PECVD镀膜作业指导书

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文书编号

HCBZZZ040 01 年 年 月 月 日 日

承认

确认

作成

PECVD镀膜操作作业指导书作业手顺·遵守事项● 作业手顺

版

本

作成日期 修改日期

设备名/设备编号： 1、PE机 2、 3、 4、

应遵守的要点及注意事项 1.穿戴好劳保用品。 2.保证小车运转平稳。 3.确认石墨舟叶片完好，螺丝紧固，在小车放置平稳。 4.确认流程单数量与实际数量一致且硅片表面无异常，无崩边缺角。 5.硅片放置平稳，确保非扩散面贴向槽壁。 5.双手扶着石墨舟缓慢调整倾斜，避免手臂接触石墨舟。

工序目的： 制作晶体硅电池的减反射 膜及钝化 使用部品材料： 单晶硅片。扩散硅片

1.确认小车完好

2.确认石墨舟完好

3.核对物卡数量

4.放置硅片

7.装卸片时吸笔要保证干净. 8.硅片顺着槽壁滑进槽内，由工艺点定位，注意速度和角度。 9.检查插片是否漏片，是否贴合槽壁。 10.插片顺序应从左到右，从上到下。 11.插片时硅片扩散面朝外，非扩散面贴着槽壁。

5.小车放置区域 使用夹具、 工具：

6.石墨舟向前倾斜

7.准备吸片

8.插片

12.石墨舟倾斜度根据操作员高度，台架高度来调整，合适的角度利于操作。 13.石墨舟必须复位扶正水平时方可旋转。 定位置管理说明 1.

吸笔，花篮，小车，石墨 舟 9.注意事项 10.检查硅片 11.放置空篮 12.空花篮

2. 3. 管理要点 管理項目 电极头 测定法 目测 目测 频度样品数 每舟 3pcs/舟 规定资料及判定标准 无杂物 色彩均匀

一次性手套劳动防护用品： 手套(PVC),口罩，网孔 布鞋。 13.空花篮放置区 改定履历 1 2 3 4 5 年 月 日 14.一面装片完成 改 定 内 容 15.石墨舟复位 16.旋转180° 改定 确认 承认

沉积面

备 考

格式编号：HCZY 01

样式编号：AAAE02

格式编号：HCZY 01

样式编号：AAAE02

本文来源：https://www.bwwdw.com/article/kqh4.html