烧结炉培训材料

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烧结炉培训材料

一、功能及用途

此烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有质成分、完成铝背场及珊线烧结。硅片在炉中，上、下两面能同时烧结，烧结过程如下： ? 对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干； ? 去除浆料中的有质粘结剂； ? 铝背场及珊线烧结

二、烧结炉结构

炉体分为三个部分：

? 烘干区

烘干区包括四个加热区：ZONE 1、 ZONE 2、 ZONE 3、 ZONE 4，其中ZONE 4 为对流加热区，位于其它三个温区上部，每个加热区温度单独可调、加热元件为电热丝，ZONE1至ZONE 3（115v 830w）。ZONE 4（230v,700w）。加热温度可设置到500摄氏度，但过程温度不应超过300摄氏度。

? 烧结区

烧结区包括六个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE 4、ZONE 5、ZONE 6，ZONE 1~4 为预烧结区，ZONE 5 和 ZONE 6 为主烧结区，加热元件为近红外线加热管，其中1~4区加热管功率为1600W，5、6区加热管功率为2700W，每个温区温度单独可调，1~4温区温度可设置到700摄氏度，5、6温区可设置到摄氏1050度。

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? 冷却区

冷却区采用水冷，给水温度大约在20~25摄氏度范围内。

烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛，通过风帘隔离，隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合。

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除了上述三个主要部分外，在炉体头部有上料区，在尾部有下料区，外加一个单独的冷凝器，冷凝媒介为冷却水。

三、CAN控制系统构成

? 传动电机调速系统

传动电机采用三相异步电机，速度调节是采用闭环变频调速，控制框图如下：

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? 温度控系统

温度控制采用PID控制，系统构成控制框图如下：

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? 冷却系统 ? 排风系统

冷却系统和排风系统很简单，都采用开环系统。

四、操作

? 开机步骤 i. 慢速开启冷却水主给水阀，给烧结炉供水。通常各管道给水阀和流量已设定好，勿需调节。

ii. 慢速开启压缩空气主阀，炉子提供过程气体，同时给各气缸提供压缩空。通常各管道流量已设定好，勿需调节。 iii. 将主电源开关拨到“1”，开启主电源。 iv. 启动PC，等待机器完成自检和监控程序装入。 v. 将“Drive On”拨到“1”，“Drive PC/Manual”拨到“0”，将“Heating FF”拨到“ON”，

将“HEATING HTO”拨到“ON”。

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vi. vii.

viii.

点击启屏幕上“Drive on/off” 收音开关，并按确认收音键，启动传送带。

如果有设置好的升温程序，顺序装入，使炉子逐步升温到过程温度。如果没有，则手动设置，每200度为一阶，逐步升温到过程温度。第一次装入后，需点击加热收音开关，开始加热。

根据工艺要求调整工艺参数，只需调整各温区温度和带速设定值。当过程值达到设定值后，机便处于就绪状态。

? 关机步骤

关机步骤则与关机步骤相反，需注意：当炉温降到100度左右时，方可将传送带停下。

五、预防性保养

? 定期清洗主给水过滤器。 ? 定期吹洗HTO空气过滤器。 ? 定期清洗传送带。 ? 定期清洗气体流量计。

? 定期检查并调整传送带长度。 ? 定期检查并清洗文丘利喷嘴。