碳源流量对pecvd制备碳纳米管形貌的影响修改稿2 - 图文

碳源流量对PECVD制备碳纳米管形貌的影响

王 苗

（渭南师范学院 物理与电气工程学院；陕西 渭南 714000）

摘 要：碳纳米管制备是对碳纳米管结构性能研究以及应用研究的基础。采用等离子体增强化学沉积法

（pecvd）改变碳源气体流量，制备碳纳米管薄膜，使用扫描电镜，透射电镜，拉曼光谱仪分别对其表征，经对实验数据理论分析后得出：若控制其它实验参数不变，只改变碳源气体流量，获得整齐排列，定向性好，管径均匀，杂质少的碳纳米管的最佳流量为30sccm。

关 键 词：碳纳米管（CNTs）；等离子增强化学沉淀（PECVD）；扫描电镜（SEM）；透射电镜（TEM）；

拉曼光谱（Raman）

目录

绪论 ....................................................................... 1 一、碳纳米管简介 ........................................................... 1 1.1碳纳米管的发现 .......................................................... 1 1.2 碳纳米管的结构和分类 ................................................... 1

1.2.1 碳纳米管的结构 ................................................ 1 1.2.2 碳纳米管的分类 ................................................ 2

二、碳纳米管的制备方法 ..................................................... 2 2.1石墨电弧法 .............................................................. 2 2.2激光蒸发法 .............................................................. 3 2.3化学气相沉积法 .......................................................... 3 2.4等离子体增强化学沉积法材料 .............................................. 4 三、碳纳米管的表征 ......................................................... 5 3.1扫描电子显微镜（SEM） ................................................... 5 3.2透射电子显微镜（TEM） ................................................... 5 3.3Raman光谱表征 ........................................................... 5 四、碳纳米管制备 ........................................................... 5 4.1实验设备 ................................................................ 5 4.2实验原料 ................................................................ 5 4.3 PECVD制备碳纳米管的操作步骤与过程 ...................................... 6 五、不同碳源流量制备的碳纳米管表征及其数据讨论 ............................. 6 5.1不同碳源流量下碳纳米管SEM表征 .......................................... 7 5.2不同碳源流量碳纳米管TEM表征 ............................................ 7 5.3不同碳源流量下碳纳米管Raman表征 ........................................ 8 六、结论 ................................................................... 9 七、参考文献 ............................................................... 9

绪论

自1991年Iijima用石墨电弧法发现碳纳米管以来碳纳米管成为国际材料领域的前沿和热点。近年来碳纳米管制备方法，纯化方法，以及在各领域应用的研究也有了最新进展。正是由于碳纳米管的特殊结构，研究者们展望了碳纳米管的应用和研究前景，其中，碳纳米管的制备是对其开展研究和应用的前提，获得了足量管径均匀，结晶程度高，纯度高，结构缺陷少是碳纳米管性能研究和应用研究的基础。通常制备碳纳米管的方法:石墨法、电弧法、化学沉积法，激光蒸发法。在此基础上，人们研究出更为简易的制备方法，等离子体增强化学沉积法，简称PECVD。

制备碳纳米管时 ，温度、压强、催化剂、碳源流量对碳纳米管薄膜的生长都会产生影响。用石墨电弧法，激光蒸发法，CVD制备技术时，其反应条件都不容易控制。但是使用PECVD制备技术时，其实验条件参数易于控制，无点击污染，且重复性好。因此，在本次试验中，采用PECVD制备技术，在不改变其他实验参数的情况下，只改变碳源气体流量生长杂质缺陷少，整齐排列的碳纳米管，研究其碳源最佳流量或者最佳流量范围。

一、碳纳米管简介

1.1碳纳米管的发现

[1]

1991年1月，日本电子公司（NEC）的饭岛博士（S.Iijima）首先发现了碳纳米管。饭岛博

士在高分辨电镜下观察石墨电弧上阴极的硬质沉积物中，偶然发现由纳米级同轴碳原子构成的中空微管。即碳纳米管（Carbon Nanotubes, CNTs）。

1993年，Iijima和美国IBM公司和Bethune

[2]

等采用电弧法，却在石墨电极中添加催化剂，

[3]

首次成功合成由单层碳原子绕合而成的碳纳米管，即单壁碳纳米管。

1996年，Smalley合成了成行排列的单壁碳纳米管束

。

1997年，AC.Dillon等报道了单壁碳纳米管的中空管可以储存和稳定氢分子。

1.2 碳纳米管的结构和分类 1.2.1 碳纳米管的结构

碳纳米管是碳的一种同素异形体。是由六角形网格状的碳原子的石墨片卷绕而成的层状中空微管结构。管身由六边形碳环微结构单元组成的圆管结构，并在其两端罩上碳原子封闭面，通常是有五边形碳环组成的多边形结构。由于碳纳米管的径向尺寸为纳米级，轴向尺寸为微米量级，因此具有很大的高度直径比。管帽两端封口，曲率半径小，是一种独特的中空结构的一维量子材料。

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1.2.2 碳纳米管的分类

碳纳米管分类可以从层数、形态和手性方面进行分类。

按层数分类：根据构成碳纳米管原子层数不同，大致可分为单壁碳纳米管和多壁碳纳米管。单壁碳纳米管是由单层碳原子绕合而成的，直径一般在1~3nm，具有很好的对称性和单一性。多壁碳碳纳米管是由多层碳原子绕合而成的同轴无缝纳米管。

按形态分类：管子端帽结构较为复杂。有多角形、锥形，半环形和开口形

[4]

。CNTs管身并不

完全是平直或者均匀的。是由于在碳纳米管六角形延伸的过程中引入五边形和七边形所致。五边形的出现会导致碳纳米管凸出，若正好出现在顶端，则会形成碳纳米管封口。相反，七边形的出现会使碳纳米管凹进。

按手性分类：按手性分主要是对单壁碳纳米管的细化分类。根据其石墨片层卷曲的螺旋性可分为非手性（对称）和手性（不对称）。非手性型：单壁碳纳米管镜像图像与它本身一致。主要有两种类型：扶手椅型和锯齿型。手性型是单壁碳纳米管在形成的过程中，石墨片层有一定的螺旋性，它的镜像图像与它自身无法重合。

1.3碳纳米管特性应用

碳纳米管具有独特中空结构与良好的物理化学性能

[5]

。作为一种新型材料被广泛关注并使用。

碳纳米管电学性能：原子排列方式不同既可以是导体也可以是半导体。

碳纳米管力学性能：极高强度、韧性和弹性模量。

碳纳米管发射电场性能：各向异性的传热性能，对可见光和红外光的吸收性能。 碳纳米管广泛应用于储氢材料、电子器件和催化剂载体等。

二、碳纳米管的制备方法

2.1石墨电弧法

石墨电弧法又称直流电弧法。在一定压力的惰性气体或者氢气的真空反应器中，以较粗大的石墨棒为阴极，相比之下较细石墨棒为阳极，在电弧放电过程中，阳极石墨棒不断被消耗，同时在阴极上沉积出含有碳纳米管的产物

[6]

。采用此法制备碳纳米管简单快速，获得的产物纯度和结晶度较

高，管径小且直，在惰性气氛下易保存。但是在电弧放电过程中，阴极沉积物温度过高，导致纳米微粒和其他无定形碳杂质烧结为一体，不利于分离提纯，生成的碳纳米管缺陷多。电弧放电过程难以控制，不利于对碳纳米管生长条件进行直接调控和对其生长机理的研究和探索不适合批量生产。

[7]

，而且产率较低，

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图1 石墨电弧法制备碳纳米管实验装置示意图

2.2激光蒸发法

激光蒸发法利用激光照射蒸发含有过渡金属的石墨靶材。将碳原子或原子团激发出靶材的表面，用流动的惰性气体（氩气）使原子或原子团相互碰撞形成碳纳米管，并且沉积在基底或者反应腔壁。这种制备工艺生长的碳纳米管石墨化程度高，纯度高。与石墨电弧法相比，在缓冲气体和催化剂方面较为相似。但是在产物管径，纯度等方面，激光蒸发法略胜一筹，且较石墨电弧法产率较高。但是制备成本昂贵，不适合工业化应用推广。

图2 激光蒸发法制备碳纳米管实验装置示意图

2.3化学气相沉积法

化学气相沉积法（CVD）又称催化裂解法。是含碳气体流经催化剂表面时，在催化剂的催化作用下裂解沉积生成碳纳米管。CVD制备工艺原理是：碳源气体（甲烷、乙炔、一氧化碳，乙烯等气体）与氢气或者氮气混合作为原料气体在金属催化剂（铁、钴、镍等过渡金属）的作用下裂解，在衬底上沉积生成碳纳米管。这种制备方法可以避免由于温度过高造成沉积物烧焦成束，沉积碳纳米管副产物较石墨电弧法少一些，且制备工艺和设备较简单，成本低，反应过程易于控制，可以实现工业化批量生产。因而CVD法得到了人们的广泛关注。但是这种方法也有一些不足之处：在催化剂裂解合成过程中，催化剂常附着或者包覆在碳纳米管中，很难处理。不利于碳纳米管的分离与提纯，

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使得生成的碳纳米管石墨化程度低，结构缺陷和杂质较多。而且此法对碳纳米管结构（管径、管长、壁厚，管表面石墨碳的结晶度）不能任意调节和控制。

图3 CVD法制备碳纳米管实验装置示意图

2.4等离子体增强化学沉积法材料

[8]

等离子体增强化学沉积法（PECVD），是沉积材料，制备多种非晶半导体材料的一种通用CVD技术。是碳源气体在通过催化剂时，在催化剂表面沉积而成。但是它比传统化学气相沉积法的温度低很多。等离子体由射频场，直流场或微波场产生。可分为射频PECVD（rf-PECVD），直流PECVD(dc-PECVD)和微波PECVD(w-PECVD)。这三种方法各有利弊，又因为rf-PECVD法无电极污染，实验条件易于控制且重复性良好等优点，经常被采用。PECVD法制备碳纳米管可以在比CVD制备碳纳米管制备碳纳米管所需温度低很多的情况下，可以得到定向性好、杂质少，有序性高和整齐排列的碳纳米管。因为大量的高活性基团可以降低薄膜沉积温度范围，减小温度对碳纳米管应用范围的限制

[8]

。因而本次实验研究将采用rf-PECVD制备技术。

图4 PECVD法制备碳纳米管实验装置示意图

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本文来源：https://www.bwwdw.com/article/jgev.html