ITO蚀刻生产工艺作业指导书

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2008-4-72/1

一、目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质二、适用范围：ITO蚀刻

三、职责：作业员严格按本规范操作 四、作业内容:

4.1溶液的配置

4.1.1A槽（蚀刻ITO Film）

a.开槽配490(480-500)升左右酸液。

b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 34.51（体积比） HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 29（质量比） 质量比浓度约为16.4％，摩尔浓度约为4.71mol/L

c. 取168L浓 HCL（200kg）慢慢加入290L (290kg) 纯水中 (边搅拌边加入)。配好后测试酸的浓度,在范围内方可使用。d. 蚀刻线酸液浓度测定

准确移取2ml槽液到洁净的锥形瓶中，加入蒸馏水（过滤水）25ml，滴加0.1%酚酞2-3滴（0.1 g酚酞+99.9g乙醇）。使用浓度为（NaOH）=0.5mol/L标定时理论消耗约14.8~16.4ml ,接近滴定终点时溶液顏色由无色变为红色。

注：如果蚀刻一段时间后，槽液滴定时消耗氢氧化钠标准溶液<14.8~16.4ml,须补加盐酸。e. 补充液的计算

补加量为（使用查考配加药量计算）：MHCL（g）=200000 - 12761 VNaOHVHCL (mL) = MHCL/1.19

VNaOH -----蚀刻后槽液消耗标准氢氧化钠的体积ml4.1.2 B槽（蚀刻玻璃）a. 开槽配435升左右酸液.

b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水) : HNO3(65-68%)= 249 : 11.74: 239（体积比） HCL (36-38%) : H2O (纯水) : HNO3(65-68%)= 293 : 239 : 16.67（质量比） 摩尔浓度约为6.17mol/L

c.取249L浓 HCL（296.2kg） 慢慢加入200L纯水(200kg)中(边搅拌边加入);再取11.74L 浓HNO3（16.67kg）慢慢加入以上酸液中(边搅拌边加入) 。配好后,测试酸的浓度在范围内方可使用。d. 蚀刻线酸液浓度测定

准确移取2ml槽液到洁净的锥形瓶中，加入蒸馏水（过滤水）25ml，滴加0.1%酚酞溶液2-3滴（0.1 g酚酞+99.9g乙醇）。使用浓度为（NaOH）=0.5mol/L标定时理论消耗约24.2-25.0ml , 接近滴定终点时溶液顏色由无色变为红色。

注：如果蚀刻一段时间后，槽液滴定时消耗氢氧化钠标准溶液<24.2-25.0ml,须补加硝酸和盐酸。e.补充液的计算

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2008-4-72/2

4.1.3补加量为（使用查考配加药量计算）：MHCL（g）=296195 – 12001.4167 VNaOHVHCL (mL) = MHCL/1.19

VNaOH -----蚀刻后槽液消耗标准氢氧化钠的体积ml1.19 -----所用盐酸的质量分数

MHNO3（g）=16672.61 – 675.5514 VNaOHVHNO3 (mL) = MHNO3/1.42

VNaOH -----蚀刻后槽液消耗标准氢氧化钠的体积ml1.42 -----所用硝酸的质量分数4.1.4.碱槽溶液配制

NaOH：H2O=1:20(质量比)摩尔浓度约为1.25mol/L

a.开槽配制约200升 ( L ) 碱液。

b.称取10.5kg氢氧化钠, 置于白色塑料筒中, 再量取约200升纯水将其溶解。注意:

1.先将固体氢氧化钠(NaOH)尽量捣碎, 再用适量纯水溶解,最后加入剩余的纯水配成。2.整个过程中, 需不停搅拌, 尽可能不让氢氧化钠沉淀结块。3.搅拌速度适中, 不宜过快。d. 蚀刻线碱液浓度测定

用吸量管吸取2.0ml碱液, 放入锥瓶中, 加纯水约25ml,再加酚酞指示剂1-2滴(这时溶液呈红色), 然后用盐酸(HCL)标准溶液滴至由红色变成无色后摇匀, 1分钟后不褪色即为终点, 使用浓度为（HCL）=0.5mol/L标定时理论消耗约5.0~5.6mle.补充NaOH的计算

如果蚀刻一段时间后，清洗耐酸油墨质量不良时，补加量可参考下面的公式推算（使用参考新配加药量计算）：

M(NaOH)g＝10000-2000 VHCL (mL)

VHCL---------滴定盐酸溶液的实际消耗体积mlM(NaOH)----------需要被投加的氢氧化钠的量g

4.2注意事项

4.2.1 配制前,所用容器、工具必须洁净干燥, 每次使用完毕, 应立即清洗。4.2.2 工作桌面保持清洁、整齐。

4.2.3 使用完的试剂,必须立即将瓶盖拧紧, 避光放于阴凉处。4.2.4 配制溶液,所需用水必须采用纯水。

4.2.5 溶液配制必须在通风处进行,操作人员需配戴耐酸、碱手套、口罩、防护眼镜及穿雨鞋。4.2.6 配制酸液时,不能将水注入酸中, 否则极易产生爆炸。4.2.7 酸、碱不慎沾到皮肤上, 应立即用水清洗。

4.2.8 配制标准溶液的试剂采用分析纯，生产用的试剂可采用化学纯。

4.2.9 酚酞为碱指示剂,用适量乙醇溶解; 甲基橙为酸指示剂也可用酚酞,用适量纯水溶解。

4.2.10 每次开机前,酸液、碱液的浓度必须测试。连续生产时,每3.5-4.0小时需测试槽中酸、碱液浓度,若浓度不足,需添加。当生产量大, 应适当增加测试频率, 以确保溶液浓度在要求范围内。4.2.11碱液:每工作72小时换一次槽液并清洗碱槽; 酸液:两槽酸每工作3个月换一次槽液并清洗酸槽; 纯水、自来水每工作72小时换一次槽液并清洗水槽。 注:不足规定时间,浓度不足可添加。

4.2.12一个月没生产,则槽液需排放,不能留在槽中。

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