集成电路制造项目可行性研究报告

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集成电路设备制造项目 可行性研究报告

（泓域咨询规划项目/下载后可编辑）

二〇一八年

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目录

第一章

项目概要 ................................................................................................................... 1

一、 项目名称及建设性质 ............................................................................................... 1 二、 集成电路设备项目提出的背景 ............................................................................... 2 三、 报告说明 ................................................................................................................... 2 四、五、六、七、八、九、第二章

一、二、第三章

一、二、第四章

一、二、三、第五章

一、二、第六章

一、二、三、四、主要建设内容及规模 ............................................................................................... 3 环境保护 ................................................................................................................... 3 建设期限及进度安排 ............................................................................................... 4 项目投资规模及资金筹措方案 ............................................................................... 5 预期经济效益和社会效益 ....................................................................................... 6 简要评价结论 ........................................................................................................... 7 集成电路设备行业分析 ......................................................................................... 11

集成电路设备行业介绍 ......................................................................................... 11 制造业行业分析 ..................................................................................................... 15 集成电路设备项目建设背景及可行性分析 ......................................................... 17

集成电路设备项目建设背景 ................................................................................. 17 集成电路设备项目建设可行性分析 ..................................................................... 19 项目建设选址及用地规划 ..................................................................................... 21

项目选址方案 ......................................................................................................... 21 项目建设地概况 ..................................................................................................... 21 项目用地规划 ......................................................................................................... 22 工艺技术说明 ......................................................................................................... 25

技术原则 ................................................................................................................. 25 技术方案要求 ......................................................................................................... 25 环境保护 ................................................................................................................. 27

编制依据 ................................................................................................................. 27 建设期环境保护对策 ............................................................................................. 28 项目运营期环境保护对策 ..................................................................................... 29 噪声污染治理措施 ................................................................................................. 30

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五、 地质灾害危险性现状 ............................................................................................. 30 六、 地质灾害的防治措施 ............................................................................................. 31 七、 生态影响缓解措施 ................................................................................................. 31 八、 特殊环境影响 ......................................................................................................... 31 九、 环境和生态影响综合评价及建议 ......................................................................... 32 第七章

能源消费及节能分析 ............................................................................................. 35

一、 能源消费种类及数量分析 ..................................................................................... 35 二、 能源单耗指标分析 ................................................................................................. 36 三、 项目预期节能综合评价 ......................................................................................... 36 第八章

项目建设期及实施进度计划 ................................................................................. 38

一、 项目建设期限 ......................................................................................................... 38 二、 项目实施进度计划 ................................................................................................. 38 第九章

投资估算与资金筹措及资金运用 ......................................................................... 39

一、 投资估算 ................................................................................................................. 39 二、 资金筹措方案 ......................................................................................................... 42 三、 资金运用计划 ......................................................................................................... 43 第十章

项目融资方案 ......................................................................................................... 44

一、 项目融资方式 ......................................................................................................... 44 二、 项目融资计划 ......................................................................................................... 44 三、 资金来源及风险分析 ............................................................................................. 45 四、 固定资产借款偿还计划 ......................................................................................... 46 第十一章 经济效益和社会效益评价 ..................................................................................... 48

一、 经济效益评价 ......................................................................................................... 48 二、 社会效益评价 ......................................................................................................... 55 第十二章 综合评价 ................................................................................................................. 57 第十三章 附表及附图 ............................................................................................................. 60

一、 固定资产投资估算表 ............................................................................................. 60 二、 流动资金估算表 ..................................................................................................... 60 三、 总投资及其构成一览表 ......................................................................................... 61 四、 营业收入税金及附加和增值税估算表 ................................................................. 62

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五、 成本费用估算表 ..................................................................................................... 62 六、 利润与利润分配表 ................................................................................................. 63 七、 全部投资财务现金流量表 ..................................................................................... 64 八、 项目借款还本付息计划表 ..................................................................................... 65 九、 项目主要经济评价指标一览表 ............................................................................. 66

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第一章 项目概要

一、 项目名称及建设性质

（一）项目名称 集成电路设备制造项目 （二）项目建设性质

该项目属于新建工业项目，主要从事集成电路设备投资建设业务。集成电路市场空间达3400亿美元，大概率进入新需求景气周期。从历史数据来看，全球半导体市场大概4~6年为一个周期。从2016Q4开始，全球半导体市场规模数据出现显著回暖，2017H1全行业市场规模为1878亿美元，同比增长19.3%。受惠于集成电路板块DRAM和Flash市场需求强劲，2017年全球半导体销售额有望较2016年增长22%，达到4135亿美元。集成电路产品在全球半导体市场中占比81.64%，由此计算，集成电路板块市场空间达到近3400亿美元。

（三）项目占地及用地指标

该项目规划总用地面积76667.05平方米（折合约115.00亩），该项目建筑物基底占地面积55273.30平方米；项目规划总建筑面积85240.42平方米，绿化面积5052.47平方米，场区停车场和道路及场地硬化占地面积15651.27平方米；土地综合利用面积75977.04平方米，土地综合利用率100.00%。

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（四）项目建设地点

该“集成电路设备投资建设项目”计划选址位于菏泽（位置待定）。 （五）项目建设单位 菏泽某某有限公司

二、 集成电路设备项目提出的背景

装备制造业作为以高端技术为引领，处于价值链高端和产业链核心环节，决定着整个产业链综合竞争力的战略性新兴产业，是现代产业体系的脊梁，是推动工业转型升级的引擎。长期以来我国依靠“引进-落后-再引进”的模式发展，使我国在知识技术密集、附加值高的高精尖领域一直受制于人，近年来随着国家对战略新兴产业的重视和政策上对创新的鼓励与支持，使我国高端装备制造产业取得了瞩目的成就。在加快产业转型升级的大背景下，高端装备制造业既面临机遇也面临挑战。

三、 报告说明

泓域企划机构提供包括政策指引、产业分析、市场供需分析与预测、行业现有工艺技术水平、项目产品竞争优势、营销方案、原料资源条件评价、原料保障措施、工艺流程、能耗分析、节能方案、财务测算、风险防范等内容。该集成电路设备项目可行性研究报告由泓域咨询规划编制。在充分考虑产业政策以及市场前景的条件下，泓域咨询规划设计了此方案，仅供读者参考。

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四、 主要建设内容及规模

1、该项目主要从事集成电路设备项目，预计达刚年产值为59723.01万元。/年；预计项目总投资29224.46万元；规划总用地面积76667.05平方米（折合约115.00亩），净用地面积75977.04平方米（红线范围折合约113.97亩）。

2、该项目总建筑面积85240.42平方米，其中：规划建设主体工程45586.23平方米，辅助设施面积4281.36平方米，办公用房2568.81平方米，职工宿舍787.77平方米，其他建筑面积（含部分公用工程和辅助工程）32016.25平方米，项目计容建筑面积84830.14平方米，预计建筑工程投资9473.92万元；建筑物基底占地面积55273.30平方米，绿化面积5052.47平方米，场区停车场和道路及场地硬化占地面积15651.27平方米，土地综合利用面积75977.04平方米；建筑容积率1.12，建筑系数72.75%，建设区域绿化覆盖率6.65%，办公及生活服务设施用地所占比重2.37%，场区土地综合利用率100.00%。

五、 环境保护

该项目生产过程中无有毒物质排出，并且生产用水为循环水，故无废水排放；环境污染因子主要为生活废水、生活垃圾及设备运行产生的噪声。

1、废水环境影响分析：该项目建成后新增597人，根据测算该项目达纲年办公及生活废水排放量约4301.97立方米/年，主要为生活废水，主

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要污染物是COD、SS、氨氮，经场区化粪池处理后排入污水处理设施进行再处理，排放浓度满足《污水综合排放标准》（GB8980）中的二级排放标准，同冲洗废水一同排入市政管网，最终进入污水处理厂，对周围水环境影响较小。

2、固体废物影响分析：项目建设单位场区职工办公及生活每年约产生垃圾量约74.63吨/年，经集中收集后由环卫工人及时清运，对周围环境影响较小；在集成电路设备生产过程中产生的固体废弃物（含废弃包装物），设专人收集后定置存放集中处理，或交回收公司综合利用。

3、噪声环境影响分析：该项目噪声主要是集成电路设备生产时所产生的机械噪音；因此，在设备选型上首先选用先进的符合国家噪声标准要求的设备（设施），同时加装防护设施，从而降低噪声对环境产生的污染；对噪声较大的设备可在安装时增加减振消声装置，同时，对于设备运行过程产生的噪声，首先选用降噪装置，降低噪声对环境产生的污染。

4、清洁生产：该项目工程设计中采用了清洁生产工艺，并采取完善和有效的“三废治理”措施，能够切实起到消除和减少污染的作用；因此，该项目建成投产后，各项环境指标均符合国家和地方环境保护标准及清洁生产的要求。

六、 建设期限及进度安排

1、该项目建设周期确定为24个月。

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2、“集成电路设备制造项目”目前已经完成前期的各项准备工作，包括：市场调查研究、项目建设选址、建设规模的确定、用地审批手续、建设资金筹措等项事宜，目前正在着手进行办理项目备案工作。

3、该项目计划从可行性研究报告编制到工程竣工验收、投产运营共需24个月的时间。

七、 项目投资规模及资金筹措方案

（一）项目投资规模

1、根据谨慎财务测算，该项目预计总投资29224.46万元，其中：固定资产投资19907.67万元，占项目总投资的68.12%；流动资金9316.79万元，占项目总投资的31.88%。

2、在固定资产投资中，建设投资19727.07万元，占项目总投资的67.50%；建设期固定资产借款利息180.60万元，占项目总投资的0.62%。

3、该项目建设投资19727.07万元，包括：建筑工程投资9473.92万元，占项目总投资的32.42%；设备购置费8621.83万元，占项目总投资的29.50%；安装工程费258.66万元，占项目总投资的0.89%；工程建设其他费用1081.13万元，占项目总投资的3.70%（其中：土地使用权费575.00万元，占项目总投资的1.97%）；预备费291.53万元，占项目总投资的1.00%。

（二）资金筹措方案

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1、该项目总投资29224.46万元，根据资金筹措方案，项目建设单位计划自筹资金（资本金）20895.18万元，占项目总投资的71.50%。

2、项目建设期申请银行固定资产借款3670.88万元，占项目总投资的12.56%；项目经营期申请流动资金借款4658.40万元，占项目总投资的15.94%；根据谨慎财务测算，该项目全部借款总额8329.28万元，占项目总投资的28.50%。

八、 预期经济效益和社会效益

（一）预期经济效益

1、根据预测，该项目建成投产后达纲年营业收入59723.01万元，总成本费用49417.77万元，营业税金及附加303.58万元，年利税总额12885.16万元，其中：年利润总额10001.66万元，年净利润7501.24万元，纳税总额5383.92万元，其中：增值税2579.92万元，营业税金及附加303.58万元，年缴纳企业所得税2500.42万元。

2、根据谨慎财务测算，该项目达纲年投资利润率34.22%，投资利税率44.09%，全部投资回报率25.67%，全部投资所得税后财务内部收益率26.18%，财务净现值17143.40万元，总投资收益率35.68%，资本金净利润率47.87%。

3、根据谨慎财务估算，全部投资回收期6.10年（含建设期24个月），固定资产投资回收期4.16年（含建设期）；用生产能力利用率表现的盈亏

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平衡点42.69%，因此，该项目经营非常安全，财务盈利能力指标表明该项目具有较强的盈利能力和抗风险能力。

（二）社会效益分析

1、项目达纲年预计营业收入59723.01万元，占地产出收益率7860.36万元/公顷；达纲年纳税总额5383.92万元，占地税收产出率708.60万元/公顷；项目建成后，达纲年全员劳动生产率100.04万元/人。

2、该项目建设符合国家和菏泽菏泽发展规划，有利于促进菏泽区域集成电路设备产业集群发展；此外，项目达纲年为社会提供597个就业职位，每年可为菏泽增加财政税收5383.92万元，对区域经济和社会发展具有积极的推动作用。

九、 简要评价结论

1、该项目符合国家产业发展政策和规划要求，符合菏泽集成电路设备行业布局和结构调整政策；项目的建设对促进菏泽集成电路设备产业结构、技术结构、组织结构、产品结构的调整优化有着积极的推动意义。

2、“集成电路设备制造项目”属于《产业结构调整指导目录（2011年本）》（2013年修正）鼓励类发展项目，符合国家产业发展政策导向；项目的实施有利于加速我国集成电路设备的国产化进程，推动集成电路设备制造产业调整和行业振兴；有助于提高项目建设单位自主创新能力，增强企业的核心竞争力；因此，该项目的实施是必要的。

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3、项目建设单位为适应国内外市场需求，拟建“集成电路设备制造项目”，该项目的建设能够有力促进菏泽菏泽经济发展，为社会提供就业职位597个，达纲年纳税总额5383.92万元，可以促进菏泽区域经济的繁荣发展和社会稳定，为地方财政收入做出积极的贡献，由此可见，该项目的实施具有显著的社会效益。

4、项目拟建设在菏泽内，工程选址符合菏泽菏泽土地利用总体规划，保证项目用地要求，而且项目建设区域交通运输便利，可利用现有公用工程设施，水、电、气等能源供应有保障。

5、项目场址周围大气、土壤、植物等自然环境状况良好，无水源地、自然保护区、文物景观等环境敏感点；项目建设单位对建设期和生产经营过程中产生的“三废”进行综合治理达标排放，对环境影响程度较小，职工劳动安全卫生措施有保障。

6、该项目采用国内先进的生产、环境、检测控制装备，对节约能源、环境保护、生产优质集成电路设备均可得到有力支撑，成熟的工艺技术及先进的生产设备为项目的实施提供了强力的技术保障，同时，生产过程符合环境保护、清洁生产、节能减排等标准要求。

7、根据谨慎财务测算，该项目达纲年投资利润率34.22%，投资利税率44.09%，全部投资回报率25.67%，项目全部投资所得税后财务内部收益率26.18%，达纲年财务净现值17143.40万元，总投资收益率35.68%，

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资本金净利润率47.87%，全部投资回收期6.10年（含建设期24个月），固定资产投资回收期4.16年（含建设期24个月），项目盈亏平衡点42.69%，因此，该项目经营非常安全，说明项目具有较强的盈利能力和抗风险能力。

8、该项目利用现有土地，计划总建筑面积85240.42平方米（其中：不计容建筑面积410.28平方米，计容建筑面积84830.14平方米）；购置先进的技术装备共计268台（套），项目建设规模合理、经济技术实施方案可行。

9、该项目通过对主要生产工艺和设备从投资经济性和先进性两方面进行综合比较、分析，选用的设备均具有当今国内外先进水平，具有生产效率高、性能稳定可靠等优点。

10、该项目总投资29224.46万元，其中：建设投资19727.07万元，建设期固定资产借款利息180.60万元，流动资金9316.79万元；经测算分析，项目建成投产后达纲年营业收入59723.01万元，总成本费用49417.77万元，年利税总额12885.16万元，其中：净利润7501.24万元；纳税总额5383.92万元，其中：增值税2579.92万元，营业税金及附加303.58万元，年缴纳企业所得税2500.42万元；年利润总额10001.66万元，该项目可以取得较好的经济效益。

综上所述，通过本章上述所做的技术、经济、环保、安全等方面分析结果表明，“集成电路设备制造项目”技术上可行、经济上合理；本报告

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认为：该项目所提供的集成电路设备产品市场前景良好，投资方向正确，技术方案设计先进合理，经济效益突出，因此，该项目的投资建设并实施无论是经济效益、社会效益还是环境保护、清洁生产都是积极可行的，因此，该项目建设是必要的也是完全可行的。

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第二章 集成电路设备行业分析

一、 集成电路设备行业介绍

半导体是常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，因其可受控制的导电性成为电路中极为重要的材料。集成电路（IC、IntegratedCircuit）是采用一定的工艺，将包含常用电子元件及布线的电路制作在半导体晶片或介质基片上，成为具有所需电路功能的微型结构。集成电路的载体称为芯片，由于含义相近，“芯片”与“集成电路”、“IC”在表达中常混用。

沙子中含有的硅元素为当今集成电路工业基本原料。硅以化合物形式广泛地存在于自然界，最常见便是以二氧化硅（SiO2）形式存在于砂砾、岩石当中。硅单质则是当今主流集成电路工业最为常用的材料，常见芯片均由硅单质为基础制造而来。从沙子到芯片，需经历以下一系列生产步骤。多次提纯制造极高纯度硅晶圆片。沙子经一系列还原、提纯制成晶圆，即制作硅基集成电路所采用的电子级纯度硅片。硅砂首先提炼还原为纯度约98%的冶金级粗硅，再经数次提纯，得到电子级高纯度多晶硅（纯度达99.9999999%以上，9~11个9），经过熔炉拉制得到单晶硅棒，再经切片、抛光制成晶圆。晶圆包括6吋、8吋、12吋等类型，是对应晶圆直径的简称，其实际直径分别为150mm、200mm和300mm，当前高端市场12吋为主流，中低端市场则一般采用8吋。晶圆表面经特殊工艺层层制作微小电路。晶圆表面经过光罩、护膜、长晶圆、切片、研磨、氧化、蚀刻、扩

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第三章 集成电路设备项目建设背景及可行性分析

一、 集成电路设备项目建设背景

（一）项目建设地概况

菏泽，古称曹州，位于山东省西南部，鲁苏豫皖四省交界地带，东与济宁市相邻，东南与江苏省徐州市、安徽省宿州市接壤，南与河南省商丘市相连，西与河南省开封市、新乡市毗邻，北接河南省濮阳市。地处北纬34°39′～35°52′,东经114°45′～116°25′之间。南北长157公里，东西宽140公里，总面积12238.62平方公里。菏泽原系天然古泽，济水所汇，菏水所出，连通古济水、泗水两大水系，唐更名龙池，清称夏月湖。清朝雍正十三年(1735年)升曹州为府，附郭设县，因南有“菏山”，北有“雷泽”，赐名菏泽。是著名的中国牡丹之都、武术之乡、书画之乡、戏曲之乡、民间艺术之乡。菏泽历史悠久，文化底蕴深厚，享有“天下之中”的美誉。上古时期济濮流域古泽薮遍布，《禹贡》九泽之菏泽、雷泽、大野泽、孟渚泽、皆在境内，历史上居于圣神地位。人文始祖伏羲、东夷之帝少昊、贤明君主帝舜、兵主战神蚩尤、改革家吴起、军事家孙膑、农学家氾胜之、经济学家刘晏、文学家温子升等大批圣贤，都出生在这里，刘邦登基称帝、曹操成就霸业、黄巢起义、宋江聚义等都发生在菏泽。2016年，菏泽全年GDP完成2550亿元、增长8.5%，城乡居民人均可支配收入达到22140元、10690元，分别增长8.7%、9.1%，国税收入实现168.2

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亿元、增长30.3%，规模以上工业增加值增长9.9%，这五项指标增速均居山东省第1位。

综合实力大幅提升。“十二五”期间，地区生产总值保持较快增长，预计2015年达到2400亿元，年均增长11.7%；公共财政预算收入完成177.7亿元，年均增长16%，占地区生产总值的比重达到7.4%；规模以上固定资产投资、社会消费品零售总额、进出口总额分别达到1074亿元、1350亿元、44.2亿美元，年均分别增长20.3%、15.5%和19.5%。主要经济指标增速居全省各市前列。结构调整成效明显。三次产业比例持续优化，预计2015年达到11.3∶52.9∶35.8。农业基础地位进一步巩固，粮食总产达到148.2亿斤，实现“十二连增”。工业转型升级步伐加快，高新技术产业产值占比达到31.6%，年均提高1.14个百分点。服务业实现跨越发展，成为吸引投资和吸纳就业的主体，现代服务业增加值占服务业比重达到51.3%，首次超过传统服务业。基础设施日趋完善。菏泽火车站提升改造、德商高速公路鄄菏段、洙水河航道一期、日东原油管道等工程竣工投用，菏泽机场配套工程开工建设，曲阜经菏泽至兰考高速铁路前期工作进展顺利。公路通车里程达到22922.6公里，新增2879公里。麒麟湖、月亮湾和宝源等水库竣工蓄水，全市水库蓄水量达到1.6亿立方米。华润菏泽电厂一期、赵楼煤矸石综合利用电厂竣工投运，新增装机容量166.9万千瓦。

（二）战略新兴产业“十三五”发展规划

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战略性新兴产业的发展，是重大科技突破和新兴社会需求二者的有机结合。在经济发展新常态下，战略性新兴产业将突破传统产业发展瓶颈，为中国提供弯道超车、在国际竞争中占据有利地位的宝贵机遇。

（三）工业绿色发展规划

政策引导，市场推动。发挥政府在推进工业绿色发展中的引导作用，优化工业结构和区域布局，加强机制创新，形成有效的激励约束机制。强化企业在推进工业绿色发展中的主体地位，激发企业活力和创造力，积极履行社会责任。

（三）经济新常态下产业结构调整

新常态下，中国经济下行压力明显，新旧动能转换，供给侧改革成为创新驱动发展战略的突破口，“释放新需求，创造新供给”也被写入十八届五中全会公报，成为“互联网+”、“中国制造2025”、“大众创业、万众创新”、“一带一路”等众多新动能的重中之重。

二、 集成电路设备项目建设可行性分析

（一）顺应产业政策的发展方向

“十三五”规划纲要草案提出，为实现制造强国战略，未来五年中国将实施高端装备创新发展工程，包括航空航天装备等八大行业。除了政策长期利好外，随着制造业转型升级和国产化替代的推进，高端装备制造国内外市场需求巨大。

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（二）符合市场需求的发展趋势

以专业人才培养为重点，加强技术创新队伍建设。各级、各类教育机构要高度重视基础教育和人才培养，支持国家重大技术装备人才培养基地的建设。具备条件的高等院校要整合相关力量，加强技术创新人才培养；高等院校要与企业、科研院所加强合作，联合培育一批年富力强、具有创造性的中青年科技人才、管理人才和高级技工，特别要培养重大装备研制和系统设计的带头人才。采取持股、技术入股、提高薪酬等更加灵活的政策措施，吸引国内外高水平专业技术人才，为装备制造业长远发展造就雄厚的后备力量。对重大技术装备研制、开发、使用和推广做出突出贡献的人员，各级政府和有关部门要给予表彰和奖励。

（三）满足企业发展的客观需要

集成电路设备项目的投资建设，可以大幅度提高企业的经济效益，为公司进一步发展创造条件；更为重要的是企业在多年的生产服务承包中，积累了大量的生产经验和管理经验，提升了在集成电路设备行业的核心竞争力，有利于促进当地集成电路设备行业的可持续发展。

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第四章 项目建设选址及用地规划

一、 项目选址方案

1、集成电路设备制造项目通过对拟建场地缜密调研，充分考虑了项目生产所需的内部和外部条件：距原料产地的远近、企业劳动力成本和生产成本的高低以及拟建区域产业配套情况、基础设施条件及土地成本等，拟选址位于菏泽。

2、拟定建设区域属项目建设占地规划区，项目总用地面积76667.05平方米（折合约115.00亩），项目建设遵循“合理和集约用地”的原则，按照集成电路设备行业生产规范和要求，进行科学设计、合理布局，符合集成电路设备项目发展和运营的需要。

二、 项目建设地概况

菏泽，古称曹州，位于山东省西南部，鲁苏豫皖四省交界地带，东与济宁市相邻，东南与江苏省徐州市、安徽省宿州市接壤，南与河南省商丘市相连，西与河南省开封市、新乡市毗邻，北接河南省濮阳市。地处北纬34°39′～35°52′,东经114°45′～116°25′之间。南北长157公里，东西宽140公里，总面积12238.62平方公里。菏泽原系天然古泽，济水所汇，菏水所出，连通古济水、泗水两大水系，唐更名龙池，清称夏月湖。清朝雍正十三年(1735年)升曹州为府，附郭设县，因南有“菏山”，北有“雷泽”，赐名菏泽。是著名的中国牡丹之都、武术之乡、书画之乡、戏

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曲之乡、民间艺术之乡。菏泽历史悠久，文化底蕴深厚，享有“天下之中”的美誉。上古时期济濮流域古泽薮遍布，《禹贡》九泽之菏泽、雷泽、大野泽、孟渚泽、皆在境内，历史上居于圣神地位。人文始祖伏羲、东夷之帝少昊、贤明君主帝舜、兵主战神蚩尤、改革家吴起、军事家孙膑、农学家氾胜之、经济学家刘晏、文学家温子升等大批圣贤，都出生在这里，刘邦登基称帝、曹操成就霸业、黄巢起义、宋江聚义等都发生在菏泽。2016年，菏泽全年GDP完成2550亿元、增长8.5%，城乡居民人均可支配收入达到22140元、10690元，分别增长8.7%、9.1%，国税收入实现168.2亿元、增长30.3%，规模以上工业增加值增长9.9%，这五项指标增速均居山东省第1位。

三、 项目用地规划

（一）项目用地规划及用地控制指标分析

该项目计划在菏泽建设，选定区域预计规划总用地面积76667.05平方米（折合约115.00亩），该项目建筑物基底占地面积55273.30平方米；规划总建筑面积85240.42平方米，计容建筑面积84830.14平方米，绿化面积5052.47平方米，场区停车场和道路及场地硬化占地面积15651.27平方米，土地综合利用面积75977.04平方米。

（二）项目用地控制指标分析

1、“集成电路设备制造项目”均按照菏泽建设用地规划许可及建设

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用地规划设计要求进行设计，同时，严格按照菏泽建设规划部门与国土资源管理部门提供的界址点坐标及用地方案图布置场区总平面图。

2、建设项目平面布置符合集成电路设备行业、重点产品的厂房建设和单位面积产能设计规定标准，达到《工业项目建设用地控制指标》（国土资发【2008】24号）文件规定的具体要求。

3、根据测算，该项目固定资产投资强度2620.12万元/公顷。 4、根据测算，该项目建筑容积率1.12。 5、根据测算，该项目建筑系数72.75%。

6、根据测算，该项目办公及生活服务用地所占比重2.37%。 7、根据测算，该项目绿化覆盖率6.65%。

8、根据测算，该项目占地产出收益率7860.36万元/公顷。 9、根据测算，该项目占地税收产出率708.60万元/公顷。 10、根据测算，该项目办公及生活建筑面积所占比重4.12%。 11、根据测算，该项目土地综合利用率100.00%。

12、根据综合测算，该项目建设规划建筑系数72.75%，建筑容积率1.12。

13、“集成电路设备制造项目”建设遵循“合理和集约用地”的原则，按照集成电路设备行业生产规范和要求进行科学设计、合理布局，符合集成电路设备制造经营的规划建设需要。

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14、以上数据显示，该项目固定资产投资强度2620.12万元/公顷>1259.00万元/公顷，建筑容积率1.12>0.80，建筑系数72.75%>30.00%，建设区域绿化覆盖率6.65%<20.00%，办公及生活服务设施用地所占比重2.37%<7.00%，各项用地技术指标均符合规定要求。

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第五章 工艺技术说明

一、 技术原则

政策引导，市场推动。发挥政府在推进工业绿色发展中的引导作用，优化工业结构和区域布局，加强机制创新，形成有效的激励约束机制。强化企业在推进工业绿色发展中的主体地位，激发企业活力和创造力，积极履行社会责任。

二、 技术方案要求

1、对于生产技术方案的选用，遵循“自动控制、安全可靠、运行稳定、节省投资、综合利用资源”的原则，选用当前较先进的集散型控制系统，控制整个生产线的各项工艺参数，使产品质量稳定在高水平上，同时可降低物料的消耗；严格按照集成电路设备行业规范要求组织生产经营活动，有效控制产品质量，为广大顾客提供优质的产品和良好的服务。

2、在工艺设备的配置上，依据节能的原则，选用新型节能型设备，根据有利于环境保护的原则，优先选用环境保护型设备，满足项目所制订的产品方案要求，优选具有国际先进水平的生产、试验及配套等设备，充分显现龙头企业专业化水平，选择高效、合理的生产和物流方式。

3、根据该项目的产品方案，所选用的工艺流程能够满足产品制造的要求，同时，加强员工技术培训，严格质量管理，按照工艺流程技术要求进行操作，提高产品合格率，努力追求集成电路设备的“零缺陷”，以关

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键生产工序为质量控制点，确保该项目产品质量。

4、在项目建设和实施过程中，认真贯彻执行环境保护和安全生产的“三同时”原则，注重环境保护、职业安全卫生、消防及节能等法律法规和各项措施的贯彻落实。

5、建立完善柔性生产模式；该项目产品具有客户需求多样化、产品个性差异化的特点，因此，集成电路设备规格品种多样，单批生产数量较小，多品种、小批量的制造特点直接影响生产效率、生产成本及交付周期；建设先进的柔性制造生产线，并将柔性制造技术广泛应用到产品制造各个环节，可以在照顾到客户个性化要求的同时不牺牲生产规模优势和质量控制水平，同时，降低故障率、提高性价比，使产品性能和质量达到国内领先、国际先进水平。

6、以生产集成电路设备为基础，以提高质量为前提，在充分考虑经济条件以及生产过程中人流、物流、信息流合理顺畅的基础上，优先选用安全可靠、技术先进、工艺成熟、投资省、占地少、运行费用低、操作管理方便的生产技术工艺。

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第六章 环境保护

一、 编制依据

1、《中华人民共和国环境保护法》。 2、《中华人民共和国水污染防治法》。 3、《中华人民共和国大气污染防治法》。 4、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》。 5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》。

6、《建设项目环境保护管理办法》（86）国环字第003号。 7、《中华人民共和国环境影响评价法》。

8、《环境空气质量标准》（GB3095-19）中二级标准。

9、《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）中Ⅲ类水域水质标准。 10、《声环境质量标准》（GB3096-2008）中2类标准。

11、《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中二级标准。 12、《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准。 13、《建筑施工厂界噪声限值》（GB12523-90）。

14、《社会生活环境噪声排放限值》（GB22337-2008）中2类标准。 15、《环境影响评价技术导则》（HJ/T2.1-2011）。

16、《生态环境状况评价技术规范（试行）（HJ/T192-2006）》。 17、《城市区域环境噪声标准》（GB3096-1993）II类标准。

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18、《菏泽城市扬尘污染防治管理暂行规定》。

二、 建设期环境保护对策

1、大气污染防治措施

砂石料统一堆放，采取遮盖措施；对作业面和土堆适当喷水，使其保持一定湿度减少扬尘量；开挖的泥土和建筑垃圾要及时运走；运输车辆不应装载过满，采取密闭措施减少沿途抛洒，并及时清扫散落在路面上的泥土和建筑材料。

2、水污染防治措施

施工期间在排污工程不健全的情况下，应尽量减少物料流失、散落和溢流现象；另建造集水池、砂池、排水沟等水处理构筑物，并对施工期废污水进行必要的分类处理达标后排放；水泥、黄砂、石灰类的建筑材料须集中堆放，并采取一定的防雨措施，及时清扫施工运输过程中抛洒的上述建筑材料，以免这些物质被雨水冲刷带入污水处理装置内和附近的水体。

3、噪声污染防治措施

加强施工管理，合理安排施工作业时间，严格按照施工噪声管理的有关规定执行，严禁夜间进行高噪声施工作业；尽量采用低噪声的施工工具；采用文明施工方法，降低噪声源；在高噪声设备周围设置掩蔽物；应加强对运输车辆的管理，尽量压缩工区汽车数量和行车密度，控制汽车鸣笛；设备调试尽量在白天进行。

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4、固体废弃物污染防治措施

工程建设期间对生活垃圾要进行专门收集，严禁乱堆乱扔，防止产生二次污染；合理布置施工现场的所需原辅材料及产生的固体废弃物的堆场，严禁安置在地表水源周边。

5、施工期环境控制措施

施工期间以控制建筑工地和道路扬尘为重点内容，加强扬尘污染控制，有效降低大气中颗粒物浓度，提高大气能见度；工程结束后，全面覆盖裸土、树穴，裸土覆盖率达到100.00%；大力整治堆场削减扬尘污染源；加强道路保洁，所有建设施工过程全面实施扬尘污染规范化控制措施；加强建筑施工场地噪声控制，对工地噪声的相关工序的重点监控。

6、实现固体废弃物的安全、有效、无害化处置措施

积极推行生活垃圾分类收集，建成运营后全面核实工业废物产生情况，实施工业废物特性检测，特别是正确识别危险废物，避免将危险废物作为一般工业废物处理造成污染。

三、 项目运营期环境保护对策

该项目生产过程中无有毒物质排出，并且生产用水为循环水，故无生产废水排放；环境污染因子主要是生活废水、生活垃圾及设备运行产生的噪声。

1、废水治理措施

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该项目建成投产后劳动定员597人，根据测算该项目达纲年生活废水排放量约4301.97立方米/年，生活污水的主要污染物是SS、氨氮，经场区化粪池处理后排入污水处理设施进行再处理，排放浓度满足《污水综合排放标准》（GB8978）表6中的二级排放标准，同冲洗废水一同排入菏泽市政管网，最终进入污水处理厂，对周围水环境影响较小。

2、固体废弃物治理措施

项目建设单位场区职工办公及生活产生垃圾量约74.63吨/年，经集中收集后由环卫工人及时清运，对周围环境影响较小；在集成电路设备生产过程中产生的固体废弃物（含废弃包装物），设专人收集后定置存放并进行集中处理，或交回收公司综合利用。

四、 噪声污染治理措施

该项目噪声主要是集成电路设备生产时所产生的机械噪音，因此，在设备选型上首先选用先进的、符合国家噪声排放标准要求的设备（设施），同时，加装防护设施进而降低噪声对环境产生的污染；对噪声较大的设备可在安装时增加减振消声装置，同时，对于设备运行过程产生的噪声选用降噪装置，降低噪声对场区周边环境产生的影响。

五、 地质灾害危险性现状

1、勘察资料表明，本项目所在地块地质情况稳定，建设区域存在滑坡、地面塌陷、地面沉降及地质裂缝等地质灾害的可能行较小，本工程按

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基本烈度8度进行抗震计算。对工程建设、居民生命财产和活动等范围不受影响或称危害不大。

2、项目所在地区没有明显的地质灾害，地质情况适宜项目建设，项目的建设不会给该地区带来地质灾害。

3、根据中国地震动参数区划图（GB18306-2001），菏泽的地震烈度为8度，本项目建筑物的抗震设防烈度为8度。

六、 地质灾害的防治措施

1、对于“集成电路设备投资建设项目”建设场址区域，在场地整平前必须进行详细的工程地质勘察工作，及时探明不良地质状况。

2、对于工程建设期和运营期的可能出现的地质灾害影响，应采取相关对应措施降低发生的概率，将可能的损失降到最低。

七、 生态影响缓解措施

1、加强绿化建设。根据建设区域不同的生态绿化功能，对生态绿化进行合理配置，改变林相单一现状，构建安全、稳定的植物群落，并为其他生物提供良好的栖息环境。以大型乔木为主，适当考虑林下灌层的发育，构筑“多廊多点多面，点、线、面结合”的绿化体系。

2、景观建设。景观建设与人工林建设相结合进行。以城市景观建设为主体绿化景观，结合人居环境建设，营建舒适惬意的自然绿色景观。

八、 特殊环境影响

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1、本项目选址符合当地的区域规划，附近无重要风景名胜古迹和人类文化遗产，不存在对风景名胜古迹和人类文化遗产的影响问题。

2、场区周边范围内居民搬迁安置后没有居民居住点，场区周围主要为规划建设用地、道路、工厂，建设项目不会对特殊环境产生影响。

3、项目拟建地址不属于地质灾害易发区，项目建设过程中不会诱发地质灾害。

4、本项目几乎无污染物排放，对周围环境影响很小，不会改变当地环境质量现状。而当地环境质量较好，符合本项目建设的各项要求。

5、本项目地块内部及周边无特殊环境，因此，该项目建设不会对这些特殊环境产生影响；若施工过程中发现有文物、古迹等，则按国家相关法律法规执行。

九、 环境和生态影响综合评价及建议

（一）环境保护总体评价结论

建设项目符合菏泽人民政府总体规划，对废气、废水和固体废物等污染物及噪声采取防治措施后，在切实落实各项环境保护措施并保证污染物和噪声达标排放后，从环境保护角度出发，该项目在拟建场址建设和运营是可行的。

（二）项目环境保护建议

1、项目施工期做好环境保护监管工作，防止施工噪声扰民。

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2、施工场地禁止设置混凝土搅拌站，可直接购买商品水泥，以减少扬尘和施工噪声。地基阶段尽量不采用打桩方法施工。

3、建议工程采用已经通过ISO14000认证的建筑公司进行施工，以保证工程质量，减少施工扰民。

4、加强项目使用期的运行管理，做好大气、水、噪声、固体废弃物等环境保护要素的日常监管工作，以减少项目对环境的污染。污水管道、检查井、地下车库地面、垃圾收集处地面等要采取防渗措施，保护地下水环境。

5、项目设计严格执行国家和地方环境保护部门制定各项标准、规范和要求，贯彻“以防为主，防治结合”的原则，对生产的全过程实施污染控制。

6、建筑工程要采用先进可靠的工艺技术，减少污染物发生量，对必须排放的污染物采取必要的控制措施，达到排放标准后外排，本项目对外环境的影响很小，可实现社会效益、经济效益和环境效益的统一。

7、通过在项目工程规划设计中给予足够的重视并采取专门的治理措施，在项目施工、运营过程中采取行之有效的管理措施，可以防止污染因素所造成环境的影响。

8、本项目的选址符合当地的区域规划，符合菏泽发展规划，如环境保护措施到位，对当地的自然环境、生态环境将控制在国家许可的标准范

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围内。

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第七章 能源消费及节能分析

一、 能源消费种类及数量分析

根据《综合能耗计算通则》（GB/T2589）实际消耗的各种能源是：一次能源、二次能源和生产使用耗能工质所消耗的能源；根据“集成电路设备制造项目”用能数据统计和设备及工艺运行情况，达纲年所需综合能耗（折合当量值）226.66吨标准煤/年，该项目主要能源消费种类及数量如下所述。

（一）项目用电量测算

该项目用电量由生产设备电耗、公用辅助设备电耗、工业照明电耗以及变压器及线路损耗构成，变压器及电路损耗按项目运行耗电量的2.60%估算；根据项目生产工艺用电和办公及生活用电情况测算，全年用电量1278834.00千瓦?时，折合157.17吨标准煤；详见—《项目年用电量测算一览表》所示。

（二）项目用水量测算

项目建设单位生产工艺用水及设备耗水和生活用水由菏泽经济开发区自来水供水管网供应，项目建设规划区现有给、排水系统设施完备可以满足使用要求，项目工业用水水压0.35Mpa-0.45Mpa，生活给水水压0.35Mpa，根据谨慎财务测算，该项目实施后总用水量16542.12立方米/年，折合1.42吨标准煤；详见—《项目年用新鲜水量测算一览表》所示。

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项目年用新鲜水量测算一览表 （三）天然气用量测算

本项目达纲年单位时间天然气最大消费量为10.66标准立方米/小时，单位时间平均用量为8.53标准立方米/小时，每年按250.00个工作日计算，年新增天然气消耗（最大量）51180.00标准立方米，折合68.07吨标准煤。详见—《项目年用新鲜水量测算一览表》所示。

二、 能源单耗指标分析

根据节能测算，该项目年综合耗能226.66吨标准煤，达纲年营业收入59723.01万元，年现价增加值14314.23万元，因此，单位产品综合能耗22.67千克标准煤/吨，万元产值综合能耗3.80千克标准煤/万元，现价增加值综合能耗15.83千克标准煤/万元。

三、 项目预期节能综合评价

1、该项目采用先进的生产装备和成熟可靠的技术工艺，在项目总体设计、主要设备的选型、工艺技术、能源管理等方面采取切实有效的措施，项目建设符合国家产业发展政策。

2、通过节能分析，该项目能够合理利用能源，提高能源利用效率，促进产业结构调整和产业升级；制定合理利用能源及节能的技术措施，有效降低各类能源的消耗，按照项目生产总值和能源消费指标分析，其万元增加值综合耗能指标处于国内集成电路设备行业先进水平，节能效果显

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