ZEISS SUPRA 55扫描电子显微镜操作规程模版
更新时间:2023-07-27 06:50:01 阅读量: 实用文档 文档下载
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卡尔蔡司ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜安全操作使用规程模版
扫描电子显微镜操作规程
一、开机说明
冷启动步骤
1、 启动UPS
打开墙上空气开关,确认UPS后面电池开关打开,按前面面板上On键至两个绿灯亮。
2、 启动循环水冷机。
按On键,确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2~3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。
若有报警,检查水位,按Res键。
3、 启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为5~6bar。
4、 确认主机后两个电源开关状态为On。
此时,主机前面板上红灯亮。
5、 按下黄键。
说明:前级真空泵进入工作状态,分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6、 按下绿键。
按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:
7、 启动SmartSEM软件。
用户名: 密码:
8、 检查真空值,等待真空就绪。
注意:当System Vacuum<2×10-5mBar时,会自动打开CIV阀门(column isolation valve),并启动离子泵。
当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时,可启动灯丝。若长期停机,需做烘烤。
9、 开启灯丝。
10、开TV,检查样品台。
11、装样品。
12、加高压(EHT)。
13、观察样品。
卡尔蔡司ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜安全操作使用规程模版
待机状态
1、 关闭高压(EHT)。
2、 关闭SmartSEM软件。
注意:分两步,先关用户界面User Interface,后关后台程序EM Server。
3、 关Windows。
4、 必要时,关能谱、EBSD。
5、 按下黄键
此时,电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。
待机状态启动
1、 按下绿键。
按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:
2、 启动SmartSEM软件。
用户名: 密码:
3、 检查真空值。
4、 换样或加高压观察样品。
关机步骤
1、 关高压(EHT)和灯丝。
2、 关SmartSEM软件。
注意:分两步,先关用户界面User Interface,后关后台程序EM Server。
3、 关Windows。
4、 关能谱、EBSD。
5、 按下黄键,等待~10秒钟。
等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
6、 按下红键。
7、 关循环水冷机。
8、 必要时,关氮气总阀门。
9、 必要时,关UPS。
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10、 必要时,关墙上空气开关。
烘烤步骤
1、 确认高压(EHT)和灯丝关闭。
2、 拨出高压电线。
先松开四颗螺丝,拔出高压头。
3、 打开监控软件Gun Monitor。
设置监控Gun Vacuum和System Vacuum参数,时间间隔1s。
4、 开始烘烤
菜单栏Tools→go to panel→bakeout,打开Bakeout界面,设定加热时间8~20h,冷却时间设为2h,开始。
5、 烘烤完成
结束后检查枪真空值,一般小于1×10-9mBar。关闭Gun Monitor。插入高压头,锁紧。
二、换样品
1、 装试样。
在备用样品座上装好样品,并记录样品形状、编号和位置。
注意:各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落,并用洗耳球吹一下。
2、 关高压。
3、 检查插入式探测器状态
打开TV,将EBSD等插入式探测器拉出。
4、 放气。
点Vent等待~ 分钟。
注意:确认Z move on vent选上,这样,放气时样品台会自动下降。
5、 拉开舱门。
注意:拉开舱门前,确认样品台已经降下来,周围探测器处于安全位置。
6、 更换样品座
注意:抓样品座时戴手套,避免碰触样品。
7、 关上舱门。
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注意:舱门上O圈有时会脱落,关门时勿夹到异物。
8、 抽真空。
点击Pump,等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)。
等待过程中,可先移动样品台初步定位样品。
9、 换样完成。
加高压,观察样品
三、成像初步
1、 定位样品。
打开TV,移动样品台。升至工作距离约在5~10mm处,平移对准样品。可打开stage navigation帮助定位。
2、 开高压。
根据检测要求和样品特性,设定加速电压;
3、 观察样品,定位观察区。
全屏快速扫描(点击工具栏上 );
选择Inlens或SE2探头;
缩小放大倍数至最小;
聚焦并调整亮度和对比度(Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine);
读取WD数值;
必要时升降样品台,WD常用5~10mm;
移动样品台X、Y,或使用Centre Point(Ctrl+Tab键)定位;
聚焦、放大至~5kX、再聚焦、定位;
4、 必要时,调光阑对中。
选区快速扫描, Aperture面板上,选上Wobble,调Aperture X和Y,消除图像水平晃动。完成后取消Wobble。
5、 消像散。
选区扫描,依次调Stigmation X、Y和聚焦,直到图像最清晰。
6、 成像。
进一步放大至~50kX、并进一步聚焦和消像散;
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全屏扫描,调亮度和对比度;
用Beam Shift或Ctrl+Tab定位成像位置;
点击Mag设置所需放大倍数;
Scanning面板选择消噪模式(一般用Line Avg);选择扫描速度和N值(使cycle time在40s左右为宜);
确认Freeze on=end frame;点击Freeze;等待扫描完成。
7、 存储。
点击鼠标中键(滚轮)或右键,弹出快捷菜单→Send to→Tiff file;
设置文件夹,取文件名,设置文件名后缀,点Save;
同一样品图片再次存储,直接左键点击工具栏上 按钮。
存储结束后,点击unfreeze,点击 快速扫描。
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