微机电系统(MEMS)34

微机电系统 MMES

机械工程与自动化学院专业选修课程

Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)

微机电系

微机电系统 MMES

教材

刘晓明,朱钟淦.《微机电系统设计与制造》 国防工业出版社,2006

参考书籍

微系统技术，[德]W.Menz著，王春海等译， 化学工业出版社，2003 半导体制造技术，[美]Michael Quirk & Julian Serda著，韩郑生等译，电子工业出版社，2003

微机电系统 MMES

课程安排

课 时—— 36 学时 上课时间——第3周-第15周 周一9:55AM，07-212 考试方式——考核 考核方式——课堂报告 论文报告

韩冬桂 18971609020 handonggui@

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一、引

信息系统微型化

– 系统体积大大减小 – 性能、可靠性大幅度上升 – 功耗和价格大幅度降低

言

信息系统的目标：微型化和集成化

– 微电子解决电子系统的微型化 – 非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键

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控制部分 电子学

微电子学

机械 部分 传感 执行 MEMS

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二、MEMS概念

从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信 号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一 体的微型机电系统 非纯电路装置

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MEMS=广义上的SOC

电、光、 声、热、 磁力等外 界信号的 采集—各 种传感器

信息输入 与模/数 传输

信 息 处 理

信息输出 与数/模 转换

执 行 器 、 显 示 器 等

信息存储

一般意义上的系统集成芯片

广义上的系统集成芯片

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三、MEMS技术的历史

微系统是从微传感器发展而来的，已有几 次突破性的进展

– 70年代微机械压力传感器产品问世 – 80年代末研制出硅静电微马达 – 90年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计 和数字微镜器件等相继规模化生产

– 充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应用 前景

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微电子压力传感器

F

利用了硅的三微结构与机械特性

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微电子湿度传感器

聚合物薄膜 压敏电阻器

硅

吸湿膨胀

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硅微齿轮

微机电系统 MMES

硅微转子

微机电系统 MMES

硅微槽

微机电系统 MMES

硅微漏斗

微机电系统 MMES

硅微梁

微机电系统 MMES

硅微梁

微机电系统 MMES

硅微转动器

微机电系统 MMES

硅微拖动器

微机电系统 MMES

硅微桥

微机电系统 MMES

硅微桥

微机电系统 MMES

硅微琴

本文来源：https://www.bwwdw.com/article/qic1.html