2017-2018年靶材行业现状及发展前景展望调研预测投资分析报告
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2017-2018年靶材行业现状 及发展前景分析报告
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2017年11月
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正文目录
靶材行业简介 ............................................................................................................5 靶材的分类及应用 ....................................................................................................5 靶材的制备方法 ........................................................................................................9 靶材行业的生产的技术壁垒 ................................................................................ 10 溅射靶材产业链及市场容量 ................................................................................ 12 靶材上游产业主要被国外垄断 ............................................................................ 13 高纯铝是我国靶材上游材料的突破口 ............................................................... 14 半导体靶材:是国内技术最为领先的半导体材料 .......................................... 15 太阳能靶材:主要应用于薄膜太阳能电池中 ................................................... 21 国内靶材发展现状和未来发展空间 ................................................................... 23 受政策和需求双重推动,国内靶材行业发展空间巨大 .................................. 25 相关建议 ................................................................................................................. 27 江丰电子 ................................................................................................................. 27 隆华节能 ................................................................................................................. 27 阿石创 ..................................................................................................................... 28 有研新材 ................................................................................................................. 28 风险提示 ................................................................................................................. 28
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图表目录
图表1:溅射靶材工作原理 .....................................................................................5 图表2:溅射靶材种类 .............................................................................................6 图表3:下游产业结构变化 .....................................................................................6 图表4:集成电路产业中高纯金属靶材及其应用 ...............................................7 图表5:平面显示行业镀膜工艺 ............................................................................8 图表6:靶材应用在薄膜太阳能电池 ....................................................................8 图表7:溅射靶材生产工艺流程 ............................................................................9 图表8:靶材的晶粒晶向控制 ............................................................................. 11 图表9:溅射靶材产业链 ...................................................................................... 12 图表10:高纯金属铝进口为主 ........................................................................... 14 图表11:高纯铝产量高速增长 ........................................................................... 15 图表12:全球半导体用溅射靶材市场(亿美元) .......................................... 16 图表13:国内半导体芯片用靶材市场(亿元) .............................................. 16 图表14:国内在建的12吋晶圆制造厂 ............................................................ 17
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图表15:国内平板显示产业市场(亿元) ...................................................... 18 图表16:国内触控屏产品出货量(亿片) ...................................................... 19 图表17:全球平板显示用靶材市场规模(亿美元) ...................................... 20 图表18:国内平板显示用溅射靶材市场爆发 (亿元) ............................... 21 图表19:国内累计光伏装机容量(GW) ....................................................... 22 图表20:全球太阳能电池用溅射靶材市场(亿美元) ................................. 23 图表21:国内太阳能电池用溅射靶材市场(亿元) ...................................... 23 图表22:全球主要溅射靶材企业 ....................................................................... 24 图表23:国内溅射靶材主要上市公司 ............................................................... 25 图表24:近年来行业相关政策 ........................................................................... 26
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靶材行业简介
溅射工艺属于物理气相沉积(PVD)技术的一种,是制备电子薄膜材料的主要技术之一。在电子信息产业的发展过程中,金属薄膜的制备十分重要。溅射工艺利用离子源产生的离子,在真空中加速聚集成高速离子流,轰击固体表面,离子和固体表面的原子发生动能交换,使固体表面的原子离开靶材并沉积在基材表面,从而形成纳米(或微米)薄膜。被轰击的固体是溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。靶材质量的好坏对薄膜的性能起着至关重要的决定作用,因此,靶材是溅射过程的关键材料。
图表1:溅射靶材工作原理
靶材的分类及应用
靶材因其成分、形状和应用领域不同, 可以采用不同的分类方法。
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