5-铁电体电滞回线的测定 - 副本

实验四 铁电陶瓷与薄膜电滞回线的测定

早在1921年，人们在一种晶体中观察到铁电性。其后在钛酸钡、PZT等单晶和陶瓷中也观察到这种特性。铁电体是这样一类晶体：在一定温度范围内存在自发极化，自发极化具有两个或多个可能的取向，其取向可随电场而转向。铁电体并不含“铁”，只是它与铁磁体具有磁滞回线相类似，具有电滞回线，因而称为铁电体。在某一温度以上，它为顺电相，无铁电性，其介电常数服从居里外斯（Curie-Weiss）定律。铁电相与顺电相之间的转变通常称为铁电相变，该温度成为居里温度或居里点Tc。铁电体即使在没有外界电场的作用下，内部也会出现极化，这种极化称为自发极化。自发极化的出现是与这一类材料的晶体结构有关的。

晶体的对称性可以划分为32种点群。在无中心对称的21种晶体类型中除432点群外其余20种都有压电效应，而这20种压电晶体中又有10种具热释电现象。热释电晶体是具有自发极化的晶体，但因表面电荷的抵偿作用，其极化电矩不能显示出来，只有当温度改变，电矩（即极化强度）发生变化，才能显示固有的极化，这可以通过测量一闭合回路中流动的电荷来观测。热释电就是指改变温度才能显示电极化的现象，铁电体又是热释电晶体中的一小类，其特点就是自发极化强度可因电场作用而反向，因而极化强度和电场E之间形成电滞回线是铁电体的一个主要特性。

自发极化可用矢量来描述，自发极化出现在晶体中造成一个特殊的方向。晶体中，每个晶胞中原子的构型使正负电荷重心沿这个特殊方向发生相对位移，使电荷正负重心不重合，形成电偶极矩。整个晶体在该方向上呈现极性，一端为正，一端为负。在其正负端分别有一层正和负的束缚电荷。束缚电荷产生的电场在晶体内部与极化方向（称为退极化场），使静电能升高，在受机械约束时，伴随着自发极化的应变还将使应变能增加。所以均匀极化的状态是不稳定的，晶体将分成若干小区域，每个小区域称为电畴或畴，畴的间界叫畴壁。畴的出现使晶体的静电能和应变能降低，但畴壁的存在引入了畴壁能。总自由能取极小值的条件决定了电畴的稳定构型。

铁电材料及其应用研究已成为凝聚态物理、固体电子学领域最热门的研究课题之一。由于铁电材料具有优良的铁电、介电、热释电及压电等特性，它们在铁电存储器、红外探测器、声表面波和集成光电器件等固态器件方面有着非常重要的应用，这也极大地推动了铁电物理学及铁电材料的研究和发展。目前，世界上的铁电元件的年产值己达数百亿美元。铁电材料

是一个比较庞大的家族，目前应用得最好的是系列。但是由于铅的有毒性及此类铁电材料居里温度低、耐疲劳性能差等原因，应用范围受到了限制。开发新一代铁电陶瓷材料己成为当今的热门问题。

一、实验目的

（1）掌握铁电性质的基本知识，了解铁电体电滞回线测量的基本原理。

（2）学会测量铁电体电滞回线的方法。

二、实验原理

1．铁电体的特点

（1）电滞回线

铁电体的极化随外电场的变化而变化，但电场较强时，极化与电场之间呈非线性关系。在电场作用下新畴成核长大，畴壁移动，导致极化转向，在电场很弱时，极化线性地依赖于电场（见图3.1），此时可逆的畴壁移动成为不可逆的，极化随电场的增加比线性段快。当电场达到相应于B点值时，晶体成为单畴，极化趋于饱和。电场进一步增强时，由于感应极化的增加，总极化仍然有所增大（BC段）。如果趋于饱和后电场减小，极化将循CBD段曲线减小，以致当电场达到零时，晶体仍保留在宏观极化状态，线段OD表示的极化称为剩余极化Pr。将线段CB外推到与极化轴相交于E，则线段OE为饱和自发极化Ps。如果电场反向，极化将随之降低并改变方向，直到电场等于某一值时，极化又将趋于饱和。这一过程如曲线DFG所示，OF所代表的电场是使极化等于零的电场，成为矫顽场Ec。电场在正负饱和值之间循环一周时，极化与电场的关系如曲线CBDFGHC所示，此曲线称为电滞回线。

图3.1 铁电体的电滞回线 图3.2 电滞回线的显示

V 电滞回线可以用图3.2的装置显示出来（这是著名的Sawyer-Tower电路），以铁电晶

体作介质的电容Cx上的电压V是加在示波器的水平电极板上，与Cx串联一个恒定电容Cy（即普通电容），Cy上的电压Vy加在示波器的垂直电极板上，很容易证明Vy与铁电体的极化强度P成正比，因而示波器显示的图象，纵坐标反映P的变化，而横坐标Vx与加在铁电体上外电场强成正比，因而就可直接观测到P-E的电滞回线。

下面证明Vy和P的正比关系，因

1

Vy CyCx （3-1） 1VxCy

Cx

式中 为图中电源V的角频率

Cx r 0Sd （3-2） 上式中 r为铁电体的介电常数， 0为真空的介电常数，S为平板电容Cx的面积，d为平行平板间距离，将（3-2）式代入（3-1）式得：

Vy

根据电磁学

P 0 r 1 E 0 rE 0 E （3-4） 对于铁电体 r 1，故（3-4）式有后一近似等式，将（3-4）式代入（3-3）式，有 Vy Cx SVx r 0SVx r0 E （3-3） CyCydCySP （3-5） Cy

因S与Cy都是常数，故Vy与P成正比。

（2）居里点Tc

当温度高于某一临界温度Tc时，晶体的铁电性消失。这一温度称为铁电体的居里点。由于铁电体的消失或出现总是伴随着晶格结构的转变，所以是个相变过程，已发现铁电体存在二种相变：一级相变伴随着潜热的产生，二级相变呈现比热的突变，而无潜热发生。铁电相中自发极化总是和电致形变联系在一起，所以铁电相的晶格结构的对称性要比非铁电相为低。如果晶体具有两个或多个铁电相时，最高的一个相变温度称为居里点（由Tc表示），其他则称为转变温度。

（3）居里-外斯定律

由于极化的非线性，铁电体的介电常数不是常数，而是依赖于外加电场的，一般以OA曲线（图3-1）在原点的斜率代表介电常数，即在测量介电常数 r时，所加外电场很小，铁电体在转变温度附近时，介电常数具有很大的数值，数量级达10~10。当温度高于居里点时，介电常数随温度变化的关系

r

2．铁电体的应用

铁电体具有介电、压电、热释电、铁电性质以及与之相关的电致伸缩性质、非线性光学性质、电光性质、声光性质、光折变性质、铁电存储记忆性能等等，都与其电极化性质相关，特别是电介质的热释电与铁电性质都与其自发极化相关。由于铁电体具有上述性质，因而在诸多高技术中有着很重要的应用。利用其压电性能可制作电声换能器，用于超声波探测，声纳，稳频谐振器，声表面波器件等；利用其热释电性质可制作红外探测器，红外监视器，热成像系统等；利用非线性光学效应可制作激光倍频、三倍频、和频、差频器；利用电光性质可制作激光电光开关、光偏转器、光调制器等；利用声光效应可制作激光声光开关、声光偏转器、声光调制器等；利用光折变效应可制成光存储器件；而铁电材料的铁电性可制作铁电记忆存储器。

铁电记忆存储器（Ferroelectric Memory）是利用铁电体所具有的电滞回线性质。如图3-1所式，当加到铁电体上电场为零时，铁电体上仍保持有一定的极化强度Pr（或-Pr），这个极化电荷的符号取决于该铁电体上原加场的符号。若原来加的正场，则当外场变为零场时，铁电体为正的剩余极化（+Pr），而若是从负场变到零场，则此时剩余极化为负（-Pr）。正是利用这无外场时所有的两个稳定极化 Pr作为计算机编码0（+Pr）和1（-Pr），这就是铁电记忆及逻辑电路的基础。

铁电记忆存储是铁电体极少数利用铁电体的铁电性能去工作，而不是其他性能（如热电、压电、电光等）的应用。在非挥发性铁电存储器应用中，即使电源突然中断，其贮存的信息也可保持。铁电体不仅作为一个电容，而且其本身也作为一个存储单元。铁电存储器由于其尺寸小（是通常可擦除随即只度存储器的20 %），抗辐照（特别使用于军用及航天使用），存储读取速度高，容易与硅工艺相容，因而有很好的前景。目前铁电随机存储器已有商品销售，由其为核心的智能卡及作为嵌入式芯片已用于众多家电的控制器如洗衣机、游戏机、电45C （3-6） T T0

视频道存储记忆器、复印机、收费站刷卡等等方面，随大存储量的产品出现将在数码相机、随身听中使用，市场前景看好。

铁电材料的铁电性能最为重要的表征是其电滞回线所反映的铁电性能，包括饱和极化Ps，永久极化Pr，矫顽场Ec等，而对于用于铁电存储器的铁电薄膜来讲，除此之外还有漏电流Ik，铁电疲劳性能（永久极化与开关次数关系Pr ~ n）及铁电保持性能（永久极化与时间关系Pr ~ t）。通常要求永久极化Pr > 10 μC/cm2，低矫顽场Ec < 100 kV/cm。好的疲劳特性，在铁电翻转10次时，永久极化很少变化。在10秒内可较好地保持电荷，漏电流小于10 7105A/cm。 2

3．铁电体的制备

铁电薄膜制备的方法多种多样，通常有溅射法（磁控溅射和离子束溅射），湿化学法（溶胶-凝胶法，金属有机沉淀法），化学气相沉积法，脉冲激光沉积法等方法，各具优缺点，但目前工业上应用较多的是化学气相沉积法。

三、仪器与设备

腾飞系列仪器铁电体电滞回线测量仪、小型离子溅射镀膜机

四、实验内容与步骤

分别测量强铁电Bi4Ti3O12陶瓷、高介电陶瓷、和强铁电薄膜的电滞回线。

1．材料电极的制备

（1）首先将高压电源线的白色塑料插头固定的插到喷镀头的电极上，保证接触良好，把地端插到喷镀头的地端插孔内，然后开机。

（2）开机后，真空泵开始工作，10-15秒后工作室压力下降并显示在真空计上.当真空度上升至20Pa时溅射单元的“准备”灯亮,然后继续抽至6-5 Pa时，计时器调到最低10秒。

（3）打开充气阀直至工作室内真空室压力正好上升，按一下实验按扭看一下溅射电流大小通过调节充气阀可以决定溅射电流大小，直至电流大小满足要求时。一般使用等离子电流在10 mA以下。

（4）按下启动按扭这时可看到工作室内出现兰色紫色的可见光，虽然最初由于系统放气可能使等离子电流不稳定，但可通过充气阀来调节束流。放电引起金溅射，放电在10秒钟后自动停止。重按启动按扭就会重复本过程，在重按启动按扭前适当调整计时器，以便增加溅射时间。

（5）溅射后，关闭电源开关，关闭针阀（注意：针阀旋钮顺时针拧到底后再反向拧两圈），并用溅射头上的放气阀对工作室内放气。

（6）按上述步骤镀完电极后，利用电滞回线测量仪其预设的程序可很方便地测出铁电薄膜的电滞回线及疲劳保持曲线。自行设计所加电场E的幅度。

2．电滞回线测量仪操作步骤

（1）打开计算机，进入电滞回线测量程序。

（2）在样品室的样品台上平稳的放上铁电体样品，使样品与两个电极充分接触。注意样品放入时要轻放，以免把样品夹碎。

（3）打开测量主机前面板上的电源开关。

（4）打开样品盒上的红色按钮，此时样品盒中的红色或者绿色指示灯亮。不测量时，关闭该开关（可以不关闭主机电源），以减少仪器发热。

（5）从小到大，逐步调节极化电压，同时观察测量得到的测量曲线，直到满意。从测量曲线上得到等参数。

（6）测量完成后，保存图像的文本文件。

（7）数据处理时，输入样品的面积、厚度，填写测量曲线上对应的“自发极化强度Ps”、“剩余极化强度Pr”、“矫顽电场Ec”等电压数据（也可以采用数据发送方式），软件可以计算出样品的有关数据。

五、实验数据与处理

1．通过铁电薄膜的电滞回线测量得到薄膜的永久极化Pr、矫顽场Ec，漏电流Ik。

2．通过强铁电陶瓷的电滞回线测量得到其永久极化Pr、矫顽场Ec，漏电流Ik。

3．观察疲劳保持性能。

4．观察高介电陶瓷的电滞回线，并记录。

六、注意事项

1．安装样品时，把极化电压调到最小，或关闭样品盒电压。

2．打开样品盒时，样品台上的红色指示灯应该熄灭，否则不要触摸电极。

3．更换、安装、取下样品时，以及关机后，电极不要直接短路。

4．测量时，样品盒必须关闭，样品可能会发出一些噪音，正常现象。

5．刚开始测量时，由于样品没有充分极化，曲线可能不队称。在较高电压下持续一会，情况会有变化。

6．当极化电压比较大时，样品可能发生放电、龟裂现象，此时可以微调样品换一区域测量，或更换样品。

七、思考题

1．电滞回线与磁滞回线的差别与相似处是什么？

2．测量P-E的电滞回线采用怎样的原理？铁电存储器

3．铁电存储器采用铁电材料的什么物理性质？

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