镀膜机常见故障及分析解决预防措施2 - 图文

镀膜机常见故障及分析解决预防措施 一. 常见故障,问题及解决方法

下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施. 故障故障现象 故障原因 解决及预防措施 备注 点 1.1.开枪有高压，无1.灯丝保险烧断 1.检查灯丝保险，烧断则更换 立即 束流 2.灯丝烧断 2.保险正常则检查灯丝更换枪关高1.高压 3.南光枪枪体右边引体. 压 和束线碰到枪体底坐 3.调整引线与枪体底坐的间距.流 在抽气前检查枪体. 1.2.开高压显示跳1.束流控制调在手动，1.电位器归零.在预熔完后应将立即动幅度大，并有束电位器未归零 灯丝电位器归零 关高流跳动 2.枪体短路 2.将连接灯丝变压器的高压引压 3.高压电极保护罩或线取下（注意引线不能碰到机屏蔽碰到高压引线造器应悬空）开高压，正常则枪成短路 体或高压电极保护罩或屏蔽短4.电柜故障 路造成 3.放气检查电极保护罩或屏蔽 4.检修电柜 1.3.开枪无高压，无1.高压保护不到位（偏1.检查相应的高压保护 束流 转.真空.柜门） 2.检修高压控制电路 2.高压电路出问题 1.4.镀膜时高压会1.真空继电器烧坏 1.更换真空继电器 常见4下跌 2.高压电路出问题 2.检修高压电路 号机 1.5.镀膜时灯丝突1.BT138可控硅被击1.更换BT138 常见4然很亮(束流达到穿 2.检查枪体 号机 满格) 2.枪体短路 1.6有高压，有灯丝1.栅极片短路 1.整理枪体 电流，无光斑 2.扫描出问题或扫描2.检修扫描，正确连接扫描线 线接反了 1.7.束流上不去，达1.灯丝位置不正或变1.重新安装或更换灯丝. 为了 不到以前的水平形 更好的对灯丝定形及延长灯丝（同样功率达不到2.灯丝被氧化 使用寿命,在更换新灯丝后应对以前的速率） 3.连接枪体的各接头灯丝进行预热处理 松动 2.更换灯丝.为防止灯丝氧化在4.坩埚转速太快 放气前应注意检查关闭灯丝电5.材料被污染 源开关 6.晶片被挡住 3.拧紧各连接处. 4.调整坩埚转速 5.取出被污染的材料或更换新材料 6.调整晶片挡板位置.抽气应检 1 7.电柜出问题 1.8.阻蒸电流调不1.蒸发舟烧断或松掉上去 造成接触不良 2.空气开关跳闸 3.调节电流的电位器坏了 4.铜电极与真空室底板下的引线接触不良 1.9.速率不稳定 1.晶片失效 2.料面不好 3.功率设置不合理 4.控制参数PID设置不合理 5.灯丝接触不好或老化 6.高压打火 1.10.高压打火 1.枪体污染，杂物掉入枪体 2.各接线处未拧紧 3.聚四氟套管太脏 4.枪体阳极，栅极变形 5.高压电极太脏 6.屏蔽不佳或未屏蔽 7.光斑位置不合理，扫描状态不好 8.2枪高压干扰 9.材料污染有杂物 10.高压打在10KV 11.预熔不够充分 12.功率设置不合理 查晶片是否被挡 7.检修电柜 1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为了防止接触不良，各电极和压块应清洗干净.更换在蒸发舟时应将铜压块取下砂干净再安装蒸发舟 2.打开空气开关 3.更换电位器 4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉 1.选择好的晶片，1.2枪的速率要匹配 2.料要加平整，养成停坩埚的好习惯 3.预熔功率及最大功率设置合理(最大功率为略大于蒸发时所需功率） 4.设置合理的PID参数 5.紧固或更换灯丝 6.解决打火现象 1.整理枪体，在吹枪体时应用吸尘器边吸使吹出的杂物吸走不被落在枪体里 2.拧紧各连接处，使其接触良好 3.清洗或更换套管，应定时清洗 4.调整或更换阳极，栅极片 5.更换高压电极 6.调整屏蔽或加装屏蔽 7.调整好光斑，检查扫描 8.蒸镀1枪时应关闭2枪高压 9.将被污染的材料去除或更换新材料 10.将高压调在正确的档位（中档8KV）.在触摸屏上操作时(如调整坩埚转速时)应注意是否误碰到高压调节档位 11.预熔时间及加的束流应合理（束流最后应加到接近镀第一套时所需束流坩锅转一到两圈） 12.设置合理的功率,预熔功率不应太大,最大功率应与速率相匹配,注意在第一套时速率较小时功率的设置 2 2.扫描2.1.光斑不能调整 和光斑 1.扫描引线或线圈短路 2.整流桥击穿 3.引线或线圈断路 4.遥控盒上的连线松脱或电位器坏了 2.2光斑及扫描状1.灯丝变形 态不好 2.极靴位置不正 3.扫描频率不合适 4.短路条多或少了,位置不好 5.高压档位不对 6.扫描连接线有误 3.坩埚3.1坩埚转动不灵1.坩埚周边间隙太小 和工或不转 2.坩埚间隙有材料(卡转 料) 3.轴承锈死 4.减速器出问题 5.电机出问题 6.防污底板顶到坩埚(2枪) 7.连接键脱落 3.2工转噪音大,晃1.电机轴承坏了 动大 2.大轴承干磨性能下降 3.电机与减速箱连接不好 4.传动齿轮磨损 3.3工转转不了 1.电机损坏 2.电机与传动部分的键脱落或磨损 3.传动的齿轮磨损 4.单向器坏了 5.电路出问题 1.检查引线及线圈,引线间不能碰在一起,抽气前应检查引线是否互相触碰和松动 2.更换整流桥 3.检查引线及线圈 4.接好连线或更换电位器 1.更换灯丝 2.调整极靴位置.在拆下清洗时要做好记号避免安装时位置不正 3.调整合适频率,频差和密度 4.调整短路条的位置及数量 5.调整正确的高压档位 6.正确连接扫描线,维修时应做好记号 1.调整坩埚周边的间隙 2.清理间隙中的材料.注意料不要加得太高,预熔时数量不要加得太快,防止材料飞溅掉入间隙里使坩埚卡住或转得不顺畅 3.清洗或更换轴承.在打扫真空室及洗机时应将坩埚下面的料渣清除,防止料渣太多影响轴承的性能 4.检查减速器 5.维修或更换电机 6.调整好大门底板的位置(稍高于坩埚),关门时感到异常(如较平时紧)应检查底板及防污板的位置 7.重新安装好键 1.更换电机轴承 2.清洗或更换大轴承 3.将电机与减速箱连接好 4.更换齿轮 1.更换电机 2.重装或更换键 3.更换齿轮 4.更换或维修单向器(2楼) 5.检修电路 3 3.4.工转电压调不1.调节电位器损坏 上,电压显示指针2.控制器出问题 跳动大 3.工转传动不稳 4.碳刷接触不良 5.电压表有问题 4.阀门 4.1.阀门打不开 1.气压不够 2.控制阀门的气动阀有问题 3.阀门间互锁 4.2.阀门打开后会自动关闭 4.3.放气取膜,放气阀打不开 5.真空5.1.在镀膜过程中度 真空度突然下跌 5.2.低真空突然抽不动 5.3抽气慢 1.更换电位器 2.检修控制器 3.维修传动部分 4.整理碳刷接触面或更换 5.维修或更换电压表 1.调高气压到适当位置 2.维修或更换气动阀 3.检查与其互锁的阀门.应注意阀门指示灯显示关闭但实际阀门并未关闭的现象 1.气压不够 1.调高气压到合适位置 2.气动阀阀芯内的橡2.更换阀芯或气动阀 皮松脱 1.高阀没关到位 1.检查高阀没关到位的原因,不 2.放气阀的气动阀有能强行手动关闭 问题 2.更换或维修气动阀 1.高阀,预阀等阀门自1.检查气压是否正常,正常则是 动关闭 相应的阀门问题,一般为气动阀2.扩散泵断相或跳闸 的阀芯松脱 3.坩埚卡料强行转动2.合上闸刀,断相表现为三相指造成漏气 示灯有一或两个灯不亮,更换电炉盘 3.维修坩埚,当卡料时不能强行转坩 1.机械泵掺气阀没关 1.关闭掺气阀 2.真空室门压到东西 2.检查大门密封.关门抽气时应3.并路阀(旁通阀),截检查大门是否压到东西或密封止阀自动关闭 圈上有杂物 4.机械泵出问题 3.检查相应的阀门及控制阀门5.罗茨泵出问题 的气动阀和气压 6.管道漏气 4.维修机械泵 7.机械泵上的机放阀5.维修罗茨泵 漏气 6.维修管道 8.真空室漏气 7.更换或维修机放阀 8.按5.4步骤检漏 1.真空室太脏,没换防1.更换防污板或清洗真空室 污板 2.清洗扩散泵(大约一年洗一2.扩散泵太久没洗 次) 3.扩散泵出气口挡油3.调整挡油板 板被吸起 4.给机械泵掺气或换油 4.机械泵没掺气 5.调节真空表基准或更换真空5.真空测量表基准不表 准 6.检修机械泵,罗茨泵 6.机械泵,罗茨泵有问 题 4 5.4.真空度低 7.真空室暴露在大气时间过长或玻片未烘干 8.漏气 1.真空表测量不准 2.真空规管测量口被百叶窗挡住 3.真空室大门没关好 4.真空泵出问题 5.管道漏气 6.动密封如坩埚,工转,观察窗,挡板等密封漏气 7.洗机或维修时动过的部件或附近有松动 8.堵头没装好 9.通了水的如坩埚,工转,探头等地方有漏点 10.高阀,低阀气缸漏气 11.金属焊缝漏 7.尽量减少敞大气时间,玻片应 完全烘干 8.按5.4步骤检漏 1.更换真空表 2.关闭高阀,若此时真空室真空度比较稳定,则放气调整百叶窗的位置 3.用酒精注射大门密封看真空度变化,如有变化则放气整理真空室门密封 4.维修或更换真空泵 5.维修管道 6.更换或重装动密封 快速连续转动看真空度是否有较大的变化,有则是该转动部动密封有问题 7.检查动过的部件及附近,确认后紧固 8.用酒精注射堵头,若真空度有变化则紧固或重装该堵头 9.通过用高压气来冲水管看真空度是否有变化,有则检查水路 10.通过开关高阀,低阀或用酒精注射阀门确认后更换阀体或密封圈 11.用酒精注射各焊缝来确认是否有漏,有则补焊焊缝 1.烘烤玻片及防污板的时间要 适当 2.用干净的布清洗好玻片,清洗时应认真仔细 3.先用洗洁精清洗干净玻片,再用清水将玻片冲洗干净 4.检漏 5.解决打火现象 6.清洗真空室 7.降低速率到合适位置 8.减少脱膜剂的厚度 9.擦洗高阀盖及冷井.给扩散泵加热时间不能少于90分钟. 1.用酒精仔细擦干净真空室 2.延长轰击时间,防污板应彻底烘干后才装入真空室 6.掉膜6.1.掉膜 问题 1.真空室或玻片潮湿（更换防污板后） 2.玻片没洗干净 3.更换新玻片,玻片上有油污 4.真空度低 5.打火严重,造成膜厚不均匀引起应力大 6.真空室有油污 7.蒸发速率过高 8.脱膜剂镀得过多 9.扩散泵返油造成高阀盖及冷井处有油污 6.2.周一掉膜严重1.洗机时产生的一些且膜质不好 粉尘在抽气时飞到玻片上 2.洗机时的潮气及防污板的潮气未干

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