1-ESD控制文件 - 图文

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 目录 版本 A0 审核 页数 1/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 1 ESD敏感分类 ................................................2 1.1 静电敏感评价模式 ........................................ 2 1.2 器件静电敏感分类 ........................................ 3 1.3 静电防护区域等级分类及基本的ESD控制措施 .................. 4 2防静电工作区（EPA） .......................................... 6 2.1 EPA划分和环境要求 ....................................... 7 2.2 固定、可移动和便携式EPA ................................. 7 2.3 防静电标识 .............................................. 9 2.4 防静电地板、工作台、工作椅 ...............................10 2.5 防静电包装材料............................................11 3人员防静电要求 ............................................... 13 3.1 人体电压 ................................................ 13 3.2 腕带 .................................................... 13 3.3 工鞋和鞋跟 ................................................ 14 3.4工衣和工帽 ................................................ 15 3.5 手套和指套 ................................................ 16 4包装要求及其方法 ............................................. 16 4.1 包装材料要求 ............................................. 17 4.2包装操作方法 ............................................. 17 5 标签及标识.................................................... 18 武汉华中数控股份有限公司—生产部

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编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 2/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 6存储.......................................................... 18 7员工每日自查程序 ............................................. 19 静电放电控制总规范 范围scope: 本规范适用于华中数控股份有限公司及各子公司、合资企业、外协厂、供应商和合作方的生产制造体系内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。同时，此标准也适用于华为公司的电子设备的最终用户的静电放电控制。本规范适合于静电敏感器件静电敏感电压大于100V的保护。如果存在静电敏感电压更低的器件，使用这些器件的责任者必须在此基础上增加必须的特殊防护要求。 本规范的目的在于： ⑴ 减少或消除静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率，满足需求。 ⑵通过建立统一的、切实可行的标准来规范各生产工厂、不同产品，供应商和外协之间的ESD行为。 ⑵ 通过建立有效的、高质量的管理和稽查程序，用于保证本标准的有效实施。 关键词Key words： EPA、ESSD、防静电、ESD、接地、包装材料、工具、仪器 1 ESD敏感分类 1.1 静电敏感评价模式 技术文档和失效分析显示器件的ESD失效和一系列相互关联的效应有关。一些影响器件ESD敏感程度的因素包括ESD电流、能量包络、电场强度、放电的上升时间、器件设制 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 3/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 造技术和器件的封装类型等。能量型敏感器件的损伤是由于流过双极性结电阻、 保护电阻等的过电流引起。电压敏感性器件的损伤是由于ESD电压超过了器件的击穿电压引起。为了比较不同器件的ESD敏感度等级，逐渐发展了三种测试模型，分别为人体模型（HBM）、机器模型（MM）和带电器件模型（CDM），其中最常用的模型为人体模型（HBM）。由于ESD损伤的复杂性，使用以上各模型定义的敏感度（用电压表示）并不一定是器件在实际应用环境中的失效电压，而只是提供了一种敏感度比较的标准。 1.2 器件静电敏感分类 静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM、MM、CDM三种模式来进行分类。一般来说，器件的静电敏感电压的高低在三种模式之间没有必然的对应关系。 没有特殊说明时，本规范主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。 静电敏感组件的敏感等级按照其上所安装的最敏感器件的敏感等级来确定。 最初器件的ESD损伤主要采用HBM进行分析，随着电子技术和生产工艺的不断发展，MM和CDM类型的ESD对器件的危害也越来越普遍，因此采用MM和CDM模式对静电敏感器件进行分析的方法逐渐发展起来。 静电敏感器件等级普遍采用人体模式静电放电进行划分（人体带电和器件接触放电），机器模式MM(MACHINE MODEL）主要用于器件的自动化处理过程的分析（带电金属和器件接触放电），带电器件模型CDM（CHARGED DEVICE MODEL）主要用于器件自身带电后的放电分析。 所有的静电敏感器件或组件按照人体模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级： 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 4/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 人体模型HBM（HUMAN BODY MODEL） CLASS VOLTAGE RANGE Class 0 0 volts to ≤249 volts Class 1A 250 volts to ≤499 volts Class 1B 500 volts to ≤999 volts Class 1C 1000 volts to ≤1999 volts Class 2 2000 volts to ≤3999 volts Class 3A 4000 volts to ≤7999 volts Class 3B 8000 volts to ≤15999 volts 非静电敏感器件≥16000 volts 1.3 静电防护区域等级分类及基本的ESD控制措施 1.3.1静电防护区域（EPA）等级分类 所有进行静电敏感物料生产、操作、周转、存储的区域都是静电防护区域，都必须进行静电电压的控制，保护物料免受静电损伤。 在静电防护区域根据物料的静电敏感等级需要采用不同的控制措施使得静电放电控制有效而且成本最低，需要对静电控制区域进行控制等级的划分。EPA划分为几个等级。EPA等级的划分依据为存在静电放电危害的严重程度和产品的静电敏感级别。 ? 一级EPA为静电放电严格控制区域，生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以及静电高敏感级别的产品的制造区应划分为一级EPA。一般单板加工、单板测试、单板/模块组装区域，高频度、大量使用静电敏感级别高于Class 1B的器件的产品制造区和使用静电敏感级别高于Class 1A的器件为产品的极关键器件的产品制造区应 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 5/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 定义为一级EPA，如无线产品和传输产品制造区。一级EPA采用全面严格的静电防护措施。 ? 二级EPA为基本的静电放电控制区域，涉及静电敏感物料的各个生产操作区域至少要定义为二级EPA，必须实施最基本的静电放电控制措施。 1.3.2 静电防护区域基本的ESD控制措施 一级EPA和二级EPA的划分应在综合评估的基础上进行，他们的控制措施要求按照下表实施： ESD控制措施 静电电压控制标准 区域封闭性 出入口单向控制 防静电标识 防静电地板或地垫 防静电桌垫 防静电腕带 防静电工作手套、指套 防静电工作服 防静电工作鞋 防静电工作椅 腕带测试仪和人体电阻测要求 试仪 一级EPA 小于100V 要求 可选 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 二级EPA 小于250V 不要求 不要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 要求 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 要求 要求 要求 要求 版本 A0 审核 页数 6/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 ESD自动测试记录仪 防静电烙铁 防静电吸锡器 静电产生材料禁止带入EPA 不要求 要求 要求 要求 区域外操作或独立工位非防静电包装的拆包 区域外操作 操作 离子风静电消除器 接地系统监控仪 用于产品的常用装配、调试要求 要求 可选 不要求 全部要求 及辅助工具防静电 防静电周转工具 防静电包装材料 静电电压表和表面电阻测要求 试仪 防静电文件夹 防静电作业指导书袋 防静电液 防静电状态卡 部分要求 要求 要求 要求 要求 可选 要求 要求 可选 要求 可选 可选 可选 可选 一级和二级EPA区域的划分及其控制措施主要适用于生产制造系统，其它实体如实验室可以引用但不限于此。 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 7/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 2防静电工作区（EPA） 在通常的电子设备生产、组装和维护现场，各种静电产生材料和由他们所产生的电场是很普遍的现象，这些静电产生材料和由其所产生的电场有可能导致静电敏感器件的损伤。因此，在静电敏感器件的整个使用过程都要对其进行保护。 在静电敏感器件的存储和转送过程中，具有屏蔽性能的导体容器可以提供必要的保护。但是，对于静电敏感器件也还存在着屏蔽容器外的操作。在这种情况下，静电敏感器件非常容易受到损伤，因此，有必要提供一个安全的工作区域。防静电工作区（EPA）正是为此目的而设计。为了确保工作台的防静电安全，它必须满足以下要求： ⑴ 防静电区域内的所有电子元器件都要视为静电敏感器件对待。 ⑵对于任何在保护状态之外（处于法拉第笼之外）的静电敏感器件的操作，都必须在防静电工作区内进行。 ⑶在防静电工作区之间的非防静电区域传送的静电敏感器件必须处于安全的保护状态。 ⑷防静电工作区的设计应能保证静电敏感器件不易接触到仪器设备的金属接地外壳。 ⑸防静电工作区内禁止放置工作不必须的静电产生材料，如未作防静电处理的塑料袋、盒子、泡沫、带子、笔记本、纸片、个人用品等物品，这些材料必须距离静电敏感器件30厘米以上。 ⑹所有在工作台上使用的清洁剂，溶剂，涂覆材料、气雾剂等辅助材料都必须经过静电控制负责人的批准。 2.1 EPA划分和环境要求 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 8/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 2.1.1 EPA划分 防静电区域的划分以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则，只要可能出现静电敏感物品，则应定义为防静电区，否则可定义为非防静电区。防静电区域的边界范围由工艺部门与区域防静电责任人共同确定。 防静电工作区（EPA）包括但不限于以下区域： IQC检验区域、单板加工及检验区域、单板测试及检验区域、部件装配及检验区域、整机装配及调测区域、维修区域、试验区域、理货区域、器件和物料分发区域、仓储区域等。 划分EPA的同时应该根据该区域中操作的物料的静电敏感级别和生产时存在静电放电的风险程度进行EPA等级的划分。 2.1.2 EPA的基础环境要求 在进行EPA环境设计时，为达到静电防护的要求应遵循以下原则： ⑴抑制静电荷的积累和静电压的产生。 ⑵安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷。 ⑶确定静电防护所应达到的程度。如一级EPA内静电电压绝对值应小于100V。 因此，EPA必须具有如下的基本环境要求： ⑴明确的区域界限和防静电警示标志。 ⑵对区域内的所有导体包括人员可靠接地。 ⑶消除一切不必要的静电产生源。 ⑷运用12英寸原则，即ESSD器件必须远离静电源至少30厘米处。 工作区内使用的门帘、窗帘、区域隔离帘等应是防静电材料制成，表面电阻值应小于1×1011Ω，禁止使用普通塑料和化纤制品。 2.1.3 EPA的温湿度要求

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作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 9/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 防静电工作区有必要进行温度和湿度的控制，湿度控制是静电防护的一项关键措施。 武汉华中数控股份有限公司生产部EPA的温湿度控制要求： ⑴生产制造和维修区域属于静电高风险区域，温度和湿度控制要求： 温度：20~30℃ 相对湿度(RH)：45~75% ⑵其他防静电工作区环境的温湿度应满足一般要求： 温度：20~30℃ 相对湿度(RH)：30~75% ⑶产品物料对环境温湿度有特殊要求时，应根据物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。 ⑷ EPA内应配备温度计和湿度计，并在每班次上班之前作一次记录。当相对湿度超出规定的范围时，必须通知工艺人员协调动力维护采取适当的加湿或抽湿措施，如往地面喷洒适量水（符合安全要求）、使用加湿器或抽湿机等。 2.2固定、可移动和便携式EPA 根据静电敏感器件的实际操作环境划分的EPA可以是一个区域、工作台、推车、工作台垫、货架或传送带中的任何一种，同时包括静电敏感器件周围1米内的范围。 EPA可以是固定的，可移动的或便携式的。 ⑴固定EPA是指必须使用工具拆除导线、水管或其他固定物才能移动的工作区，如一般生产制造区域。 ⑵可移动的EPA在移动时不需要工具来拆除连接，如防静电推车。生产中一些特 武汉华中数控股份有限公司—生产部

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编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 10/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 殊操作和库房的捡料分料操作可以使用防静电推车实现一个移动的EPA，此时推车的表面必须铺设防静电台垫并使台垫具有接地通路（软接地）。 ⑶便携式工作区是一个带有接地系统的防静电工作表面，可以很方便的从一个区 域携带到另一个区域，如用服防静电工具包。工程现场为了便于ESD控制，工程人员可以使用一块特殊的防静电垫，该防静电垫必须具有接地措施并有防静电腕带的接地接口，并配备一些辅助的防静电工具。 2.3防静电标识 防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器的接地等都应该具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作；警示任何接触静电敏感器件的人员，对该器件的操作必须进行静电防护。 ⑴任何防静电工作区都必须有区域标识，除非此工作区位于静电安全工作区内。标识上应注意说明，如“注意：静电安全工作区“或其同意语。“放电”，“注意”，“危险”等标示对静电控制是不合适的。 ⑵ EPA标识所在的位置及其大小应该至少保证在距离工作区1米时清晰可见。 ⑶除了在合适位置的防静电标识之外，应该使用黄底黑字的地板胶带将每一个防静 电工作区围起，同时还需要在静电安全工作区的每一个入口和出口放置防静电标识牌和控制说明。 ⑷防静电器材、工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识，防静电接地系 统应有明显的接地标识说明。 2.4防静地板、工作台、工作椅 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 2.4.1防静地板 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 11/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 防静电地板和地垫表面两点间电阻为≥1×104Ω≤1×109Ω；及任一点与地之间的系统接地电阻值为≥1×104Ω≤1×109Ω。 2.4.2工作台 防静电工作台表面应该由静电耗散材料构成，所有接触到它的带静电器件都会通过它表面对地的分布电阻缓慢安全的泻放到地。防静电台表面应该耐磨，耐化学腐蚀，耐热并且可靠接地。 工作台上铺设的防静电台垫必须满足下面要求： ⑴ 防静电台垫的尺寸应不小于工作台面的大小。 ⑵ 防静电台垫必须正面（即防静电面，绿色和灰色）朝上、背面（即导电面，黑色）朝下铺设。 ⑶ 防静电台垫连接到防静电工作台的公共接地点，再由工作台的公共接地点直接连接到接地母线上接地。每块台垫必须且只需接一根防静电地线，各个防静电工作台的接地线不能相互串接，应以并联方式与接地母线连接，工作台接地参见3.9接地要求。 ⑷ 压接防静电台垫的静电接地线联接端子时应从防静电台垫的正面压下，使其穿过台垫并紧固，以保证电接触良好。 防静电台垫上任意两点之间的表面电阻为≥1×105Ω≤1×109Ω，防静电台垫上任意一点到防护地线上的的系统接地电阻为≥7.5×105Ω≤1×109Ω，防静电台垫上静电泄放至100V以下的时间小于1秒。 ⑴ （6）当防静电台垫上附着有绝缘性的油膜、树脂和其他污物时，应及时使用中 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 12/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 性清洗剂或防静电剂进行清洁。 2.4.3工作椅 EPA内的操作者所坐的工作椅必须由静电耗散材料制成，具有防静电性能，不得使用普通人造革面、化纤面料或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防静电椅。防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意一个导体脚轮的电阻应该满足≤1×109Ω（不依赖于相对湿度），工作椅系统接地电阻应满足≤1×109Ω；工作椅表面的摩擦电压必须小于100V或高静电电压泻放到100V以下的时间小于2秒。工作椅采用拖链的方式对工作椅接地的方法在接地电阻上效果非常差，除非工作椅在移动的过程中，否则接地效果非常不好。在清洁的导体地板上，效果会好一些。但是在通常的制造区域，接地链和橡胶的导电脚轮上由于灰尘的原因而容易失效。因此，导电脚轮需要定期清洁。工作椅至少两个脚轮使用金属锌制轮子。 2.5 防静电包装材料的防静电性能要求 静电敏感器件、组件、产品在生产制造、存放和运输中所使用的包装材料必须是防静电的，因此EPA内所使用的包装材料应该是静电耗散材料，要求其防静电性能指标满足： 表面电阻Rs：1.0×104Ω≤Rs＜1.0×1011Ω； 体积电阻Rv：1.0×104Ω≤Rv＜1.0×1011Ω； 摩擦静电压V f：V f<100V 或在2 秒内下降到100V以下； 屏蔽袋的屏蔽泄漏电压：小于30V。 防静电包装材料必须符合以下一般要求： ⑴ 发货用ESD防护的屏蔽袋、吸塑盒应该在明显位置有ESD警示标识、吸塑盒还 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 13/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 应该在明显位置标有生产日期；粉红色防静电PE薄膜袋、防震用的防静电EPE板、防静电海绵和泡罩袋、泡罩带类可以无标识，具体按设计图纸要求执行。 ⑵ 周转用的ESD防护的屏蔽袋、吸塑盒、EPE应该在明显位置有ESD警示标识、生产厂商和生产日期及有效期。 2.5.1防静电包装材料的使用 华中数控目前使用的防静电包装材料主要有：粉红色防静电PE袋、吸塑盒、粉红色防静电气泡袋、粉红色防静电泡沫板和气泡带、多层防静电屏蔽袋等，同时可以有效利用供应商的器件来料的防静电包装材料（如IC管、IC托盘等），这些防静电包装材料都可以用于静电敏感器件、组件的直接包装或间接包装。 直接包装层指和器件直接接触的材料，例如IC包装管、芯片托盘、卷带、防静电泡沫、防静电胶袋、屏蔽袋、吸塑盒等。 间接包装层指和直接包装层接近的部分，对器件提供防静电、防震等保护但不和器件直接接触，如卷盘、防静电泡沫、防静电胶袋、防静电气泡袋、吸塑盒等，部分包装可能无间接包装。 外包装指物料的最外层包装，如纸箱、木箱等，一般不作防静电要求（但是不能采用高静电的塑料材料作最外层包装），特殊要求根据具体情况处理。 粉红色防静电气泡袋应和屏蔽袋配合使用，用于屏蔽袋外的防震、防挤压碰撞。 粉红色防静电泡沫板和气泡带一般用于用于间接包装，放置在直接的防静电包装材料的外部作填充、防震、防碰撞。各类静电敏感物料的直接包装材料推荐选取： 物料类别 典型包装型材 元器件 IC管 防静电托盘防静电屏蔽袋 组件 防静电屏蔽袋 防静电成型泡 沫 单板 防静电屏蔽袋 防静电吸塑盒 防静电泡沫盒 部件 防静电袋(PE 袋或屏蔽袋) 整机 防静电袋(PE 袋或屏蔽袋)

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作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 14/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 3 人员静电要求 3.1人体电压 人体的运动是静电产生的主要根源，人体是EPA内最大的静电源，对人体静电压的控制我们通常采取减少静电电荷的产生和人体接地释放静电电荷两种方法同时控制，主要通过戴工帽、手套、指套、穿工衣、工鞋、佩带腕带、使用防静电椅等方式加以控制，使得人体产生的静电安全地释放，达到ESD防护的目的。人体静电释放可以通过防静电腕带、工鞋、工作椅的接地途径释放，并要求人体静电的释放电流小于5mA，因此腕带、工鞋、工作椅必须具有一定的接地电阻（软接地）。 3.2腕带 员工在操作ESD敏感器件的时候，应该佩带防静电腕带并接地。当ESSD处于防静电容器的保护状态中，如转运、存储操作，操作人员不要求带腕带接地。腕带由手腕带（松紧圈）和接地线两部分组成，带腕带的作用是提供一个安全的静电释放通道。腕带具有一定电阻值，该电阻值是手腕带内表面到地的电阻值。可拉伸的弯曲接地线与手腕带的内表面连接，接地线的材料是导体，手腕带的内表面是导电材料（导电织物 或导电橡胶），手腕带外表面应该是绝缘或耗散材料。接地线一端串接有一个1MΩ的限流电阻并与腕带扣连接，另一端可保持与EBP相连（ESD接地点）。接地线串接电阻以确保操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害，该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及高电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮肤上的静电小于100V，一般该电阻阻值取为106 Ω。 腕带防静电性能参数要求： 接地线电阻：1MΩ，可接受范围1MΩ±20%； 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 15/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 手腕带内表面电阻：小于100KΩ； 手腕带外表面电阻：大于10MΩ； 腕带系统接地电阻：0.75×106 ～1×107 Ω； 静电泄放至100V以下的时间：小于0.1s 。 腕带佩带方法：将腕带扎于手腕处，不能松动，手腕感觉四周握紧。保证手腕带内表面与皮肤良好接触，接地线与EBP连接。 腕带接地应采用香蕉插头、插孔的连接方式，一般应避免使用鳄鱼夹的接地方式。严禁使用无绳防静电腕带。 当正确佩带上腕带时，由手到EBP端的电阻应该满足腕带系统接地电阻的要求，该电阻要求员工每日测试记录，测试方法按照《人员防静电接地和测试方法》执行。 由于佩戴腕带是人体最基本的静电控制措施，因此所有操作ESSD的员工都要佩戴腕带，包括实验室的开发人员。 3.3工鞋和鞋跟 为使人体有效接地、防止人体和鞋本身带电，并保证操作者因意外接触高电压时不致受到伤害，除应将车间地面作成防静电地面以外，操作者应穿用具有防静电作用的工作鞋，而且防静电鞋必须与防静电衣配套使用。 防静电鞋底应具有使人体与大地构成放电回路的材料和结构。华中数控要求防静电工鞋的体积电阻满足5×105 ～5×107 Ω，人体穿着防静电工鞋的系统接地电阻满足0.75×106～100×106Ω。 EPA区域内的工作人员必须穿防静电工鞋，人体通过工鞋到EPA地面的电阻（人体综合电阻）应该满足工鞋接地系统电阻的要求。人体综合电阻要求员工每日测试记录， 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 16/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 测试方法按照《人员防静电接地和测试方法》执行。 穿防静电鞋时不得另加鞋垫，特别是绝缘性鞋垫，同时员工应穿着棉质的袜子。不得在防静电鞋底粘贴绝缘胶片或其它涂料，保持鞋底的清洁。 坐式操作的员工应保证工鞋接触地面，不得把脚抬离地面放置。 需要进入EPA工作的临时或外来人员也应穿着防静电工鞋并经过测试记录，如果外来人员没有配备工鞋，进入EPA时需要佩戴防静电鞋跟带，把鞋跟带的导电带子放入袜子内保持和皮肤的接触，使人体接地良好并通过测试记录。 鞋跟带的防静电性能参数要求与工鞋相同。 3.4 工衣工帽 由于防静电腕带只能泄放掉皮肤表面的的静电，却不能消除具有高绝缘性能的服装所带的静电，因此，为有效防止人体静电的危害， ESSD操作者不能穿一般的化纤、羊毛等服装，而必须穿用ESD防护材料制成的防静电工作服和工帽。 防静电工作服是指为防止静电荷积累，用防静电织物作为面料而制成的工作服。常见样式有连体式、分体式、大褂式等。华中数控使用的工衣为防静电工作服（工帽）的防静电性能指标如下： 表面电阻（点与点、片与片、袖与袖之间）：1×105≤Rs≤1×1011Ω； 摩擦电压：＜100V或在2秒内下降到100V以下； 洗涤时间：≥33小时（或洗涤次数大于70次）； 防静电性能检测条件：温度20~30℃，相对湿度25±5%。 防静电工作服的使用要求：

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编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 17/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 A. 在EPA区域必须穿着防静电工衣。工衣的穿戴方法：保证工衣的纽扣都已扣好，拉连要拉倒工衣的四分之三或以上的位置处； B. 凡在工作中需接触ESSD的操作者，均需戴防静电帽。防静电帽的材料选用和使用要求与“防静电衣”相同； C. 防静电工作服上不得使用金属附件，如果必须，金属附件不得直接外露； D. 防静电工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行，采用中性洗涤剂，避免使其受到较强的机械和化学操作的洗涤； E. 防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测（认证测试）；穿用一定时期后（半年），应对防静电性能进行复测。防静电工衣的检测方法按照《防静电检测方法》执行。 3.5 手套和指套 凡在工作中需直接接触ESSD的操作者，均需使用防静电手套或指套。 防静电手套应采用防静电织物面料或棉质面料，指套应采用防静电橡胶，其防静电性能要求与工衣相同。手套较脏时应及时清洗干净，通常情况下手套使用期限为一周，在污损较少的场合最长使用期限不超过半个月，逾期一律以旧换新。 防静电手套指套是防止人体接触ESSD时造成ESSD的损伤，并防止操作中产生静电，防静电腕带主要给人体静电提供安全的释放通道，因此同时使用腕带和手套并不矛盾。一些站立式并有较大移动性质的操作，如机柜装配操作，一般要求员工戴手套（可以 不带腕带），但员工必须着装工衣工鞋，人手不能直接接触单板上的器件。但是机柜或产品测试时必须佩戴腕带。如果存在坐式操作，必须佩戴腕带。 4包装要求及方法 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 18/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 这一节规定ESD敏感器件和单板的包装要求。ESD敏感器件的包装应该提供一种安全的保护方式，以防止由于包装或外界原因对器件引起ESD损伤。包装上的ESD标识也是非常重要的，它能够提醒员工，包装内是ESD敏感器件，取出时应该采取ESD防护措施。下述包装要求对供应商来料包装、厂内转运物料包装及发货物料包装均适用。 4.1 包装材料要求 在进行ESSD包装操作时，操作人员有权利和义务拒绝使用无防静电标志或明显不具备防静电性能的包装材料进行静电敏感器件及组件的包装；在进行ESSD来料的包装检验时，检验人员有权利和义务拒绝接收无防静电标志或明显不具备防静电性能的包装材料的来料。 静电敏感器件和单板的周转包装材料应是防静电材料，主要的周转包装有防静电屏蔽袋、防静电袋、吸塑盒、防静电器件盒、防静电泡沫、防静电箱、防静电周转车。用于ESD敏感单板和器件的包装及其填充材料必须是防静电材料，主要的包装材料有防 静电屏蔽袋、防静电袋、吸塑盒、防静电泡沫以及内部有防静电涂层的纸箱（有些纸箱没有防静电涂层）。单板包装的主要方式有： A. 防静电屏蔽袋+粉红色气珠袋 B. 吸塑盒+防静电填充材料（防静电气泡带、防静电泡沫（可选））+纸箱 屏蔽袋和吸塑盒内部不能有静电产生材料。吸塑盒的外包装的纸箱内部原则上应有一层防静电涂料，如果纸箱内部的防静电包装已经提供有足够的防护能力（如屏蔽包装）并且在全年最低的相对湿度下纸箱不会在EPA区域造成ESD危险，则内部无防静电涂层的纸箱可以接受。 4.2 包装操作方法 武汉华中数控股份有限公司—生产部

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编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 19/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 ESSD的包装必须在EPA内进行。进行包装操作之前应检查是否已采取必要的防静电措施，如穿防静电工作服、防静电鞋，戴防静电腕带或防静电手套、指套等。 操作人员有权利和义务检查并拒绝使用无防静电标志或明显不具备防静电性能的包装材料进行静电敏感器件及组件的包装。不得随意拆除和改变ESSD的封装，运送全过程应在防静电容器中进行，清点也尽可能在原包装内完成。生产人员有权拒收未包装在防静电容器内的ESSD及组件。 对ESSD进行包装时应采用正确的包装方法。在两个包装容器之间传递IC类静电敏感器件时，宜直接将防静电容器对接进行，例如将管装IC直接伸入防静电屏蔽袋中再将IC倒出，两个IC管对接传递等，应避免用手接触静电敏感器件，戴有防静电手套或指套时也应尽量减少直接触摸静电敏感器件的次数。 5 标签及标识 ESSD的包装上必须有防静电的警示标识以提醒操作者注意。 1) 所有ESD敏感器件的包装材料应该用ESD敏感标识或ESD防护标识贴在最里面的屏蔽袋的外面。这个标识的贴放位置是为了最里面的屏蔽袋被打开时能够看见。 2) 外包装上应有防静电警示符号标识，并可在符号旁边加注必要的说明文字，标识应出现在容易看见且不易受到磨损的位置上。 3) 包装非ESD敏感器件的包装不应有ESD敏感标识和ESD防护标识。 4) 任何标有ESD敏感标识或ESD防护标识的包装在被打开时，应该在EPA区域里进行。在实际操作中唯一的例外是确认里面的器件是非防静电器件。 5) “闪电”、“警告”和“危险”等标识和文字不能用于ESD控制目的。 6) 防静电警示标识应体现在防静电包装材料上。 武汉华中数控股份有限公司—生产部

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编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 20/21 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 7) 包装的一个永久性的特征，应该和制造商的名称、制造日期和编码在一起。 8) 应该有流程和规范来通报未按标识要求标识的供应商改进。 9) 对供应商提出的规范和合同中应该包括华为ESD控制要求。外部供应商使用的防静电包装标识只有满足华为ESD控制的要求才能被接受。如果在运输过程标识被破坏，接收部门应该加上华为确定的标识。接受非华为认证的标识必须经过部门ESD控制负责人同意。 6存储 静电敏感器件及其组件在存储、周转、运输过程中都必须采用防静电包装，即采用法拉第笼的包装形式，避免器件受到静电损伤。在存储、周转、运输过程中都不得对ESSD进行拆包等直接操作，只能在EPA内的防静电工作环境中进行对ESSD的直接操作。 ⑴静电敏感器件存储环境一般要求： 温度：20~30℃ 相对湿度(RH)：30%~75% 当存储区域（库房）的自然温湿度达不到要求时，应使用空调或增湿器、抽湿机予以调节，直至满足要求为止。 注意：对环境有特殊要求的，如潮湿敏感器件等，请遵照相应的专用操作指导书。 ⑵存储器具： 存储静电敏感器件及其组件必须采用防静电的包装材料或器具，并保证存储的封闭性。可用于直接存储静电敏感器件及组件的器具有：防静电屏蔽袋、IC管、防静电托盘、卷盘卷带、吸塑盒、防静电周转箱、单板周转车等。 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 21/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 ⑶存储操作要求： 静电敏感器件及其组件不得直接放置于货架或不具有防静电功能的周转箱内或周转车上，应通过防静电屏蔽袋或防静电周转箱等储放。 静电敏感的单板、组件的存放主要采用屏蔽袋、吸塑盒、防静电周转箱、单板周转车等。周转箱和周转车一般用于生产现场的短时间存放，当使用防静电周转车和周转箱较长时间存放单板（如存放于库房）时，应采用防静电屏蔽袋罩住周转车、采用屏蔽袋或周转箱盖板盖住周转箱箱口，以保证其防静电效果并防灰尘。 静电敏感器件可以采用IC管、防静电托盘、防静电的卷盘卷带、防静电屏蔽袋等存放。存放时要保证包装的封闭性，因此使用防静电托盘存放IC类物料时外部应采用防静电屏蔽袋（或防潮袋）包装。防静电器件盒一般只用于生产现场的器件短期放置，不用于库房的器件存储。 静电敏感器件尽量保持原包装状态，严禁随意拆封。 用于静电敏感器件散装清点、分料和发料的工作台必须铺设防静电台垫，并可靠接地。 操作人员应佩带防静电手套、指套或将有绳防静电腕带接入防静电接地系统。 6日常检查 6.1员工每日自查程序 1) 上岗前测试腕带和人体电阻，并做记录。 2) 视查你的工作区所有ESD敏感器件、单板都放置在防静电周转工具或包装中。 3) 确定你的工作区内、防静电周转工具和包装中没有不允许的或未经处理的静电源。 4) 确认你的工作区域所有防静电工具都有ESD标识。 5) 保证明显而严重的静电源（例如：非防静电塑料袋、非防静电泡沫、普通塑料制品 武汉华中数控股份有限公司—生产部

作业文件 ESD控制总规程 编制部门 生产部 修订 版本 A0 审核 页数 22/22 批准 文件编号 TF/PRO-T-0001 生效日期 等）远离防静电工作区1米以上，工作区内必须存在的一些静电源（例如：显示器、 非防静电的产品材料和工具、塑料制品、个人物品等）远离ESD敏感器件和敏感单 板30厘米以上。 6) 确认你的工作台台垫为防静电台垫，工具为防静电工具。 7) 确认在你的工作台上的清洁用品、溶剂、喷雾器、胶纸等工具材料已被EPA区域责 任人确认可以使用。 8) 确认你工作区域的工作台和设备安全、可靠接地，尤其对那些经常移动的设备要特 别注意。 9) 不允许人体电阻没通过测试的人员进入EPA控制区域。在操作ESD敏感器件和单板时 必须带防静电腕带。 10) 如果你的工作台装了离子风机，在工作时应打开，并保证其位置正确。 武汉华中数控股份有限公司—生产部

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