數有關的,因當入射光所經光柵條紋數較多時,繞射光點較細,而當入射光只對一條光柵入射時,我們將發現
繞射光點亮帶被拉的很長,暗帶幾乎只剩下一個狹小的點。根據瑞利法則(Raileigh's Criteerion),如圖:
?θ=λ/N d cosθ
其中N為入射光所經光柵總數
在此定義色分辨本領R:
R=λ/?λ
由上式知,當色分辨本領R越大時,其所解析細小波長差的能力也越高,上式進一步可得
所以λ/?λ=nN 從上式得知,光柵的色分辨本領與光線入射所經的光柵線數N 和光點階數n成正比,與光柵間隔d或光柵密度無關。
— 1-3
一、折射現象:
1.光從一物質進入另一物質改變進行方向之現象稱光的折射。因為光自一物質進入他
物質時其速度改變故生折射。
2.實例:銅幣在水中似乎浮起,米尺在水中似乎彎曲。入射線法線
i二、折射定律:
1.第一定律:入射線、折射線及界面的法線,均在同一平面上。 r
2.第二定律:入射角的正弦和折射角的正弦比是一定值。
註:有某些晶體,其入射線、折射線和界面的法線,可能不在折射線
同一平面上。(雙折射現象)
3.第二定律又稱為司乃耳定律(Snell's law)可寫成
sini ,n
sinr
入射角的正弦和折射角的正弦比稱為折射率。
三、絕對折射率:
光線由真空(大略言之由空氣)進入某種介質所生之折射率,稱為該介質的絕對折射
率。絕對折射率恒大於1,即n?1。
物質絕對折射率物質絕對折射率
空氣(1atm、0
oC) 甘油 1.0003 1.47
玻璃酒精 1.5~1.9 1.36
鑽石油酸 2.42 1.46
熔融的石英水(20o1.46 C) 1.33
石英結晶 1.54
四、相對折射率:
光線由第一種介質,進入第二種介質之折射率,稱為第二種介質對第一種介質之
相對折射率。即 ,sin1 n,12sin,2
五、光路之可逆性:
設n與n表示二種物質間第二介質相對第一介質之折射率,與第一介質對第二1221
介質之相對折射率。
,,1sinsin 則 21n,n,n, 故 122112nsin,sin,2121
六、相對折射率與絕對折射率的關係:
若n為光由空氣進入介質m之折射率,θ為折射角,則 mm
sinθ=nsinθ amm
因sinθ=nsinθ ;sinθ=nsinθ a11a22
?nsinθ=nsinθ 1122
,nsinn212 而;即 n,n,,1212nsin,n121
七、多層平行界面之折射:
n1
n2
n3
nsinθ= nsinθ= nsinθ= nsinθ11223344
n4 八、折射率與光速:
1.如圖所示,兩平行光線中,A、B為兩對應點
,當A已達第二介質時,B仍在第一介質中。 B 介質1 i
若v及v各表兩種介質中光的速度,則經t秒 n 121
後,A傳至C,B傳至D。若光在第二介質中 n A D 介質2 2
速度較慢,則AC較BD為短,但兩者所需時間 r C
相等。故AC=vt BD=vt 21
BDAC 而 sini,sinr,ADAD
vtvnsiniBD112,,,,,n 得 12sinrACvtvn221
2.光在兩種介質中,傳光較速的介質稱光疏介質,較慢者稱光密介質,光疏及光密與
物質之疏密無關。
3.光由光疏進入光密介質(v>v)折射角小於入射角,折射線靠近法線,反之由光密 12
至光疏介質,折射角大於入射角,折射線必遠離法線。
4.折射率之大小,不但隨兩介質之不同而異,亦隨其光波波長之不同而異。波長較長
頻率較小之紅光對介質之折射率較小,故紅光在介質中之速率較紫光為大。
折射率也常影響介質表面反射之光量大小,設介質表面之反射係數為R則註:(a)若第一介質為真空,而第二介質為某介質時,則n為某介質相對於真空的折射 12
率,亦即某介質的絕對折射率n,故n=n,而在真空中光速最大,常以C表12
之,故一介質的絕對折射率
n=C(真空中的光速)/v(介質中的光速)
(b)按(a)之定義,真空的絕對折射率為1;空氣的絕對折射率在一大氣壓及室溫情
形下約為 1.0003,幾近於1;故在一般光學計算中即可將在空氣中行進的光速,
看成為光在真空中行進的光速。
一、全反射: n
2
光自光密介質(n)進入光疏介質(n)時,折射線 n 211
偏離法線,即θ>θ,如圖。故當入射角增加 21
o 到某一角度時(θ),折射角為90,入射角再 C
增加,光線不再折射而全部反射。法線二、臨界角: n 折射線 2
o 光自光密介質進入光疏介質時,當折射角為90時 n 1
之入射角稱為臨界角,如圖之θ。θ CC
由公式nsinθ=nsinθ 入射線反射線 1122
o nsinθ=nsin90 1C2
n,1,12 ? ,,sin,sinnc12n1
三、全反射之條件:
1.光由光密介質進入光疏介質。
2.入射角大於臨界角。
四、討論:
1.通常說明某介質的臨界角,係指對真空而言。因已之物質的臨界角以鑽石為最小,
最易於全反射,故成燦爛發光。
2.折射率為n的介質臨界角為θ1-1=sin Cn
3.事實上,當光自一介質射至另一個介質時,有一部份透過,有一部份光反射,這兩
部份光的強度則和介質性質及入射角大小都有關係,所以全反射現象並不是突然發
生的,在玻璃對空氣的界面,當入射角增大時,反射光的強度增加,而折射光的強
度減少,在入射角超過臨界角後,所有的入射光線全部反射而回,不生折射。
4.「光纖管」為全反射現象的一個極
重要的應用,係一透明細絲管,其
與外圍界質的相對折射率大於1,
光從一端射入,在管的內面經連續
多次幾乎不損其強度的全反射,而
由管的他端射出。如醫學診斷的各
種內視鏡及光纖通訊等。如圖。
5.海市蜃樓(Mirage)的原因:
(1)海邊奇景(正立虛像於空中):
因海水比熱很大,日間受太陽照射,溫度不易改變,致使愈近海面的空氣溫度愈
低,密度愈大,折射率愈大,故下層空氣為光密介質而上層空氣為光疏介質,使
得遠方低處射來的光線經層層空氣的連續折射,一在地由光密介質進入光疏介質
而偏離法線,至入射角大於臨界角後終於產生全反射而向下彎曲,循如左下圖所
示之路徑射入人眼,使吾人見一正立虛像懸於空中。
(2)沙漠幻影(倒立虛像於原物下方):
沙漠地帶,因沙之比熱小,日間受太陽照射溫度易升高,致使地面附近之空氣溫
度較上空高,密度、折射率遂較高空小,故當遠方高處之物體射出之光線接近地
面時(相當於由光密介質射向光疏介質),其行經路徑類似 (1)之原理,經多次折射
及一次全反射之作用而向上彎曲,循如右下圖所示之路徑射入人眼,使吾人見一
倒立的虛像。
一、物體由第一介質中發出光經平界面產生折射現象 n
θ 2 O 2
而由第二介質中觀察第一介質之位置已經改變。n C 1θ 1 所見者為虛像,如圖。A物成虛像於B,AO為 B
實深(p,物距),BO為視深(q,像距)。當:θ 1
與θ很小時,則 A 2
sin,1OC/ACBCBOq n,,,,, 12sin,2OC/BCACAOp
即 q(視深),,p(實深)n (光線由介質1進入介質2,觀測者在介質2。) 12
二、1.若由光疏介質中觀看光密介質中景物時n<1,像之視深較淺,q
2.若由光密介質中觀看光疏介質中景物時n>1,像之視深較深,q>p。 12
三、若有m層折射率不同之介質,其厚度分別為d、d…d而對應介質折射率為n、 12m1
n…n。則最底層物體之視深D為:(觀測者所在介質之折射率為n) 2mx
D,dn,dn,...,dn,,dn 11x22xmmxiix
四、由光疏介質看光密介質之光點,愈離法線方向觀察視深愈淺。
五、視深隨光之顏色不同而變,因各色光之折射率不同,紅光最小紫光最大,故在光疏
介質中觀測光密介質之視深,紫光最小,紅光最大,即紫光浮升較高,紅光浮升較
低。
平行玻璃板的偏向位移:
厚為d的平行透光板,光線自一面斜射而入,而由他面射出(如圖),經兩次折射,射
出光線與射入光線平行,但側移一距離D。
DAB,sin(,,,)ir
sin,cos,,cos,sin,irird,θ icos,rA
設n為透明板之折射率,
由sinθθ r/sinθ=n,故 n d ir
D ,cosi D,dsin,(1,)iB 22n,sin,i
一、三稜鏡之折射:
1.三稜鏡是改變光的進行方向之儀器。
2.偏向角:入射光線與出射光線之夾角稱為偏向角以δ表之。由圖可知:
?1=i-α,?2=r-β
α+β=180
o-?3=?A
故:δ=?1+?2=i+r-(α+β)
=i+r-A (A為頂角)
A
E
D 1 2 i r β F α 3 F
B C
二、最小偏向角:
1.最小偏向角:由理論或實驗可證明左右對稱的情況下,偏向角為最小,即
i=r,α=β時δ為最小。 m
2.偏向角之大小隨頂角,入射於第一面光線的方向,及稜鏡的折射率而定。折射率隨
不同顏色的光而有不同的數值。
一、色散:
1.平行之日光光束,經三稜鏡折射後,因對玻璃折射率不同而分散成紅、橙、黃、綠、
藍、紫等六色光譜的現象稱光之色散。由上述討論偏向角δ之大小與折射率有關,
紅光經稜鏡,偏向最小其折射率亦小,紫光最大,折射率亦大。
2.如玻璃的折射率n為光波長λ的函數,且有如下關係
n(紫光)>n(藍色)>…>n(黃色)>n(紅色)
則偏向角δ的關係為:δ(紫)>δ(藍)>…>δ(黃)>δ(紅)
B
δ
白光
紅 n 橙黃綠藍 A C 靛 3.折射率隨波長而不同,紅光波長最大,在玻璃中速度最快,偏向角最小,折射率最紫小;紫光恰相反。
4.色散度乃視折射率n和波長λ的函數關係而定。如下所示n-λ圖,若圖線為一水
平直線,即折射率與波長無關,則折射光將無色散。而n-λ圖中在可見光的範圍,
因n之值隨光波長的增加而遞減,其變率隨不同物質的性質而定,故有色散現象,
不同物質之色散度亦不同。
5.鑽石的折射率n值,對不同波長有較大的改變度如n-λ圖所示,故鑽石的色散作
用遠大於玻璃;它將入射的白光經折射後分散,產生光彩。
n
2.4354 2.4100
鑽石
2.5- 1.517 1.509
冕玻璃
1.000279 1.000276
2.0-
空氣
1.5-
1.0-
0.5-
0.0
3500 4000 4500 5000 5500 6000 6500 7000 λ(埃)
紫藍黃紅
折射率n與光波長λ之關係圖
2.
2-1
將紅外光反射,使可見光穿透可有效降低燈源熱度數位相機濾鏡
舞台燈、照明設備隔熱
液晶投影系統
:
平均穿透率:
從 430nm 到 680nm > 90%
從 740nm 到 1100nm < 3%
從 200nm 到 380nm < 2%
穿透50%在: 710nm ?15nm
2-2
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