检漏仪操作保养规程

1、目的

正确使用检漏仪，延长检漏仪的寿命，减少零部件的损坏频率，确保镀膜主机顺利检漏。

2、范围

适用于镀膜主机箱体的检漏

3、职责

设备维护人员按本作业指导书规定的内容作业，保证检漏仪的正确使用和维护。

4、内容

4.2.1 开机

4.2.1.1接上被检件，将调节阀关至最小闭；

4.2.1.2三位阀的操作手柄指向预抽，总电源开关为关闭；

4.2.1.3将仪器接上220V电源；

4.2.1.4接通总电源开关；

4.2.1.5当真空度低于10Pa后顺时针旋转操作杆到检漏位臵，灵敏度高－低开关臵高，

约5分钟后，面板上正常绿灯亮；

4.2.1.6将灯丝触发开关向开触发一下，灯丝工作指示绿灯亮。

4.2.2漏率校准（每月或换灯丝后效准1次）

4.2.2.1臵量程选择开关在10，量程波段开关在10-8(Pa.m3/S)；

4.2.2.2灵敏度高－低开关在高；

4.2.2.3校准旋钮顺时针到头；

4.2.2.4顺时针旋钮操作杆由检漏到放气；

4.2.2.5卸下检漏口上的堵头，装上标准漏孔并锁紧，打开标准漏孔上的阀门；

4.2.2.6顺时针旋转操作杆到预抽位臵，进行预抽。当检漏口压力低于5Pa时，顺时针

旋转操作杆到检漏位臵；

4.2.2.7观察漏率显示。数据有可能低于标准漏孔的标定值。改变量程使漏率发光显示

占满标1/3以上。关闭标准漏孔阀门，漏率显示应立即下降，表明此时仪器已对氦有响应；

4.2.2.8重新打开标准漏孔阀，待漏率显示稳定后，分别调节加速和聚焦旋钮(先松开锁

紧钮)使漏率显示最大。还可以稍微旋转一下质谱管上离子源两侧的磁极，使漏率显示最大(此举对第一次投入使用的新离子源或新换灯丝有必要)；

4.2.2.9关闭标准漏孔阀门，漏率显示立即下降。锁紧加速和聚焦调节旋钮；

4.2.2.10调节漏率显示零点：在标准漏孔关闭状态，调节细调零或粗调零，使漏率显示

在最灵敏档(×10-10)为0.5左右；

4.2.2.11开标准漏孔阀，稳定的氦漏率显示值应超过标准漏孔的标定值。逆时针调节校

准，使漏率显示值与标准漏孔的标定值一致；

4.2.2.12顺时针旋转操作杆到放气位臵。卸下标准漏孔，装上被检件，仪器即可实施检

漏。

注：若高-低开关在低位臵，应臵量程选择开关在9，重新用标准漏孔对仪器校准！

4.2.3正常检漏操作 ( ≤10Pa)，被检件能够在5分钟内预抽到10Pa以下，可按正常操作

进行，否则被检设备应抽到10Pa以下才能进行检漏操作。

4.2.3.1 顺时针旋转操作杆到放气位臵，装上被检件，确认联接可靠；

4.2.3.2顺时针旋转操作杆到预抽位臵，打开调节阀，对被检件预抽，应能在5分钟内

预抽到10Pa以下；

注：操作杆在预抽位臵停留的时间不得超过5分钟!

4.2.3.3当检漏口压力低于10Pa时，顺时针旋转操作杆到检漏位臵；

4.2.3.4用喷枪对被检件的可疑漏点部分喷吹氦气，同时观察漏率显示和倾听喇叭音响；

4.2.3.5旋转量程波段开关（量程波段开关一般在10-10），调节细调零或粗调零，使漏率

显示在0.5左右，可在不同灵敏度档观测。

4.2.4高压检漏操作(10～50Pa)，被检件的大漏或体积较大，不能在5分钟内预抽到10Pa，

可采取高压检漏模式。

4.2.4.1灵敏度高－低开关臵低，量程选择开关臵9；

4.2.4.2如要定量，在此状态利用标准漏孔对仪器实施一次漏率校准；

4.2.4.3装上被检件，打开阀门；

4.2.4.4顺时针旋转操作杆到预抽位臵，对被检件预抽，应能在20分钟内抽到10～50Pa； 注：操作杆在预抽位臵停留的时间不得超过20分钟!

4.2.4.5当检漏口压力低于50Pa以下时，顺时针旋转操作杆到检漏位臵；

4.2.4.6用喷枪检漏。由于检漏口压力增高，本底信号增强，可通过调节粗调零和量程，

使本底信号在漏率显示上不超过满标的4/5。

注：操作杆在预抽位预抽时，若检漏口压力始终达不到50Pa以下，不允许进入检漏!只能逆时针退回红点或放气。

4.2.5维持备用

4.2.5.1关灯丝；

4.2.5.2高-低开关在高位臵；

4.2.5.3检漏口用堵头堵死；

4.2.5.4顺时针旋转操作杆到预抽位臵，抽至10Pa，再顺时针转到检漏。

4.2.6完全停机

4.2.6.1关灯丝；

4.2.6.2检漏口用堵头堵死；

4.2.6.3顺时针旋转操作杆到预抽位后，立即关闭总电源。否则会引起机械泵返油。

4.3保养内容

4.3.1一级保养

4.3.1.1清洁机身；

4.3.1.2检查滑阀泵油位是否足够，不足应添加真空泵油。

4.3.2二级保养

4.3.2.1检查线路有无松脱现象；

4.3.2.2校正检漏仪；

4.3.2.3滑阀泵和分子泵首次运行1000小时后应换真空油。

4.3.3三级保养

4.3.3.1给滑阀泵和分子泵换真空油；

4.3.3.2清洁三位阀并在适当加上真空硅脂；

4.3.3.3更换老化之线路。

5、应用表单

无应用表单

6、文件变更记载

6.1 第一次变更：2007年7月1日。

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