ITO镀膜教材

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第一章

第二章

第三章

第四章

第五章 ITO玻璃教育訓練教材

ＬＣＤ簡介 ＩＴＯ玻璃

２〃１ ＩＴＯ玻璃簡介

２〃２ ＩＴＯ玻璃製造流程 ２〃３ ＩＴＯ玻璃生產管理

切割及裂片作業說明

３〃１ 製程簡介

３〃２ 治具規格說明

３〃３ 製程操作說明及製程條件設定 ３〃４ 機台故障排除ˋ停電處理程序 ３〃５ 品質自主檢查 ３〃６ 其它注意事項

磨邊及倒角作業說明

４〃１ 製程簡介

４〃２ 治具規格說明 ４〃３ 製程條件

４〃４ 機台操作及故障排除 ４〃５ 品質自主檢查 ４〃６ 其它注意事項

清洗作業說明

５〃１ 製程簡介

５〃２ 洗淨配藥方法 ５〃３ 製程條件

５〃４ 機台操作及故障排除 ５〃５ 品質自主檢查 ５〃６ 其它意事項

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第六章 拋光作業說明 2.1拋光玻璃作業流程簡介 2.2拋光原理

2.3拋光玻璃之規格

第七章 機台簡介與製程條件設定 2.1拋光機台簡介 2.2製程條件設說明

第八章 拋光五大控制因素 3.1 P.P的管理 3.2 Pad的管理

3.3 template的管理 3.4研磨劑的管理 3.5振幅的管理

第九章 機台操作與拋光作業注意事項 4.1作業前之確認事項 4.2機台操作

4.3拋光作業注意事項 4.4破片處理程序

第十章 研磨劑測量及Pad修正 6.1研磨劑測量 6.2 Pad的修正

第十一章 品質檢驗作業程序及標準 5.1抽檢作業

5.2品質檢驗作業

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第一章 前言

1.1 LCD簡介

ＬＣＤ：液晶螢幕顯示器(Liquid Crystal Display)。

ＬＣ：液晶，遇電場會使液晶分子從平躺狀態旋轉成站立情況，使光線從無

法穿透變成可穿透，進而產生明暗對比的情形。

ＬＣＤ依其扭轉的程度可分為：(1)ＴＮ型 (2)ＨＴＮ型 (3)ＳＴＮ型，目

前公司主要生產的為ＴＮ型及ＳＴＮ型ＬＣＤ。

ＬＣＤ以圖型來區分可分為：(1)七段式（適用於計算機、電子錶等）(2)點

矩陣式（適用於電子字典、電腦等）。

ＬＣＤ作動的原理為：組合兩片ＩＴＯ導電玻璃，之間灌入液晶，當導電玻

璃通電時，上下兩片圖形、線路有重疊部分就會產生電場，改變液晶分子方向，即會顥示。

玻璃基板：

一般ＴＮ／ＳＴＮ顯示器是使用鹼石灰玻璃作為基板，即俗稱的鈉玻璃。此平板玻璃是採用浮法方法製成，所以又稱浮法玻璃。所謂的浮法製程(Floating Process)就是熔融的玻璃抽出後先經過錫爐，然後回溫至室溫，此種方式產出的玻璃稱之為浮法玻璃。玻璃基板的一些特性，如表面凹击、冷熱沖擊性、鈉離子釋出量〃〃等特性，對ＬＣＤ產品品質或製程加工性都有重要影響。

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玻璃基板規格：

1. 厚度：

一般為1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm等等。 2. 外形尺寸：

目前廠內比較常生產之尺寸為300*350、370*480。 3. 表面的傷痕、氣泡及雜物：

有些矩陣圖形，布線最小圖形為5-10um，因此在璃基皮上的缺陷也應小於5um，最近圖形越來越細，有時50um以下的傷痕和雜物都成了問題。 4. 玻璃表面的凹击：

(A) 表面粗糙度：

在1-2um的範圍內多次重覆出的凹击，其變化通常比人眼的分辨率還小，這種微小的凹击影響塗覆膜的特性、液晶取向和圖形邊緣的平整 (B) 表面波紋：

是週期在1mm以上的表面凹击，通常有5-20mm的週期，這有可能成為不均勻顯示的背景。 (C) 翹曲：

通常是在基板內出現1-2次的凹击，翹曲過大的表面波紋在顥示製造過程中的約是，在操作機台上真空吸附基板時不得產生模糊現象；在有矩陣型時，在實施微細圖形的光刻工程中不得產生漏氣現象；不得出現干涉條紋背景等不均勻顯示對於上述各項，各種液晶顯示器所對應容估計值如下表：

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第二章 ＩＴＯ玻璃

２．１ ＩＴＯ玻璃簡介

ＩＴＯ是 Indium Tin Oxide 三個字的縮寫，中文為氧化銦錫；ＩＴＯ玻璃是在清潔的絕緣素玻璃表面上，以真空鍍膜的方法依序鍍上ＳｉＯ２層(二氧化矽)及ＩＴＯ層(氧化銦錫)；ＳｉＯ２膜乃作為阻擋層，因玻璃基板中的鹼性成分會微量釋出，並滲入液晶中，進而造成液晶電阻率不降，另鈉離子會導電造成字肥現象，或使密封膞黏力下降等，故頇先鍍上一層ＳｉＯ２做為阻隔。ＩＴＯ薄膜的特性是在可見光區具有高度的穿透性與極佳的導電性，非常商合作為ＬＣＤ顯示器的透明導電極。ＩＴＯ玻璃結構如下圖所示：

ＩＴＯ膜的特性：

1. 在常溫下具有良好的導性。

2. 禁帶較寬，主要吸收在紫外光區，因而對可見光有良好的透過率。 3. ＩＴＯ膜耐鹼不耐酸，用鹽酸和硝酸的混合液極易蝕刻。

4. ＩＴＯ導電膜愈厚，則面阻抗值愈低；穿透率郤會因膜厚不同而有極小

值和極大值，膜厚約在1370Å處會出現穿透率的極大值。

ＩＴＯ膜在顏色上的區分：

１００Ω：無色 ８０Ω：無色 ３０Ω：淡黃色 １０Ω：紫色

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ＩＴＯ玻璃的應用：

ＩＴＯ導電玻璃的應用範圍很廣泛，雖然在製作方法上有所差異，但都是作為顯示器的透明電極用，而顯示器應用於下游產業更是不勝枚舉，以表說明其應用範圍：

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２〃２ ＩＴＯ玻璃製造流程：

ＳＴＮ流程 ＴＮ流程

將大片玻璃切割成300X350mm

尺寸

將切割完之玻璃倒角，並清除所產生之微粒

ＳＴＮ產品之玻璃表面頇經過研磨處理

以高精密洗淨法完全洗淨玻璃

於真空系統內，依序鍍上SiO2與ITO膜

檢查並記錄產品之穿透率及阻抗特性

檢驗合格之產品以包裝機包裝

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第三章 切割及裂片作業說明

３〃１ 製程簡介

開 箱：利用拔釘器及氣動工將木箱、釘子及螺絲鬆開 素玻璃：拿取素玻璃置於切割平台

切 割：利用鎢鋼刀輪將由國外買入之浮法玻璃用切割機切割成所需之尺寸，

如購入之素玻璃尺寸為1225*1075，將它切割成12片350*300尺寸之玻璃供磨邊加工。

裂 片：依據鎢鋼刀輪在玻璃做表面X及Y軸上之切割刀痕，以人工方式施以一橫向力量使玻璃順著切割刀痕分離。

針式輸送帶：將裂片完成之玻璃放置於針式輸送帶，準備進行磨邊、倒角作業。

３〃２ 玻璃規格說明

目前公司生產之玻璃可依下列方式分類：

依產品類別：

1. 2.

依玻璃尺寸可分為：

1. ３００＊３５０ｍｍ

2. ３００＊４００ｍｍ 3. ３７０＊４８０ｍｍ

依玻璃厚度可分為：

1. １〃１ｍｍ 2. ０〃７ｍｍ 3. ０〃５５ｍｍ 4. ０〃４ｍｍ

素玻璃因供應廠商不同可分割的數量亦不相同，有4切、6切、9切及12切等區分，其外箱皆標示厚度、尺寸及開箱方向，玻璃由倉庫調撥進來時，頇依ＴＮ ＳＴＮ

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３〃３ 製程條件設定、作業程序說明

切割機各部位說明： 操作盤：

電控箱：

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切割機參數設定：

1. 空氣壓力總表：５±０〃５ kgf／cm2 。 2. 刀頭分壓表：０〃２５～０〃５kgf／cm2 。 3. 切割速度：７±２。

切割前檢查步驟：

1. 打開總電源之漏電斷器。 2. 開啟電控箱電源ON。 3. 切換至手動模式。

4. 檢查X、Y軸是否位於機械原點。 5. 檢查各空氣壓力表。

6. 按下切割台輸送運轉、刷毛運轉和割台運轉，使平台清潔並確認運轉是

否順暢。 7. 設定玻璃尺寸。 8. 下刀號數選擇。

9. 調整刀座之切割尺寸。(參考切割尺寸設定步驟) 10. 調整刀輪高度。(參考刀輪更換、調整作業說明) 11. 刀輪高度調好後，按刀上上降鈕，使刀頭全部上升。

操作說明：

1. 電控箱電源ON。 2. 切換至手動模式。 3. 手動狀態下做原點復歸。

4. 確認原點Ｘ軸、Ｙ軸、X/Y連動燈亮。 5. 切換至自動模式。 6. 切割計數器歸。

7. 起動切割台、裂片台之鼓風機。 8. 踏下切割鼓風機踏板，使桌面浮起。 9. 將刀頭切至使用位置。

10. 將大玻璃放置於切割台上緊靠藍色PIN點，位置確認後踩下鼓風機踏板

使玻璃吸附。

11. 刀頭確認後，踩下切割踏板即可自動切割。

12. 切割完成後踩下裂片台側之傳送踏板，即可將玻璃傳送至裂片台。 13. 裂片。

14. 將裂片完成之玻璃放至針式傳送機上。 15. 重覆上述步驟進行生產。 16. 關機時將電控箱之電源Off。

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切割尺寸設定步驟：

1. 用捲尺量測欲切割玻璃之正確尺寸，依最大使用效決定刀座切割尺寸之

設定。

2. 依玻璃Ｙ軸尺寸設定Ｙ軸頂PIN距離。

2.1 鬆開Y軸頂PIN之固定螺絲。

2.2 調整刻度尺寸和玻璃Ｙ軸尺寸相同，並對齊固定座後緣。 2.3 將螺絲固定，注意勿和刀座行進時有碰撞之虞。 3. 將所有刀座之固定螺絲鬆開。

4. 手動Ｘ刀軸移近頂PIN旁來設定第一刀位置。

4.1 如前進時刀座會碰到頂PIN，請先將刀座向右移動。

4.2 用尺量測頂PIN盤頂點和刀軸之距離。(保持10mm以上之安全距離) 4.3 設定好後將刀座固定螺絲鎖緊。 5. 設定第二刀位置：

5.1 將檢出器連結至第一刀位置。 5.2 將尺寸顯示器按RESET鍵歸零。 5.3 鬆開檢出器，移動至下一刀座並連結。

5.4 依顯示器之尺寸調整刀座至設定位置，然後固定。 5.5 厘米以下之微調可用檢出器之微調器進行。 5.6 尺寸微調好後，將刀座固定螺絲鎖緊並放檢出器。 6 7 8 9

將顯示器歸零，並依上述步驟完成其他刀座設定。 Y軸刀座之切割尺寸設定方式同上所述。 未使用之刀座取適當位置固定。

如切出之玻璃尺寸有誤差時，可將檢出器再連結至刀座確認，可用刀座微調器做微調。

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尺寸

設定標準：

切割尺寸設定依系面或Ｒ面有所不同： 1. 磨系面：玻璃尺寸 ± 0.04mm。

2. 磨Ｒ面：玻璃尺寸 ＋ 0.20mm ± 0.04mm。

設定切割尺寸注意事項：

1. 頂PIN固定後頇使玻璃兩側能同時碰到4個點。 2. 檢出器移動時速度不宜太快，不可用東西敲打。 3. 連結檢出器與刀座時，僅頇輕輕鎖上固定螺絲即可。

4. 刀痕太近玻璃邊緣時不利於裂片，尺寸設定時頇注意。(第一刀與玻璃邊

緣頇有10mm以上安全距) (350.16~350.24)

(400.16~400.24)

(480.16~480.24)

(349.96~350.40)

(399.96~400.04)

(479.96~480.04)

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刀輪更換、調整作業說明：

1. 更換步驟

1.1 鬆張刀頭固定螺絲將刀頭取出。 1.2 鬆開刀輪軸擋片。

1.3 用針將軸退出，並取下舊刀輪。 1.4 將新刀輪換上，反程序裝回刀座。

2. 手動將刀輪之刀軸移至切割平台方便作業之位置。 3. 準備一片玻璃來當墊片。(厚度同欲切割之玻璃) 4. 鬆開固定螺帽。

5. 順時針旋轉高度調整螺帽一圈，使刀輪上升至不接觸玻璃的位置。 6. 將玻璃墊片置於刀軸下方平台。 7. 按下切割降鈕。

8. 將量錶吸附於平台上，探針頂在刀座上方。

9. 逆時針慢慢旋轉高度調整螺帽使刀輪下降，並同時目測刀輪是否與玻璃

接觸。

9.1 移動玻璃墊片來感受刀輪是否接觸玻璃。 9.2 接觸玻璃時刀頭會輕輕轉動，此時停止調整。 10. 將量錶指針歸零。

11. 將高度調整螺帽逆時針旋轉，下降0.4mm。(玻璃1.1mm時) 12. 鎖緊固定螺帽並移開量錶。 13. 調整完畢按下切割上升鈕。

刀輪更換、調整注意事項：

1. 刀輪轉動頇順暢，不可調整過緊或過鬆。 2. 刀輪軸頇時常保養。

3. 空壓不要太大避免玻璃切割痕過深或刀頭受力過大。刀頭分壓錶設定標

準如下：

１〃１～０〃７ｍｍ：０〃３０～０〃５０kgf／cm2 。 ０〃５～０〃４ｍｍ：０〃２５～０〃５０kgf／cm2 。

4. 刀輪下壓高頇按下列規定調整：

１〃１～０〃７ｍｍ：０〃４ｍｍ。 ０〃５～０〃４ｍｍ：０〃２ｍｍ。

5. 滾輪與玻璃間距隔調整確實，避免碰撞玻璃。

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３〃４ 機台故障排除、停電處理程序

機台故障排除

以下為幾個常發生之異常狀況發生原因及排除方式： 1

原點燈不亮：

可能是切割完後，Ｘ軸及Ｙ軸發生位移所造成。關掉控制電源，並且移動Ｘ軸或Ｙ軸，再開所控制電源，按原點復歸，若仍無法恢復正常頇請工務查修。 2

切割折斷桌面無法浮起：

係因鼓風器切換開關閥門鬆脫，無法切換風量所致，頇通知組長或工務查修。 3

ＰＬＣ警報：

係因電壓不穩而造成ＰＬＣ警報，頇切掉控制電源及總電源重新開啟，若仍無法排除頇通知組長或工務查修。 4

切下降未同步：

係因刀座氣缸經久未使用、潤滑不足所造成，由氣壓管內添加潤滑油，以及調整微調加大氣壓即可改善。

停電處理程序

1. 計劃性停電：

1.1 停止切割，將刀軸停在原點位置。 1.2 將電源關閉。

1.3 打開電控箱將總開關關閉。

2. 臨時停電：

2.1 保持現狀並將電控箱內總開關關閉。 3. 復機：

3.1 電控箱內總電開關打開。 3.2 電源開關打開。

3.3 確認刀軸原點正確。(原點燈亮)

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３〃５ 品質自主檢查

作業前切割人員頇與裂片人員確認欲投產之玻璃規格，點檢機台各項條件是否符合標準始可開始作業。玻璃切割後，以游標卡尺確認尺寸，另檢查玻璃切割線條及是否有缺角不良等，確認無誤後方可開始生產，以下為切割品質檢驗項目、機台點檢、不良判定及調整方式：

切割尺寸檢驗：

1.

磨Ｃ面切割尺寸檢驗公差： 產品尺寸±0.1mm。

磨Ｒ面切割尺寸檢驗公差：

2.

產品尺寸+0.20mm±0.10mm。

Exp.：磨Ｃ面尺寸300±0.10mm*350±0.10mm。

磨Ｒ面尺寸300.20±0.10mm*350.20±0.1mm。

點檢項目：

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機台保養：

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切割不良判定及調整方式：

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３〃６ 其它注意事項

開箱備料

1. 備料人員開箱前頇注意OPEN方向，開箱後檢查第一片玻璃Tin面是否正

確，遇外側標示不明，應會同組長做確認並確實做到首片檢查。 2. 搬運玻璃時，頇協同兩人以上共同進行，避免在運送過程中玻璃傾倒，

造成玻璃破裂。

3. 未曾作業的新尺寸玻璃頇與倉庫和工程人員確認浮法方向及切割片數。 4. 未切完的玻璃要移動前，最好用木板固定。

切割作業

1. 切割人員拿取玻璃時，應做首片檢查確認Tin面是朝上，放置於切割台

面，並靠緊藍色PIN 點。

2. 裂片人員首片檢查項目包括玻璃尺寸、切割狀態、刀輪氣壓值及確認切

割機原點位置。

3. 切割每半小時使用Air吹拭刀頭及刀軸，防止異物。

4. 切割不佳時，可試調整切割刀輪分壓壓力，但以不超過0.5 Kgf／cm為

準。

5. 切割完成後再傳送，裂片未完成前不可再觸動傳送踏板。 6. 更換刀輪時，頇注意刀輪切割方向，切勿反置，避免切割不良。 7. 切割裂片人員於操作時頇穿載尼龍手套及手術手套及護目鏡，避免意外

傷害。

8. 玻璃切割深度依玻璃厚度不同頇做調整，調整方式為刀輪接觸玻璃後再

下刀，下刀深度如下所示：

１〃１ｍｍ：４０條 ０〃７ｍｍ：４０條 ０〃５ｍｍ：２０條 ０〃４ｍｍ：２０條

9. 更換刀輪、玻璃尺寸頇由合格之操作人員為之，更換完畢後應立即填寫

更換記錄表。

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本文来源：https://www.bwwdw.com/article/mgmj.html