光学薄膜技术课程简介

《光学薄膜技术》课程简介

《光学薄膜技术》作为光学专业的技术专业课,系统地介绍薄膜光学的基本理论和器件设计的基本方法,介绍光学薄膜的新设计方法、新器件设计、新工艺技术、制造工艺,介绍光学薄膜的相关材料及其性质,介绍光学薄膜的特性测试方法等。

本《光学薄膜技术》课程将讲授六章,第一章是薄膜光学特性计算基础,第二章介绍介质膜系及其应用,第三章介绍薄膜制造技术,第四章介绍光学薄膜制造工艺,第五章介绍薄膜材料及其性质,第六章介绍光学薄膜特性测试与分析。

课程目录

第一章薄膜光学特性计算基础 1.1 单一界面的反射率和透射率 1.2 单层介质膜的反射率 1.3 多层介质膜的反射率和透射率 1.4 金属薄膜的光学特性 1.5 光学零件的反射率和透射率 第二章介质膜系及其应用 2.1 减反射膜 2.2 高反射膜 2.3 中性分束膜 2.4 截止滤光片

2.5 带通滤光片 2.6 偏振分束膜 2.7 消偏振膜系 第三章薄膜制造技术 3.1 光学真空镀膜机 3.2 真空与物理汽相沉积 3.3 真空获得与检测 3.4 热蒸发 3.5 溅射 3.6 离子镀 3.7 离子辅助镀

第四章光学薄膜制造工艺 4.1 光学薄膜器件的质量要素 4.2 影响膜层质量的工艺要素 4.3 获得精确厚度的方法 4.4 获得均匀膜层的方法 第五章薄膜材料及其性质 5.1 薄膜的微观结构与性质 5.2 常用光学薄膜材料

第六章光学薄膜特性测试与分析 6.1 光学薄膜特性的检测标准 6.2 薄膜透射率、反射率的测量 6.3 薄膜光学常数和厚度的测量 6.4 薄膜吸收和散射的测量 6.5薄膜激光损伤阈值的测量 6.6 薄膜非光学特性的检测 参考书

1. 卢进军,刘卫国。《光学薄膜技术》,西北工业大学出版社,2005.10; 2. 卢进军。《光学薄膜技术》,电子工业出版社,2011.7;

3. 唐晋发,顾培夫,刘旭,李海峰。《现代光学薄膜技术》,浙江大学出版社,2007.3。

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